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福建漳州有色金属冶金技术理论与应用

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氮化炉的制作方法
氮化炉的制作方法 994     
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本实用新型属于热处理设备技术领域,具体涉及一种氮化炉。背景技术氮化炉主要用于钢制零件、工模具及测量工具等五金制品的渗氮、多元共渗、低温奥氏体氮碳共渗、氧氮共渗、蒸汽氧化处理、低真空回火(或时效)等表面强化处理。热处理用的氮化炉通常采用风扇来搅动炉内气体,使得炉内上、中、下温度均匀,以保证氮化质量一致。由于风扇主轴是个旋转部件,炉内高温腐蚀性气体(氨气混合物)从风扇主轴和炉盖之间的间隙上窜。传统的填料密封型式密封效果差,轴承容易损坏,轴承更换维修频率高。此外,现有氮化炉的炉盖在安装拆卸时,存在操作

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氮化炉 热处理设备
福建 - 漳州 来源:湖南特科能热处理有限公司 2023-09-21
CMT增材制造钛合金材料的气体保护装置的制作方法

一种cmt增材制造钛合金材料的气体保护装置技术领域.本实用新型属于焊接设备技术领域,尤其涉及一种cmt增材制造钛合金材料的气体保护装置。背景技术.cmt技术是一种无焊渣飞溅的新型焊接工艺技术,通过数字控制的方式监控短电弧和焊丝的换向送丝。焊枪附近的气体保护罩的作用是焊接时将空气隔离在焊区之外,保护熔池不被氧化。利用惰性气体对金属焊材的保护,焊材在被焊基材上融化成液态形成熔池,使被焊金属和焊材冶金结合,因此合理的设计保护罩对于保障增材制造质量有重要意义。.钛合金在增材制造过程中液态熔滴和熔池

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钛合金材料 合金材料
福建 - 漳州 来源:重庆通用工业(集团)有限责任公司 2023-09-21
高纯TA1钛材获得超细晶粒的方法

高纯ta钛材获得超细晶粒的方法技术领域.本发明涉及钛及钛合金制造技术领域,尤其涉及一种高纯ta钛材获得超细晶粒的方法。背景技术.工业纯钛合金ta属于α型钛合金,具有高强度,低密度、优良的耐腐蚀性和韧性,塑性很好,易于加工成型和焊接等优点。ta钛合金广泛用于机械设备换热器,高尔夫球、医疗器械等方面。另外,由于钛及钛合金的密度较小,制造出来的汽车部件具有更小的质量,目前广泛使用在汽车发动机的制造上,它不光可以延长产品使用的年限和提高燃烧效率,同时还可减少噪音。.钛及其合金组织的微细化,

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钛材 钛金属
福建 - 漳州 来源:攀枝花学院 2023-09-21
含W的高强度铸造Ni3Al基高温合金及其制备方法与流程

本发明涉及高温合金技术领域,尤其涉及一种含W的高强度铸造Ni3Al基高温合金及其制备方法。背景技术目前广泛使用于煤、天然气和石油转化利用系统和先进热力发动机中的结构材料,如奥氏体不锈钢和高温合金,通常无法同时满足服役条件所需求的强度、韧性和耐蚀性。涂层材料如FeCrAl虽然拥有优良的耐蚀性,但其高温强度较差。因此迫切需要发展新型合金以满足高温结构部件的苛刻服役条件,即具有良好高温机械性能和优良耐蚀性的合金,而Ni3Al基合金恰好符合上述要求。金属间化合物Ni3Al具有其独特的高温性能,十分适合应

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高温合金技术 高温合金
福建 - 漳州 来源:浙江大学 2023-09-21
无取向硅钢的生产方法和无取向硅钢与流程

.本申请属于钢铁冶炼技术领域,具体涉及一种无取向硅钢的生产方法和无取向硅钢。背景技术.无取向电工钢,是一种低碳且si含量通常在.%至.%之间的硅铁软磁合金,用于家用电器、电力系统、通信系统和军事工业等领域。对于硅钢材料来说,其抗腐蚀能力远高于一般低碳钢。硅钢生产过程中,通常使用涂布绝缘涂层达到防腐的目的,但还是会出现横截面腐蚀的情况。.钢铁材料内部成分、组织等不均匀,加上外界湿气与材料表面形成电解液薄膜,造成了材料内部及表面不同组织之间形成了电位差,引发电化学腐蚀,其中,点腐蚀造成

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无取向硅钢的 钢铁冶炼
福建 - 漳州 来源:湖南华菱涟源钢铁有限公司 2023-09-21
高精度大口径平面离子束抛光机的制作方法

本实用新型涉及离子束抛光机技术领域,尤其涉及一种高精度大口径平面离子束抛光机。背景技术离子束抛光技术是利用离子溅射原理,通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流,束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。传统的离子束抛光机在对工件的不同面进行抛光采用人工手动翻转,这种方式打断了抛光作业节奏,而且费时费力,降低抛光效率,且增大了作业风险。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中离子束抛光机不便同时对工件的多个不同的表面进行抛光的问题,而提出的一种高精度大口径

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金属材料 离子束抛光机 抛光机
福建 - 漳州 来源:常州卓研精机科技有限公司 2023-09-21
高温合金定向凝固的浇注结构和浇注方法与流程

本发明涉及的浇注技术领域,具体的说,是一种高温合金定向凝固的浇注结构和浇注方法。背景技术目前世界上广泛应用的高温合金定向凝固铸件制备方法是bridgman法和lmc法。将制备好的陶瓷型壳放置在真空精密铸造炉的水冷铜盘上,待陶瓷型壳加热至预定温度后,实施浇注,然后按照一定速度将注入合金液的陶瓷型壳从真空精密铸造炉的热区(陶瓷型壳加热器)抽拉至冷区或金属冷却液中,使得合金液形成定向凝固,从而获得定向凝固铸件。由于通常陶瓷型壳的预热温度及合金液的浇注温度远高于合金的液相线,浇注后合金液的流动性能很好。

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浇注技术 浇注结构 浇注方法
福建 - 漳州 来源:东方电气集团东方汽轮机有限公司 2023-09-21
半轴齿轮内花键渗碳淬火方法及渗碳淬火设备与流程

本发明涉及一种齿轮内花键渗碳淬火方法及其淬火设备,特别是一种半轴齿轮内花键渗碳淬火方法及其淬火设备。背景技术目前,市场上常见的齿轮淬火,都是将齿轮放入内部高温的淬火炉中,并向淬火炉中通入甲烷、丙烷等气体,使得齿轮表面进行渗碳,接着将渗碳完成的齿轮直接浸入淬火油中进行降温淬火,从而使得齿轮表面具有较好的耐磨性和硬度,而齿轮内部依旧保持有韧性;但对于有内花键的半轴齿轮采用此类装置进行淬火,直接向淬火炉内充入甲烷等气体,气体不易到达内花键位置处,使得内花键位置处的渗碳效果较差;且淬火炉中加热位置处的一

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淬火设备 淬火方法
福建 - 漳州 来源:洪新阳 2023-09-21
具有稳定工作状态的离子束抛光机的制作方法

本实用新型涉及离子束抛光机领域,具体涉及具有稳定工作状态的离子束抛光机。背景技术所谓离子束抛光,就是把惰性气体,如氩、氮等放在密闭空间中,用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热,使之电离成为正离子,再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速,使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦,将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流,在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面,从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子

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离子束抛光机 抛光机
福建 - 漳州 来源:成都睿坤科技有限公司 2023-09-21
纳米多孔金材料及制备方法与流程

本发明属于纳米材料领域,更具体地,涉及一种纳米多孔金材料及制备方法。背景技术纳米多孔金属是指孔径尺寸在纳米范围内的多孔金属材料,由连续韧带和孔组成,形成三维双连续的多孔结构。纳米多孔金属具有高孔隙率、具有大的内表面积的纳米孔,是一种兼具功能和结构双重属性的新型功能材料,既有高导电性、可焊性、高导热性、抗腐蚀、抗疲劳、延展性以及结构强度高、耐高温等金属材料的优异性能,又具有纳米材料的表面效应和尺寸效应。纳米多孔金属材料可广泛应用于生物、医药、电子、光学、催化、传感器及生物分子的隔离和

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纳米多孔金材料 纳米材料
福建 - 漳州 来源:武汉轻工大学 2023-09-21
叶轮铸造工艺及叶轮的制作方法

本发明涉及铸造技术领域,具体而言,涉及一种叶轮铸造工艺及叶轮。背景技术离心式压缩机或离心泵用来为各种流体流动提供加压。这种压缩机或离心泵包含叶轮,当叶轮旋转时,流体轴向方向进入,然后加速进入周向和径向方向,高流速流体进入扩压器,经转换速度后输出高压流体,对此类压缩机或离心泵,所使用的叶轮一般为合金精密铸造大型薄壁叶轮。普通重力铸造方式铸造叶轮时容易出现充注不足等缺陷,受到型壳结构限制,型壳自身承受压力有限,叶轮铸件容易产生气孔、疏松等问题。发明内容本发明的目的在于提供一种叶轮铸造工艺及叶轮,其能

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叶轮 叶轮铸造工艺
福建 - 漳州 来源:珠海格力电器股份有限公司 2023-09-21
矿热电炉、电解短流程联合冶炼精锡方法与流程

本发明属于锡冶炼技术领域,具体涉及一种矿热电炉、电解短流程冶炼精锡方法。背景技术目前锡行业大多采用的炼锡方法为锡精矿经电炉熔炉得到的粗锡进入电解得到焊锡,焊锡再经过铅锡分离得到精锡,由于铅锡分离过程包括结晶分离和真空分离等,工艺过于复杂,投入成本较高,工人劳动强度较大,因此,开发一种矿热电炉、电解短流程联合冶炼精锡方法是非常有必要的。发明内容本发明在于提供一种矿热电炉、电解短流程联合冶炼精锡方法。本发明的目的是这样实现的,一种矿热电炉、电解短流程联合冶炼精锡方法,包括配料、熔炼、制作阳极板、制作

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矿热电炉 锡冶炼
福建 - 漳州 来源:云南乘风有色金属股份有限公司 2023-09-21
高效太阳能电池用大产能炉管式ICP-CVD装置的制作方法

一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置技术领域.本发明涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置。背景技术.目前高效太阳能电池主要膜系材料为单质硅,晶体结构为非晶或微晶状态。而且希望的是更多的微晶状态的单质硅材料。目前主要的生长方式是采用平行平板式pecvd设备(ccp-cvd),在一定真空度和温度下,使用硅烷气体分解得到,此方式由于产生的等离子体密度低,生成的单质硅薄膜主要是非晶状态且氢含量偏高。较好的方法是采用高密度等离子体放电技术比如

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太阳能电池 ICP-CVD装置
福建 - 漳州 来源:湖南红太阳光电科技有限公司 2023-09-21
高纯无氧铜生产工艺的制作方法

.本发明涉及高纯无氧铜生产技术领域,具体涉及一种高纯无氧铜生产工艺。背景技术.铜及其合金在熔炼过程中,铜液具有吸气性,这是铜及其合金熔炼的主要特性之一,也是生产高纯无氧铜的技术难点;同时铜液中氧和氢的关系为:当铜液中氧含量增加时,氢的含量减少;反之,当铜液中氢含量增加时,氧含量将减少;因此当高纯无氧铜在还原精炼时,随着铜液中氧的含量降低到一定极限时,铜液再次从熔炼气氛中吸收氢气,造成氢的含量会急剧增加,因此如何保证高纯无氧铜中同时具有极低的氢含量,则是高纯无氧铜生产的技术难点。.现有高纯无

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高纯无氧铜 铜生产 铜冶金
福建 - 漳州 来源:上海五星铜业股份有限公司 2023-09-21
950度高温钛合金离子氮化炉的制作方法

.本实用新型属于氮化炉生产技术领域,具体为度高温钛合金离子氮化炉。背景技术.氮化处理是指一种在一定温度下一定介质中使氮原子渗入工件表层的化学热处理工艺。经氮化处理的制品具有优异的耐磨性、耐疲劳性、耐蚀性及耐高温的特性。往氮化炉内不锈钢真空密封罐中通入氨气,加热到℃,保持适当的时间;根据工件材质和渗层要求?小时不等,使渗氮工件表面获得含氮强化层,得到高硬度,高耐磨性,高疲劳极限和良好的耐磨性。.但是常见的氮化炉在加热时氮化炉的外壁温度非常高,氮化炉的外部缺少保护装置,从而使

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钛合金离子氮化炉 氮化炉
福建 - 漳州 来源:武汉八一零离子氮化研究所 2023-09-20
金属氟氧化物的处理方法及清洁方法与流程

本发明涉及使金属氟氧化物mo(6-x)/2fx(0<x<6、m=w或mo)与含氟气体进行化学反应而转换为mf6的处理方法及使用该处理方法去除金属氟氧化物(metaloxyfluorides)的沉积物等的清洁方法。背景技术作为化学气相沉积钨(w)及钨化合物、钼(mo)或钼化合物时的前体,已知有六氟化钨或六氟化钼。作为这些前体的工业制造方法,已知有如反应式(1-1)~(1-2)、反应式(2-1)~(2-2)所示,使金属钨与氟或三氟化氮、使金属钼与氟或三氟化氮接触的方法。w(s)+3f2(g)→wf6

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金属氟氧化物 含氟气体
福建 - 漳州 来源:中央硝子株式会社 2023-09-20
钴系统新型除铁净化工艺方法与流程

.本发明涉及钴系统新型除铁净化工艺技术领域,具体为一种钴系统新型除铁净化工艺方法。背景技术.钴,元素符号co,银白色铁磁性金属,表面呈银白略带淡粉色,在周期表中位于第周期、第ⅷ族,原子序数,原子量.,密排六方晶体,常见化合价为、。钴是具有光泽的钢灰色金属,比较硬而脆,有铁磁性,加热到℃时磁性消失。在常温下不和水作用,在潮湿的空气中也很稳定。在空气中加热至℃以上时氧化生成coo,在白热时燃烧成coo。氢还原法制成的细金属钴粉在空气中能自燃生成氧化钴

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除铁净化工艺 除铁工艺
福建 - 漳州 来源:兰州金川新材料科技股份有限公司 2023-09-20
碳化硅化学气相沉积炉的进气装置的制作方法

本发明涉及气相沉技术领域,特别涉及一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置。背景技术化学气相沉积(chemicalvapourdeposition,cvd)常用来生产各种高纯固体材料。化学气相沉积碳化硅是通过含有硅、碳元素的小分子前驱物在沉积室内一定条件下分解、反应生成的薄膜材料。一甲基三氯硅烷(mts)是一种工业上常用的化学气相沉积碳化硅液态前驱物,反应方程式如下:ch3sicl3→sic+3hcl,在制备过程中通常会用到氢气和氩气,其中氢气参与中间反应过程,作为反应气体使用,氩气经常作为稀释气体使

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化学气相沉积炉 沉积炉 进气装置
福建 - 漳州 来源:湖南铠欣新材料科技有限公司 2023-09-20
圆柱滚子的倒角加工方法与流程

本发明涉及一种倒角加工方法,具体涉及一种圆柱滚子的倒角加工方法。背景技术圆柱滚子轴承在工况比较复杂,润滑条件差,转速高情况下运转时,如果滚子精度不高、不平衡量较大时,在工作会出现滚子运转不平稳、出现异常磨损和振动现象,这些因素都制约着轴承使用寿命的提高。轴承出现异常磨损的原因一部分是因为轴承滚子倒角跳动量偏大,滚子高速运转失稳,产生摆动,与内圈挡边异常接触磨损。因此要提高滚子倒角的加工精度,减小滚子倒角对滚子外径的跳动量,改善滚子倒角的加工形状。圆

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倒角加工方法 圆柱滚子
福建 - 漳州 来源:中国航发哈尔滨轴承有限公司 2023-09-20
预埋钎剂复合板及其制备方法和用途与流程

.本发明属于复合材料技术领域,涉及一种铝合金复合材料,具体涉及一种预埋钎剂复合板及其制备方法和用途。背景技术.铝合金复合钎焊材料被广泛的应用于汽车热交换器中,如汽车发动机冷却系统的中冷器、散热器,和空调系统的暖风、冷凝器等。各类热交换器产品一般都由多个零部件组成,如主板、管料和翅片等,各零部件之间通过高温钎焊最后形成金属接头连接。.铝合金复合板通常包含芯层和钎料层。钎料层在高温下会优先融化形成焊接接头,从而实现各零部件的金属连接。然而,由于铝合金表面有一层致密的氧化膜会阻碍钎料层的融化和流

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铝合金复合材料 复合材料
福建 - 漳州 来源:上海华峰铝业股份有限公司 2023-09-20
靶材结构及其制作方法与流程

.本发明涉及靶材加工领域,具体涉及一种靶材结构及其制作方法。背景技术.溅射镀膜靶材在半导体集成电路(vlsi)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用,镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。.半导体工业中,靶材主要分为圆柱靶材和平面靶材,平面靶材多采用磁控溅射技术沉积;磁控溅射即pvd(physicalvapordeposition:物理气相沉积)是指在真空条件下,采用中电压、大电流的电弧放电技术

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靶材结构 靶材
福建 - 漳州 来源:福建华佳彩有限公司 2023-09-20
铸件浇口切割机的制作方法

本实用新型涉及切割机技术领域,具体领域为一种铸件浇口切割机。背景技术目前,我国铸造行业通常采用氧气加液化气的气切割,来对浇口和铸件进行分离。工人切割时需要手持铸件和切割装置,来对铸件进行切割。工人需要大力握紧铸件,手部和面部距离切割装置极近,危险系数高。使用氧气和液化气,有爆炸风险,十分不安全,会对工作人员造成危害,而且切割面不光滑,难以打磨,工人劳动强度大,工作效率低,依赖人工技能进行操作。另外,目前还会使用手工切割机来进行切割,但是手工切割质量差、尺寸误差大、材料浪费大、后续加工工作量大,同

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铸件浇口切割机 切割机
福建 - 漳州 来源:石家庄市金韧强机械设备有限公司 2023-09-20
高韧性高铬高碳铸钢及其热处理方法与流程

.本发明属于金属及其热处理技术领域,尤其涉及一种高铬高碳铸钢及其多阶段热处理方法。背景技术.高铬高碳铸钢具有许多吸引人的性能,如高强度、高硬度、抗合金元素溶解和碳化物析出引起的变形。常规成分采用常规的冶金路线加工这种钢特别困难。主要的挑战是,传统的静态铸锭铸造相对缓慢的冷却过程会形成粗大的网状共晶碳化物,这些连续的含铬的网状碳化物结构在大尺寸铸锭的热变形过程中会引起明显的裂纹。虽然高铬高碳钢也进行常规热处理,采用简单的淬火-回火处理,可以获得较高的硬度,但网状碳化物依然不能被消除,影响后续的

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高铬高碳铸钢 金属热处理技术
福建 - 漳州 来源:鞍钢集团矿业有限公司 2023-09-20
抑制稀土钢连铸过程中水口堵塞的方法及其装置

.本发明涉及钢铁冶金领域,特别是涉及一种抑制稀土钢浇铸过程水口结瘤的装置及方法。背景技术.稀土元素非常活泼,与氧、硫有很强的亲和力,加入钢液后可以置换钢中硫化锰、氧化铝等夹杂物中的氧和硫,形成稀土夹杂物,这些稀土夹杂物具有良好的形态,有利于减小对晶粒连续性的影响,从而提高机械性能。此外这些稀土夹杂物可以吸收铝酸盐复合夹杂中的部分al、ca元素形成铝酸盐稀土夹杂,其曲率半径较大,硬度、弹性模量与基体接近,承受疲劳载荷时与周围基体配合更加紧密,变形及传递应力的特性与基体接近,减少了应力的集中,并

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钢铁冶金 冶金技术 冶金装置
福建 - 漳州 来源:上海大学 2023-09-20
超高温超高压孔道式换热器/蒸发器设计方案的制作方法

(一)技术领域:本发明是一种适用于极端高温或极端高压的新型换热器/蒸发器设计方案,利用换热单元模块内部设置的特制孔道进行换热,称作孔道式换热器/蒸发器。以传热材料热传导为主的小孔或微孔的孔道间热量交换,传热系数高,传热温差小,在极端高温或极端高压条件下孔道间可安全稳定传热,具有高效简易、安全可靠的特点,属于传热设备技术领域,主要应用领域为核电火电、石油化工、化工医药、冶金能源、食品电子等。(二)背景技术:核电蒸汽发生器(steamgenerator)是产生汽轮机所需蒸汽的换热设备,在核反应堆中,

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换热器 蒸发器
福建 - 漳州 来源:孟想 2023-09-20
向钢水中加入稀土的方法与流程

本发明属于钢铁冶金技术领域,具体涉及到一种向钢水中加入稀土的方法。背景技术连铸,即连续铸钢,是不断地将精炼后的钢水加入到结晶器中,并凝固成型后从结晶器下方拉出的钢水成型技术。相对传统模铸工艺,连铸工艺是一项重大的技术进步。适量稀土加入到钢中主要有三大作用:净化钢液、变质夹杂、微合金化,可提高钢的韧塑性特别是横向冲击韧性,改善钢材的各向异性;例如稀土可使高硬度的氧化铝夹杂转变成球状硫氧化物和铝酸稀土,显著提高钢的抗疲劳性能;稀土在晶界的偏聚能抑制磷硫和低熔点杂质铅、锡、砷、锑、铋在晶界的偏析或与这

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钢铁冶金 稀土
福建 - 漳州 来源:山东钢铁集团有限公司 2023-09-20
底滤法水冲渣系统及工艺方法与流程

本发明属于废弃物环保处理技术领域,具体涉及一种水淬和渣水分离系统。背景技术国内的高炉炼铁炉渣水淬处理有机械法和底滤法两种方式。机械法存在过滤不干净,系统故障率高、检修维护工作量大,运行成本高,一次性投资高等缺点。而现有的底滤法水渣存在以下缺点:①熔渣水淬沟渠、过滤池上方蒸汽弥漫,对环境污染大;②滤层板结严重,更换难度大,影响高炉的生产节奏;③需要人工抓渣,自动化程度低;④池内液位检测不准,难以实现连锁控制,造成设备故障,系统瘫痪;⑤滤层厚度大,需要大量鹅卵石,建设及生产维护造成资源浪费。发明内容

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固废处理 废弃物环保处理
福建 - 漳州 来源:北京钢元工程技术有限公司 2023-09-20
高炉热风炉烟气/煤气/空气双预热器的制作方法

本实用新型属于锅炉设备领域,特别涉及一种高炉热风炉烟气/煤气/空气双预热器。背景技术目前,国内的高炉热风炉烟气/煤气/空气双预热器、或者是烟气/空气单预热器、烟气/煤气单预热器均采用以热管作为传热元件的热管式换热器。热管式换热器具有一定的优点,如流体流动阻力小、热侧和冷侧都可以加翅片扩展传热面等。但是,热管元件的材质一般均采用碳钢,热管内的工作介质采用水,这样做成的传热元件就是水-碳钢热管,在工程上使用极为普遍。在高温条件下,碳钢中的铁Fe和水会发生化学反应,生成Fe3O4、Fe2O3,同时释放

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高炉 热风炉 预热器
福建 - 漳州 来源:南京华电节能环保设备有限公司 2023-09-20
盖板硬质涂层镀膜工艺方法与流程

.本发明涉及光学薄膜,具体涉及一种盖板硬质涂层镀膜工艺方法,是一种超现有光学薄膜,实现超强力学特性(铅笔硬度>h,莫氏硬度≥h,钢丝绒摩擦次后水滴角>°),无膜厚限制和稳定的可靠性测试的镀膜工艺方法。背景技术.光学薄膜的应用无处不在,从眼镜镀膜到手机、电脑、电视的液晶显示再到led照明等等,它充斥著我们生活的方方面面,并使我们的生活更加丰富多彩。.查阅各种文献资料,结合国内外相关专利资料,磁控机镀制功能性涂层sin/sio循环结构膜层硬度最高是h,力学特性存在不稳

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硬质涂层镀膜 光学薄膜
福建 - 漳州 来源:河南镀邦光电股份有限公司 2023-09-20
用于沉积氮化硅膜的组合物和方法与流程

本申请要求于2015年7月31日提交的申请号62/199593的权益。申请号62/199593的公开内容通过引用并入本文。技术领域本文描述了用于使用环二硅氮烷前体沉积保形的、化学计量或非化学计量的氮化硅膜的方法和组合物。更特别地,本文描述了使用环二硅氮烷前体的沉积工艺,例如但不限于等离子体增强原子层沉积(“PEALD”)、等离子体增强循环化学气相沉积(“PECCVD”),以及包含环二硅氮烷前体的用于沉积氮化硅膜的组合物。背景技术低压化学气相沉积(LPCVD)工艺是半导体工业使用的用于氮化硅膜沉积

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沉积氮化硅膜 氮化硅膜
福建 - 漳州 来源:弗萨姆材料美国有限责任公司 2023-09-20
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