一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置
技术领域
1.本发明涉及太阳能电池生产设备，尤其涉及一种高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置。
背景技术：
2.目前高效太阳能电池主要膜系材料为单质硅，晶体结构为非晶或微晶状态。而且希望的是更多的微晶状态的单质硅材料。目前主要的生长方式是采用平行平板式pecvd设备(ccp-cvd)，在一定真空度和温度下，使用硅烷气体分解得到，此方式由于产生的等离子体密度低，生成的单质硅薄膜主要是非晶状态且氢含量偏高。较好的方法是采用高密度等离子体放电技术比如电感耦合等离子体、微波等离子体放电等技术。电感耦合等离子体由于具有辐射小、结构简单、电磁兼容性好等特点被广泛应用于半导体cvd设备中。但目前电感耦合pecvd设备(icp-cvd)产能很小，主要应用于半导体芯片制造，满足不了太阳能电池行业需要大产能、低成本的要求。
3.现有技术的缺点：
4.1、对于链式平行平板pecvd设备：
5.(1)平面载板，提高产能的办法是采用大的载板，大载板将会使设备体积增大、占地面积增大，成本增高；(2)对于大产能设备，由于载板面积变大，带来放电均匀性、气流均匀性等难控制的问题。
6.2、对于管式平行平板pecvd设备：
7.(1)电极放在炉管中，电极板也是工件载板，还是平行极板之间放电。由于电极板间距不能太小，采用多层电极板的方式扩大产能，将会使炉管直径增大，而炉管壁强度有限不能太大，产能也会受限；(2)两个电极板都在真空腔体中，电极的引入存在漏电风险；(3)气流不能均匀喷在每对电极板之间，存在膜层不均匀的风险，导致影响产品成品率。
8.3、对于电感耦合pecvd设备：等离子体在基片上方的腔体内由电感放电产生，沉膜区域受到限制，导致不能实现大产能沉膜。
技术实现要素：
9.本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种电感线圈设在反应腔体外部，等离子体放电与载板无关，载板结构和布局不再受限制，加热炉管与反应腔体、线圈组成的部件可采用上下多层布置，放在一个机架内，占地面积小，单位面积内的产能大，反应腔体内不需要设置电极从而不会出现电极引入处放电问题，镀膜均匀性好的高效太阳能电池用大产能炉管式icp-cvd装置。
10.为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
11.一种高效太阳能电池用大产能炉管式ic
声明：
“高效太阳能电池用大产能炉管式ICP-CVD装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：湖南红太阳光电科技有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
