本发明涉及一种导电金属氧化物薄膜材料，特别是一种镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法。
背景技术：
人们发现，用钙钛矿结构的金属氧化物，如La0.5Sr0.5CoO3，YBa2Cu3O7-δ，以及SrRuO3等，来代替金属作为锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜器件的底电极，可以大大增强PZT铁电薄膜器件的抗疲劳特性。最近又一种钙钛矿结构的金属氧化物镍酸镧(LaNiO3)引起了人们的极大关注，成为铁电薄膜底电极的首选材料之一。这主要是因为LaNiO3的晶胞参数(a＝0.384nm)与铁电薄膜非常接近，使之不仅可作为电极材料，而且还可以作为籽晶层来优化铁电薄膜的结构和性能。人们已利用物理方法在Si衬底上制备出了择优取向的镍酸镧薄膜。我们知道，化学溶液沉积方法(CSD)制备薄膜材料具有很多优点，如工艺简单，成本低，可制备大面积均匀薄膜等。但到目前为止，虽然采用化学溶液沉积法在Si衬底上制备镍酸镧薄膜已有文献报道，参阅Appl.Phys.Lett.68(10)，(1996)P1347-1349，但生长出的镍酸镧薄膜无择优取向，因此在其上面不可能生长出高质量的铁电薄膜材料，并且所用的原料较为昂贵，不利于商业发展。
技术实现要素：
基于已有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种工艺简便，成本低廉的镍酸镧薄膜材料的制备方法，用该方法制备的薄膜材料具有高度择优取向且导电性能良好。
镍酸镧薄膜材料的制备采用化学溶液沉积(CSD)法，其过程为：
1前驱体溶液的配制：
溶剂为醋酸(CH3COOH)、去离子水，添加剂为甲酰胺(HCONH2)，其体积比为25-30∶5-6∶0.5-2。溶质为硝酸镧(La(NO3)3·xH2O)，醋酸镍(Ni(CH3COO)2·H2O)。配制的程序是：
A.称取一定量地醋酸镍(0.01-0.02摩尔)于一烧瓶中，加入一定量醋酸，然后在60-80℃温度下加热使之溶解；
B.再加入等摩尔量的硝酸镧，在50-70℃温度下，一边不断搅拌，一边慢慢加入去离子水，水和醋酸的体积比为5-6∶25-30，直至不溶物消失，得到绿色透明的溶液；
C.为了防止制成后的镍酸镧薄膜龟裂，还要向溶液中加入适量的甲酰胺(HCONH2)，水和甲酰胺的体积比为5-6∶0.5-2；
D.最后将配制好的前驱体溶液通过0.2μm微孔的过滤器过滤，并通过加入或蒸发溶剂调节其浓度为0
声明：
“镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：天津梦龙新能源技术有限公司;
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2025年05月23日 ~ 25日 
