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高效太阳能电池用大产能炉管式ICP-CVD装置的制作方法

880   编辑:中冶有色网   来源:湖南红太阳光电科技有限公司  
2023-09-21 11:36:55
一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置 技术领域 1.本发明涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置。 背景技术: 2.目前高效太阳能电池主要膜系材料为单质硅,晶体结构为非晶或微晶状态。而且希望的是更多的微晶状态的单质硅材料。目前主要的生长方式是采用平行平板式pecvd设备(ccp-cvd),在一定真空度和温度下,使用硅烷气体分解得到,此方式由于产生的等离子体密度低,生成的单质硅薄膜主要是非晶状态且氢含量偏高。较好的方法是采用高密度等离子体放电技术比如电感耦合等离子体、微波等离子体放电等技术。电感耦合等离子体由于具有辐射小、结构简单、电磁兼容性好等特点被广泛应用于半导体cvd设备中。但目前电感耦合pecvd设备(icp-cvd)产能很小,主要应用于半导体芯片制造,满足不了太阳能电池行业需要大产能、低成本的要求。 3.现有技术的缺点: 4.1、对于链式平行平板pecvd设备: 5.(1)平面载板,提高产能的办法是采用大的载板,大载板将会使设备体积增大、占地面积增大,成本增高;(2)对于大产能设备,由于载板面积变大,带来放电均匀性、气流均匀性等难控制的问题。 6.2、对于管式平行平板pecvd设备: 7.(1)电极放在炉管中,电极板也是工件载板,还是平行极板之间放电。由于电极板间距不能太小,采用多层电极板的方式扩大产能,将会使炉管直径增大,而炉管壁强度有限不能太大,产能也会受限;(2)两个电极板都在真空腔体中,电极的引入存在漏电风险;(3)气流不能均匀喷在每对电极板之间,存在膜层不均匀的风险,导致影响产品成品率。 8.3、对于电感耦合pecvd设备:等离子体在基片上方的腔体内由电感放电产生,沉膜区域受到限制,导致不能实现大产能沉膜。 技术实现要素: 9.本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种电感线圈设在反应腔体外部,等离子体放电与载板无关,载板结构和布局不再受限制,加热炉管与反应腔体、线圈组成的部件可采用上下多层布置,放在一个机架内,占地面积小,单位面积内的产能大,反应腔体内不需要设置电极从而不会出现电极引入处放电问题,镀膜均匀性好的高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置。 10.为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案: 11.一种高效太阳能电池用大产能炉管式ic
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