本实用新型涉及离子束抛光机领域，具体涉及具有稳定工作状态的离子束抛光机。
背景技术：
所谓离子束抛光，就是把惰性气体，如氩、氮等放在密闭空间中，用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热，使之电离成为正离子，再用5千至10万伏高电压对这些正离子加速，使它们具有一定的能量。利用电子透镜聚焦，将它们聚焦成一细束,形成高能量密度离子流，在计算机的控制下轰击放在真空室经过精磨的工件表面，从其表面把工件物质一个原子一个原子地溅射掉。用这种方法实现对工件表面进行深度从100埃到10微米左右的精密加工。现有的小型离子束抛光机，大都在放电腔的出口端设置格栅板，格栅板外设置钨丝作为阴极，阳极设置在放电腔内，实现透过格栅板的电离，通过格栅板实现离子束的生成。然而，现有技术中，由于钨丝无法单独设置，都需要在格栅板外设置安装块来固定钨丝，钨丝的一端悬空在安装块外，在工作过程中，由于钨丝温度极高，钨丝会逐渐处于熔融状态，甚至会端部下坠搭靠在格栅板上，同时钨丝电离过程中会产生大量正离子，这些离子会附着在格栅板、安装块表面，时间稍长就会铺满格栅板和安装块表面，形成导体，并与搭靠在格栅板上的钨丝构成一个完整的回路，导致钨丝被短路，无法正常电离出阳离子，导致离子束抛光机无法在较长时间内保持正常工作，需要间隔工作时间进行清理。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供具有稳定工作状态的离子束抛光机，以解决现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。
本实用新型通过下述技术方案实现：
具有稳定工作状态的离子束抛光机，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的一端伸出至安装块外侧，所述安装块的侧面设置若干方槽，所述方槽的开口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向。
针对现有技术中离子束抛光机无法长时间正常工作的问题，本实用新型提出一种具有稳定工作状态的离子束抛光机，放电腔内设置阳极板，钨丝作为阴极设置在安装块上，阴极与阳极之间的连接方式不属于本实用新型的保护范围，任何现有的电连接方式即可。放电腔的出口端设置若干层格栅板，便于离子穿过，安装块设置在最外层的格栅板上。本实用新型在安装块的侧面设置若干向内凹陷的方槽，并且使得方槽的开口方向朝着钨丝伸出方向，因
声明：
“具有稳定工作状态的离子束抛光机的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：成都睿坤科技有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
