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内蒙包头有色金属冶金技术理论与应用

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制备稀土镁合金的方法及稀土钇钕镁合金

本发明涉及一种稀土钇钕镁合金的制备方法及稀土钇钕镁合金,用石墨块作阳极,钼棒为惰性阴极,钼坩埚作为合金接收器,在氟化钇-氟化钕-氟化锂组成的氟化物熔盐电解质体系中,加入氧化钇、氧化钕和氧化镁的混合物,通以直流电电解得到稀土钇钕镁合金;其中,氟化物熔盐电解质体系的各组分质量比为,氟化钇:氟化钕:氟化锂=(5-20):(70-90):(5-10);按质量百分比,氧化镁=(99-80):(1-20),且氧化钕:氧化钇=(99-1):(1-99);电解温度为1050-1150℃。其优点是:工艺流程简单,成本低,产品成分稳定,工艺过程仅产生CO2和少量CO,对环境污染小,属于绿色环保工艺,适于大规模生产。

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火法冶金
内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
稀土钬合金的制备方法及稀土钬合金

本发明涉及一种稀土钬合金的制备方法及稀土钬合金,其特征是:以石墨块作阳极,钼或钨棒为惰性阴极,钼或钨坩埚作为金属接受器,在氟化稀土-氟化钬-氟化锂组成的氟化物熔盐体系中,加入氧化稀土和氧化钬的混合物,通以直流电,共析电解得到稀土钬合金;其中:氟化物熔盐体系中各组分的质量比,氟化稀土:氟化钬:氟化锂=(92-60):(5-30):(3-10);按质量百分含量,氧化稀土:氧化钬=(99-75):(1-25);电解温度为1050-1150℃。其优点是:在混合氟化物电解质体系中共析电解混合氧化物制得稀土钬合金,工艺流程简单,成本低,产品成分稳定,工艺过程仅产生CO2和少量CO,对环境污染小,属于绿色环保工艺,适于大规模生产。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
稀土铒合金的制备方法及稀土铒合金

本发明涉及一种稀土铒合金的制备方法及稀土铒合金,其特征是:是以石墨块作阳极,钼棒为惰性阴极,钼或钨坩埚作为金属接受器,在氟化稀土-氟化铒-氟化锂组成的氟化物熔盐电解质体系中,加入氧化稀土和氧化铒的混合物,通以直流电电解得到稀土铒合金;其中,氟化物熔盐电解质体系中各组分质量比为,氟化稀土:氟化铒:氟化锂=(92-75):(5-15):(3-10),加入稀土氧化物的混合物,其用量的质量百分含量为氧化稀土:氧化铒=(99-80):(1-20),电解温度为1030-1100℃。其优点是:以简单氟化物电解质体系电解混合氧化物制得稀土铒合金,工艺流程简单,成本低,产品成分稳定,工艺过程仅产生CO2和少量CO,对环境污染小,属于绿色环保工艺,适于大规模生产。

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选择性硫酸化回收钕铁硼废料中稀土的方法

本发明公开了一种选择性硫酸化回收钕铁硼废料中稀土的方法,包括步骤:钕铁硼废料经过破碎研磨,氧化焙烧将其完全氧化,氧化的物料磨至3~100μm,与固体硫酸铁混合压块或直接使用SO3‑SO2‑O2混合气体600~750℃温度下进行选择性硫酸化焙烧,稀土元素转变为硫酸盐,铁元素依旧为Fe2O3状态,其他元素基本为氧化物状态。选择性硫酸化焙烧结束后物料经水浸、过滤分离,铁以Fe2O3形式进入滤渣中,稀土以硫酸盐形式进入浸出液。浸出液中稀土回收率达95%以上,且浸出液无需进一步净化除铁处理,可直接进入稀土分离厂的萃取分离线。本发明工艺流程简单、可操控性好、硫酸化反应剂消耗少、反应尾气易于回收,实现了钕铁硼废料中稀土的清洁、高效回收。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
提高稀土硅铁合金中稀土得率的方法

本发明公布了一种提高稀土中铁合金中稀土得率的方法,有效克服硅热法工艺稀土得率低、冶炼废渣中残余稀土含量过高的缺陷。本发明技术通过在硅铁还原生产稀土硅铁合金的冶炼后程加入硅钙合金,利用硅钙合金中Ca元素所具有的强还原性通过金属热还原的原理深度还原体系中残余稀土氧化物,从而提升合金中稀土得率,也达到减少稀土冶炼渣中稀土残余量的目的。此外,采用加入氧化铁皮等物质,快速脱除合金熔液中过量Ca元素,并可以控制合金中Ca含量。本技术方案实现了提升合金中稀土得率的技术目的,合金中稀土得率大幅度提升,稀土资源利用率明显提高,且工艺步骤紧凑,操作规程简便,完全直接在原有冶炼体系中进行工艺调控(不需要再行冶炼),经济效益良好。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
利用矿热炉高温烟气预热回转窑二次风的方法

本发明涉及冶金余热利用技术领域,公开了一种利用矿热炉高温烟气预热回转窑二次风的方法,包括矿热炉,在矿热炉的排烟口上设有排烟道,所述排烟道的高温段设有热交换器,且热交换器的入口通过进风管道连接有二次风机,热交换器的出口通过出风管道连接有回转窑,所述热交换器包括热管一段、热管二段,所述二次风机向热管一段鼓入冷风,冷风在热管一段与高温烟气发生热交换,形成低温二次风,低温二次风通过旁通管进入热管二段,在热管二段与高温烟气再次发生热交换,形成高温二次风,高温二次风通过燃烧器上的二次风筒进入回转窑;本申请设计合理,换热效果好,换热效率高,既降低了矿热炉烟气温度,又提高了回转窑热效率,该方案是企业节能降耗的重要途径。

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提高稀土回收率的焙烧矿冷浸工艺

本发明涉及一种提高稀土回收率的焙烧矿冷浸工艺,包括,步骤S1,将焙烧矿通过进料口注入冷却装置,同时启动风力装置,焙烧矿在风力装置的带动下沿冷却管移动;步骤S2,冷却水通过进水口注入冷却管内,对焙烧矿进行冷却;步骤S3,出料口温度符合预设标准的焙烧矿通过出料口排出冷却装置,出料口温度不符合预设标准的焙烧矿通过风力装置将不合格焙烧矿传送至预设位置重复冷却,直至焙烧矿温度符合预设标准。本发明设置有中控单元,用于调控各部件工作状态;中控单元通过调节冷却管内水水流速度、第一动力装置动力参数、第二风力机构传送角度和各透气阀的透气量,以使排出的焙烧矿温度符合预设标准。

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综合利用多金属共生白云岩方法

白云鄂博铁矿体的围岩是一种白云岩,以开采铁矿的剥离物产出。其中富含钙、镁、铁、铌、稀土矿物,是冶炼稀土镁钙硅铁合金和提取铌产品的廉价优质原料。把现有的稀土硅热法工艺和火法提铌工艺合理组合形成碳热法熔化分离得铌磷生铁和含氟稀土钙镁炉渣。前者在氧气底吹转炉喷钠盐吹炼得钠化铌渣和含残铌的低碳钢,前者进一步得铌产品。含氟稀土钙镁炉渣用硅热法冶炼各种牌号的稀土镁钙硅合金。充分综合利用了这种白云岩。

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火法冶金
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氧化球团矿原料和氧化球团矿的制备方法

本发明提供一种氧化球团矿原料和氧化球团矿的制备方法。所述氧化球团矿原料包括:重量比为(0~30):(60~100):(1~5)的第一铁精矿、第二铁精矿和连铸及轧钢氧化铁皮。本发明提供的氧化球团矿原料以及氧化球团矿的制备方法中,该氧化球团矿原料中配加一定比例的连铸及轧钢氧化铁皮制备的氧化球团矿,结合相应工艺制备的氧化球团矿的抗压强度、转鼓强度及冶金性能均可满足高炉需求,同时可实现连铸及轧钢含铁尘泥的合理利用,发展循环经济,打造绿色钢铁。

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Al-Zn-Mg系铝合金的制备方法

本发明涉及冶金与金属材料制备技术领域,具体涉及一种Al‑Zn‑Mg系铝合金的制备方法。本发明提供的Al‑Zn‑Mg系铝合金的制备方法,采用流槽浇铸,在流槽浇铸的过程中对流槽中的铝合金熔体进行电磁处理后,将所述铝合金熔体进行半连续铸造,得到所述Al‑Zn‑Mg系铝合金。在本发明中流槽中的熔体在电磁能的作用下,能够使熔体组织得到明显细化,组织分布和均匀性有所改善,有效提高了铸锭的加工成型性能,使屈服强度、硬度和断裂口延伸率明显提高。

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耐烧蚀钼合金及其制备方法

本发明公开了一种耐烧蚀钼合金,包括以下重量分数的组分:CrCoNi合金0.1~1%、LuO20.2~1%、Si 0.01~0.2%,余量为Mo;其中,CrCoNi合金中Cr、Co、Ni的质量占比分别为:Cr 30~36%、Co 30~36%、Ni 30~36%。本发明将CrCoNi中熵合金粉体、氧化镥‑硅作为添加成分应用于钼合金的制备,球形CrCoNi中熵合金粉体为单相固溶体,可有效促进材料基体致密化烧结,显著提高材料韧性,降低粉末冶金烧结温度,并解决了钼基材料韧性差核心技术难题;LuO2‑Si的添加可实现弥散强化及固溶强化,LuO2‑Si原位反应相大幅提高材料的抗高温蠕变能力,添加相的协同强化显著提高材料耐烧蚀性及高温力学性能。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
制备铝基合金粉体材料的方法

本发明公开了一种制备铝基合金粉体材料的方法,包括以下步骤:提供熔融金属或合金液体的步骤,利用快速运动的气体冲击的方式,将所述的熔融金属或合金液体破碎成金属液滴的步骤,将该金属液滴冷凝成为固体粉末的步骤,其中,该金属液滴比所述的熔融金属或合金液体细小。本发明得到的铝基合金粉体化学成分均匀、非晶态组成比例高、颗粒细小、颗粒分布区间小、形状规则、氧含量低、成粉率高。适用于制备粉体原材料的工业化生产,为粉末冶金制备大块铝基合金和冷喷涂制备非晶态铝基合金防护镀层提供粉体原材料。

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稀土铝——镁合金永磁材料

本发明涉及永磁材料,特别是稀土铝——镁合金 永磁材料。特点是:将Al-Mg合金、稀土NdFeB永磁材料分 别熔炼,雾化制粉,Al-Mg合金粉末粒度-200目以下,NdFeB 粉末粒度1~10μm,混匀、充磁-预压,真空预烧结,热压 成型。参数:真空度2×10-2~ 1×10-3pa,压力200~350Mpa, 温度350~620℃,时间3~6小时。该稀土金属永磁性相,弥 散均匀分布在Al-Mg合金基体α(Al- Mg)相中,稀土Al-Mg合金磁特性粒度1~10 μm,NdFeB雾化粉末 Nd2Fe14B磁晶100~200mm,稀土Al-Mg合金磁特性:剩磁5~ 6KGS,内禀矫顽力7kOe以上,磁能积(BH) m6~7MGsOe,超过铁氧体约一倍。复合磁性 材料密度3~4g/cm3,比重小, 重量轻,抗氧化,抗腐蚀性强,导电、导热性好,可加工等特 性,对吸收电磁波宽频段有显著吸收屏蔽和抗雷达波跟踪隐身 材料技术效果。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
镨钕氧化物的制备方法

本发明涉及一种镨钕氧化物的制备方法,属于稀土湿法冶金领域。目前通用的萃取分离工艺的La/Ce、Ce/Pr两段分离简化为La/Pr一段分离,从两段分离需要的120级分离缩短为一段分离的20级分离,使进入萃取分离的原料中的镨钕含量从22%左右提高到44~46%。本发明用是一种从氟碳铈精矿、混合碳酸稀土及混合稀土氢氧化物中生产镨钕氧化物的短流程方法。其技术特征是:原料先进行氧化提铈,然后采用无铈氯化稀土原料进行萃取分离。采用该短流程生产镨钕氧化物,成本降低20%以上,生产率提高1倍,镨钕氧化物的纯度为99~99.9%,同时也可得到纯度≥95%的氧化铈。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
锤式破碎机的耐磨锤头及其制备方法

本发明一种锤式破碎机的耐磨锤头及其制备方法,包括锤头的端部和锤头的柄部,其特征是:锤头的端部是高铬铸铁,其成分按重量百分比为:C:2.40%~3.20%、Si:0.30%~1.50%、Mn:0.50%~2.0%、Cr:12.0%~18.0%、P:≦0.10%、S:≦0.06%、Ce:0.04%、V:0.10%~0.20%、余为铁;锤头的柄部是中碳低合金钢,其成分按重量百分比为:C:0.30%~0.50%、Si:0.30%~1.0%、Mn:0.70%~1.5%、Cr:1.0%~3.0%、Mo:0.15%~0.25%、P:≦0.04%、S: ≦0.04%、余为铁;利用消失模空型铸造液-液双金属复合耐磨锤头,通过控制浇注程序,制备出一种界面为冶金结合的双液-双金属复合锤头。锤头柄部材料为中碳低合金钢,锤头端部材料为高铬铸铁。在制造成本不变的情况下,其使用寿命较传统高锰钢锤头可提高2~3倍。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
含K<Sub>2</Sub>O、Na<Sub>2</Sub>O、F铁精矿配加高镁复合粘结剂制备球团矿的方法

本发明公开了一种含K2O、Na2O、F精矿配加高镁复合粘结剂制备球团矿的方法。本发明提供的方法采用高镁复合粘结剂配合铁精矿制备的镁质球团矿在较高的MgO含量的情况下,其还原膨胀性能、软熔滴落性能、高温还原性等冶金性能均能满足高炉生产需要,可以克服目前通用的镁质添加剂存在球团矿品位和高炉产质量低的缺点,并且无需再配入膨润土。

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AB5型稀土系储氢合金冶炼废渣回收利用的方法

本发明涉及一种AB5型稀土系储氢合金冶炼废渣回收利用的方法,属于稀土冶金。本发明以AB5型稀土系储氢合金冶炼废渣为原料,采用水浴富集-渣金熔分两步法或水浴富集-还原扩散-渣金熔分三步法回收合金。依据AB5型稀土系储氢合金成分要求,以回收的合金为原料,配入其它纯金属或合金,冶炼为成分合格的AB5型合金,用作镍氢电池生产的负极合金材料。该工艺流程短、工艺简单、成本低,回收效率高,回收的合金得到了循环利用。

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高炉热风炉用炉箅铸造工艺

本发明涉及一种高炉热风炉用炉箅的铸造工艺,属于冶金铸造技术。本发明采用整体砂箱,带有四周边半孔的木质实样和带有四周边半孔的金属模板组成整体实样,与活动金属芯头配合造型,靠模垂直起样,下芯头型腔与多孔薄铁皮上盖共同定位芯子,确保箅孔间距公差的精度要求。炉箅造型和薄铁皮上盖用砂均为一般粘土砂,芯子采用树脂砂,合理使用材料。其优点是只需通过铸造工序就能生产出满足高精度要求的炉箅子,不需加工钻孔,降低了生产成本,保留了箅孔内表面的铸造黑皮,可防氧化和耐高温,从而延长了炉箅的使用寿命。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
由白云鄂博共伴生原矿混合稀土制成的稀土永磁体及其制备方法

本发明涉及一种由白云鄂博共伴生原矿混合稀土制成的稀土永磁体及其制备方法,所述稀土永磁体的成分如下式所示:(PrNd)x(MM)y(Fe1-aAa)zB,2≤x+y≤2.5,11≤z≤14,MM为白云鄂博共伴生原矿混合稀土。所述稀土永磁体可利用粉末冶金工艺、快淬-热压热变形工艺实现。本发明提出利用白云鄂博原矿混合稀土开发出新型资源节约稀土永磁体替代传统的稀土永磁体,具备价格低廉、减少环境污染的优点,所得磁体的磁能积范围在25~45MGOe,能够很好地填补铁氧体、SmCo稀土永磁体的适用范围空白。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
白云鄂博钾长石精矿制取高纯碳酸钾和高纯氢氧化铝的方法

本发明涉及一种白云鄂博钾长石精矿制取高纯碳酸钾和高纯氢氧化铝的方法,属于湿法冶金领域。本发明利用白云鄂博富钾板岩分选的纯度大于95%的钾长石精矿为原料,采用石灰烧结、分步浸出法,制取高纯碳酸钾和高纯氢氧化铝的新工艺。碳酸钾纯度大于99%,回收率大于90%,氢氧化铝达到国家一级标准,回收率大于85%。本发明工艺简单、易于工业化生产,具有很好的经济效益。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
白云鄂博共伴生原矿混合稀土永磁材料及其制备方法

本发明涉及一种由白云鄂博共伴生原矿混合稀土制成的稀土永磁体及其制备方法,所述稀土永磁体的成分如下式所示:MMxFeyAzB,2≤x≤2.5,11≤y≤14,0≤z≤0.6,MM为白云鄂博共伴生原矿混合稀土,A为纳米辅合金,包括Nd、Pr、Al、Cu元素中一种或几种。所述稀土永磁体可利用粉末冶金工艺、快淬-热压热变形工艺实现。本发明提出利用白云鄂博原矿混合稀土开发出新型资源节约稀土永磁体替代传统的稀土永磁体,具备价格低廉、减少环境污染的优点,所得磁体的磁能积范围在20~40MGOe,能够很好地填补铁氧体、SmCo稀土永磁体的适用范围空白。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
铝电解用微膨胀阴极糊

本发明是针对传统的阴极糊料,在电解槽焙烧启动时,糊料本身收缩造成裂纹而研制的一种微膨胀性(且膨胀系数可控制)阴极糊。用该糊代替传统的收缩型底糊,由于糊料接触紧密,无裂纹,电解槽槽底电压降降低,槽寿命延长,是一种理想的阴极结构材料。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
利用多种工业固体废弃物制备微电解填料的方法

本发明属于一种制备微电解填料的方法,具体涉及多种工业固体废弃物综合利用的处理方法。本发明是针对现有的微电解填料存在的缺陷,提供一种区别于现有的微电解填料的利用多种工业固体废弃物制备微电解填料的方法。本发明充分依据多种工业固体废弃物的化学成分,采用混合、造球、焙烧工艺,并充分利用焙烧系统高温、高热环境无害化处理多种工业固体废弃物,将多种工业固体废弃物制备成微电解填料,具有独特的技术、经济优势,且符合环保要求。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
耐550度高温型钐钴永磁材料的制造方法

本发明公开了一种耐550度高温型钐钴永磁材料的制造方法采用粉末冶金结合低氧工艺,将钐、钴、铜、铁、锆这五种金属元素,经配料、真空熔炼、制粉、磁场成型、等静压、烧结、热处理六个环节,最终形成高温钐钴永磁材料,其密度在8.30g/cm3‑8.50g/cm3之间,常温最大磁能积16MGOe‑20MGOe之间,内禀矫顽力大于25kOe,550度高温下最大磁能积8MGOe‑12MGOe之间,内禀矫顽力大于7kOe,且550度退磁曲线上,磁感矫顽力是直线。

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火法冶金
内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
海绵铁炼钢过程中渣金反应控制的方法及其装置

本发明涉及冶金及材料热处理实验领域,具体涉及一种海绵铁炼钢过程中渣金反应控制的方法及其装置。具体地,将海绵铁破碎,用行星球磨机磨成粉末,之后将海绵铁粉末填入加料器中,通过加料器把海绵铁粉末加入坩埚中;坩埚放在位于电磁搅拌器磁场中心位置的载物台上;对放置有海绵铁粉末的坩埚交替进行加热与电磁搅拌处理,之后通过下拉位于磁场及热场中心位置处的载物台,使得坩埚逐渐脱离硅钼棒热辐射区域,钢液从坩埚底部逐渐向顶部冷却凝固。此外,本发明还公开了用于海绵铁直接炼钢装置的具体结构。本发明工艺条件简单、成本低、能耗相对小,且收得率高,熔炼时间短,生产规模可调;不仅降低了成本,而且操作简便易行,环境友好。

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火法冶金
内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
增碳用碳铁合金及其制造方法

本发明公开了一种真空感应炉冶炼实验钢增碳用碳铁合金及制造方法,属于钢铁冶金技术领域。本发明是由下列原材料经过加工制成的:高碳废钢、石墨块、SiCa合金及辅助材料。将所述原材料按照要求重量百分比配备称量,首先将石墨块、高碳废钢放入真空中频感应炉坩埚内,进行真空熔炼。以硅钡钙充分脱氧后,向坩埚内钢水加入按照要求重量百分比配备称量的SiCa合金及辅助材料,熔化混合均匀后,将钢水浇入钢锭模中使其完全冷却,开模后脱模即成为增碳用碳铁合金锭,将碳铁合金锭进行退火,锯切成为为10mm×10mm×50mm~300mm碳铁合金块,用于真空感应炉冶炼实验钢增碳。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于钢中加入的LaFeSiCa合金及其制造方法

本发明公开了一种用于钢中加入的LaFeSiCa合金及其制造方法,属于钢铁冶金技术领域。本发明是由下列原材料经过加工制成的:纯铁65%~90%、单一稀土镧30%~5%、SiCa合金及辅助材料5%。将所述原材料按照要求重量百分比配备称量,首先将纯铁放入真空中频感应炉坩埚内,进行真空熔炼。以硅钡钙充分脱氧后,向坩埚内纯铁钢水加入单一稀土金属镧,熔化后,混合均匀1~10分钟,然后将熔化混合均匀的LaFeSiCa中间合金钢水浇入组合钢锭模中使其完全冷却,开模后脱模即成为LaFeSiCa中间合金块,粒度为5mm~30mm,利用双层覆膜包装成为5公斤~25公斤/袋的LaFeSiCa中间合金产品。

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氮常压下冶炼高氮不锈钢的方法

本发明公开了一种氮常压下冶炼高氮不锈钢的方法,属于冶金产品技术领域。方法为:准备原料,向感应炉内和二次布料仓内加入原料;抽真空至感应炉内的真空度为58Pa;在真空环境下,预热感应炉内炉料;温度达到1300-1400℃时,开启充气阀,向感应炉内充入氮气,使炉内的压力为0.082MPa;继续升温,待钢液熔化后,通过二次布料仓向感应炉熔炼室内加入氮化物;待其熔化后,18-20KW下搅拌,使钢液成分均匀;浇注和凝固;脱模。本发明,通过添加氮化物,在氮气气氛保护下,阻止氮化物的分解,从而实现了低成本冶炼高氮钢。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
用于钢中加入的REFeSiCa合金及其制造方法

一种用于钢中加入的REFeSiCa合金及其制造方法,属于钢铁冶金技术领域。由下列各占重量百分比的原材料经过加工制成:纯铁65%~90%、混合稀土金属30%~5%、SiCa合金及辅助材料5%。将所述原材料按照重量百分比要求配备称量后,先将纯铁放入真空中频感应炉坩埚内,进行真空熔炼。以硅钡钙充分脱氧后,向坩埚内钢水中加入配备称量的混合稀土金属,待熔化、混合均匀,然后将REFeSiCa合金钢水浇入组合钢锭模中使其完全冷却,开模后脱模即成为REFeSiCa中间合金,粒度为5mm~30mm,利用双层覆膜包装成为5公斤~25公斤/袋的REFeSiCa中间合金产品。

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内蒙 - 包头 来源:中冶有色技术网 2023-03-18
高阻靶材制造方法
高阻靶材制造方法 766     
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本发明涉及一种高阻靶材制造方法,属于电子材料与冶金技术领域。用于制备金属膜电阻器所需的靶材。该方法包括原料配比、熔炼、制粉、热压成型和机加工过程。其优点是:所制造的靶材晶粒尺寸细小、大小分布均匀、致密度高、外部无裂纹、内部无孔隙,能够有效提升金属膜电阻器的质量和薄膜沉积速率;本发明方法制造靶材成品率高,易于规模化生产。

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