有色金属真空冶金技术理论与应用

铝合金塑料复合材料手机框架及其制作方法 1196     

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一种铝合金塑料复合材料手机框架，包括3D打印的铝合金中框和一体注塑成型的塑胶结构件，铝合金中框是将铝合金粉末和聚合物粉末混合均匀的混合料，通过3D打印微喷射方法制成的铝合金中框坯体，经真空烧结处理得到的铝合金中框。该手机框架的制作方法包括：S1、将铝合金粉末和聚合物粉末混合均匀形成混合料，通过3D打印微喷射方法制成铝合金中框坯体，经真空烧结处理得到铝合金中框；S2、通过注塑成型，在铝合金中框上一体成型塑胶结构件。通过本发明混合料使用3D打印铝合金中框再注塑成型上塑胶结构件，结构强度高，不再需要CNC加工复杂的功能结构槽，工序简单，自动化程度高，不产生多余的金属废料，材料使用率高。

通过光学区熔技术制备SiC/LaB6共晶复合材料的方法 754     

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本发明公开了一种通过光学区熔技术制备SiC/LaB6共晶复合材料的方法，其特征在于：首先以SiC粉末和LaB6粉末为原材料，经预压成型、真空烧结，获得SiC‑LaB6预制体；然后将由预制体切割成的圆柱棒两根分别置于光学区熔炉的上抽拉杆和下抽拉杆上，使上、下圆柱棒轴对称且上、下圆柱棒结合的部位位于光斑中心；最后经光学区熔并定向生长，即获得SiC/LaB6共晶复合材料。本发明所得SiC/LaB6共晶复合材料，白色的LaB6纤维规整的排列在黑色的SiC基体中，组织均匀。

铬基合金耐热滑块及制备方法 1075     

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本发明涉及一种铬基合金耐热滑块及制备方法，属于粉末冶金高温材料技术领域。本发明的铬基合金化学成分(wt％)为：Fe 11.0～20.0％、Si 0.5～2.0％、Mo 3.1～5.0％、C≤0.05％，余量为Cr。本发明以铬粉、低碳铬铁粉、硅铁粉、钼粉为原料，经球磨混料、冷等静压成型、真空烧结近净成形制备铬基合金耐热滑块。本发明铬基合金具有优异的高温强度和抗氧化性能，耐热滑块制造技术节能环保，在其它高温环境使用的部件也可推广应用。

磁力驱动泵陶瓷泵件的材料及其陶瓷泵件的制造方法 1024     

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磁力驱动泵陶瓷泵件的材料及其陶瓷泵件的制 造方法，它涉及一种用于磁力驱动泵用的陶瓷泵件的材料及泵 件的制造工艺。本发明各成分质量百分比分别为：碳化硅和碳 化硼粉末70～80％，Al－Y系添加剂0.5～25％，CeO2或La2O3占0.5～2.5％。首先，采用球磨或搅拌的方法将碳化硅和碳化硼粉末及添加剂混合，而后用冷压、冷等静压或注射成形方法制成粉末坯，然后将粉末坯置于真空烧结炉中，先将真空炉抽成真空，再用氩气冲洗三次，升温烧结，升温的速度为5～10℃/min，升温到1750～2100℃后，保温240～480分钟，烧结在氩气中进行。本发明耐磨性能提高，比已有技术提高10～50％，同时降低成本20～40％。韧性提高了30％左右，从而使耐热震性能、抗弯性能提高。

WP/Al复合材料与Al2O3陶瓷的焊接方法 1055     

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本发明提供一种Wp/Al复合材料与Al2O3陶瓷的焊接方法，包括以下步骤：(1)将Wp/Al复合材料表面打磨、除油、见光，用去离子水洗涤；(2)将处理后的Wp/Al复合材料放入浸锌液中进行浸锌预处理；(3)采用磁控溅射法在Wp/Al复合材料表面溅射厚度为0.5～2μm的金属沉积层；(4)将表面镀有Au层的Al2O3陶瓷、Au-Sn焊料和步骤(2)中得到的具有金属沉积层的Wp/Al复合材料依次叠放，一并放入真空烧结炉中进行真空焊接，焊接温度为310～350℃，保温时间为3～10min，然后降温至50℃以下出炉。本发明有效解决了高体积分数的Wp/Al复合材料与钎焊料润湿性不好的问题，焊接后复合材料与Al2O3陶瓷形成了有效焊接。

高强度铁镍代钴硬质合金制备方法 874     

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高强度铁镍代钴硬质合金制备方法，包括如下步骤：步骤101配料球磨:按照重量比例WC：FeNiCo=2：1至3：1的配比进行球磨；步骤102,球磨完成后对压料干燥制粒；步骤103压制合金并真空烧结。采用本发明所述高强度铁镍代钴硬质合金制备方法制得的铁镍合金，在普通真空烧结的条件下,可得到强度高、抗冲击性能好的组织结构,是替代YG20C的理想材料。在烧结过程中胶结金属对WC润湿性好,液相填充能力较强，制造工艺过程中使用的设备与传统硬质合金大致相同，能很好的节省更新生产线的成本。

ZrB2陶瓷的制备方法 877     

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本发明公开了一种ZrB2陶瓷的制备方法，其特步骤如下：一、将ZrO2粉、B4C（B2O3）粉和C粉放入球磨罐中进行充分混合，然后在真空炉中煅烧混合粉体，获得ZrB2粉体；二、在ZrB2粉体中加入粘合剂，搅拌均匀后装入模具中进行压力成型，从模具中脱模，获得素坯；三、将素坯平放在高纯氧化铝陶瓷片上，然后一起放入真空烧结炉中烧结，随炉冷却，得到ZrB2陶瓷。本发明ZrB2陶瓷采用真空烧结的方法，采用ZrO2粉、B4C（B2O3）粉和C粉，适当增加的B4C（B2O3）粉和C粉摩尔比，由于B4C（B2O3）粉和C粉容易在真空炉中氧化分解，因而提高B4C粉和C粉摩尔比例，能够更把握的获得化学配比的ZrB2粉体。这种方法简单易行，粉体混合操作温度为室温，可以进行较精确的控制。

晶界相重构的高耐蚀性烧结钕铁硼磁体及其制备方法 755     

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本发明公开了一种晶界重构的高耐蚀性烧结钕铁硼磁体及其制备方法。它的成分为：NdeFe100－e－f－gBfMg，其中6≤e≤24，5.6≤f≤7，0.03≤g≤8，M为Dy、Tb、Pr、Sm、Yb、La、Co、Ni、Cr、Nb、Ta、Zr、Si、Ti、Mo、W、V、Ca、Mg、Cu、Al、Zn、Ga、Bi、Sn、In元素中一种或几种；方法为：将主相合金和重构的晶界相合金分别制粉，然后均匀混合；将混合粉末在磁场中压制成型坯件，在高真空烧结炉内制成烧结磁体。本发明通过晶界相成分的重构，得到具有低熔点以及高电极电位的晶界相合金，在保证磁性能的基础上降低了主相和晶界相的电位差，提高了磁体的本征耐蚀性，而且工艺过程简单，成本较低，适合于批量化生产。因此，结合晶界重构和双合金法可以制备具有高本征耐腐蚀性的烧结钕铁硼磁体。

高强度高精度过滤材料的制备方法 720     

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本发明公开了一种高强度高精度过滤材料的制备方法，其特征在于，该制备方法，包括以下步骤：一、在1平米的隔层上，将金属纤维进行无序叠加平铺；二、将平铺纤维层通过隔层送至真空烧结炉在真空压力施加下进行真空烧结；三、烧结完成后，通入惰性气体进行自然冷却到室温；四、采用压机把烧结为一体的金属纤维毡平整并压制到的1mm～1.2mm厚度，即得到了表面光滑高强度高精度烧结金属纤维过滤材料。本发明提出的烧结金属纤维过滤材料通过边烧结边预压缩，冷却后在进行压制，其孔隙率能达到40％以上，能承受400公斤的压力不变形，过滤精度5um～40um，而且焊接性优于传统粉末烧结板。

铁铝基金属间化合物微孔过滤元件的制备方法及用途 1035     

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本发明属于粉末冶金制备领域，特别涉及应用于 含有腐蚀性组分的高温气体的净化过滤和除尘工艺或系统中 所用的金属微孔过滤元件的制备方法及用途。该方法首先将上 述原料投入真空冶炼炉中熔炼；将熔炼后的 Fe3Al采用高压水雾化工艺制 粉，雾化水压＞8MPa；高压水雾化制备的 Fe3Al金属间化合物粉末通过标 准筛，筛分成不同级别；然后将原料粉末，采用等静压/模压成 型工艺一次成型，压力100～300MPa，保压时间10～30min， 脱模后，采用真空烧结工艺，烧结温度1100～1350℃，保温时 间1～5h，真空度＜9.0×10－3 托。本发明与现有技术相比具有强度高，抗高温氧化性和抗硫 腐蚀性能优异，过滤效率高、运行阻力低、工艺稳定、易于反 吹清洗再生、寿命长、节能的优点。

真空法制备碳氮化钛粉末的方法 932     

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本发明公开一种真空法制备碳氮化钛粉末的方法，属于粉末冶金领域，包括以下步骤：S1、将原料TiO₂、碳黑和粘接剂进行球磨混合得混合料；将所述混合料经烘干、制粒、压块成型得混合块料，并将所述混合块料装入碳质舟皿中；S2、将所述碳质舟皿放入低压真空烧结炉中，对低压真空烧结炉抽真空使炉内压力小于，然后升温至1150～1250℃，通入氮气使炉内压力升至80～130Kpa，保温保压1.5～2.5h后，将炉体降至室温后，取出产物块料；S3、将所述产物块料经过破碎、球磨、分级、合批，得终产品。本发明所制得的TiCN粉末具有纯度高、成分单一、氧含量低、晶型完整、粒度可调等特点，且工艺简单、成本低，适用于工业生产。

钽坯料或钽合金坯料的制备方法 987     

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本发明提供了一种钽坯料或钽合金坯料的制备方法，包括以下步骤：a）将钽粉或钽合金粉压制成型，将压制成型的坯料在真空烧结炉中进行预烧结；b）将步骤a）得到的坯料进行真空垂熔烧结，得到钽坯料或钽合金坯料。本申请采用预烧结与真空垂熔烧结的方式制备了钽坯料或钽合金坯料，其中真空烧结炉中的预烧结是感应烧结，使烧结后坯料的均匀性一致，而后进行了真空垂熔烧结，由于真空垂熔烧结前的预烧结阶段使坯料的均匀性较好，因此坯料经过真空垂熔烧结，也能够保证坯料的均匀性，使坯料的性能均匀性较好。

低压电器电触头材料及其制备方法 1067     

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一种低压电器电触头材料及其制备方法，其特征在于：将纳米金刚石和Ce3+铈盐的水溶液用超声波混匀为前驱物，将此前驱物在90-100℃下干燥4h，再装入瓷坩埚中，于真空烧结炉中，于600-850℃焙烧1-2h。将焙烧产物采用球磨机或气流粉碎机粉碎。将粉碎产物加入润湿剂混匀后和铜钨合金粉按比例加入三维混料机混合均匀，加到模具中热压成型，于1000℃的真空烧结炉中烧结1.5-4h。本发明的优点在于：该电触头材料含有纳米金刚石，不但具有弥散强化作用，而且具有超强的硬度和耐磨性能；金刚石的超强导热性能，能降低表面温度，能抵御熔焊和电烧蚀；金刚石上包覆有氧化铈，其电子逸出功较低，分散电弧的运动，减少电弧对触头材料的集中烧蚀；以铜代替银大大降低了成本。

MoTa/MoTi合金粉末的制备方法 713     

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本发明公开了一种MoTa/MoTi合金粉末的制备方法，包括按质量百分比分别称取Mo粉与Ta粉或者Mo粉与Ti粉；将称取的Mo粉与Ta粉或者Mo粉与Ti粉放入到氮气环境下的气流磨机中进行混合；将混合的Mo粉与Ta粉或者Mo粉与Ti粉置于真空烧结炉中进行真空松装烧结，形成MoTa或MoTi合金块体；对MoTa或MoTi合金块体进行破碎和筛分。本发明的方法解决了现有技术中采用的固-固掺杂法制备出的MoTa/MoTi合金粉末均匀性差、合金粉末颗粒与基体粉末颗粒结合强度低、氧含量较高进而影响合金粉末使用性能的问题。

耐高温燃烧纤维毡 1114     

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一种耐高温燃烧纤维毡，本发明目的是提供一种对油品过滤效果较好的耐高温燃烧纤维毡。本发明的技术方案是，一种耐高温燃烧纤维毡，（1）选取不锈钢或铁铬铝纤维，丝经0.05～0.15mm的纤维束，（2）用剪刀或剪板机将纤维丝剪切成长度为：60～80mm，（3）用开松机将剪切好的纤维束开松，要求开松后的纤维打卷，无成束纤维，（4）将开松后的纤维按6500g±5%/m2称重，并在透光台上铺棉，（5）把铺好的纤维束装入真空烧结炉内，进行真空烧结，保温：300～400min后，缓冷至室温出炉，（6）将烧结出炉的纤维棉进行平压，将烧结出炉的纤维毡在平整机上滚压，即完成产品的制备。本发明使用效果好，加工便捷，能够有效地提高油品过滤质量和燃烧效率。

核壳型纳米级碳包覆磷酸铁锂复合正极材料及其制备方法 1386     

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本发明公开一种核壳型纳米级碳包覆磷酸铁锂复合正极材料以及这种材料的制备方法，其步骤如下：1)按摩尔比称取Fe3+化合物、锂源化合物、磷源化合物和还原剂；2)将Fe3+化合物配成溶液，向其中加入还原剂使Fe3+还原成Fe2+，然后加入锂源化合物和磷源化合物，得前驱体溶液；向前驱体溶液中加入质量占上述基础原料总质量10－15％的改性淀粉，加热并搅拌，使改性淀粉糊化，继续加热搅拌，使溶液中的溶剂蒸发，得到淡黄色前驱体粉末；3)将前驱体粉末置于真空烧结炉，在真空度为5－15Pa的压力下，先在300℃－400℃温度条件下预分解2－6小时，再升温至600℃－800℃温度条件下煅烧10－20小时，冷却后得到核壳型纳米级碳包覆磷酸铁锂复合正极材料。

LuAG:Ce透明陶瓷的制备方法及LuAG:Ce透明陶瓷 1199     

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本发明提供一种LuAG:Ce透明陶瓷的制备方法及LuAG:Ce透明陶瓷，该透明陶瓷的制备方法包括：配制含Ce³⁺的铈盐溶液；将Lu₂O₃和Al₂O₃纳米粉体分别进行预处理；按比例混合含Ce³⁺的铈盐溶液和经预处理的Lu₂O₃以及Al₂O₃纳米粉体，混合均匀后进行球磨；将球磨后的混合物进行干燥处理，然后再进行煅烧；将煅烧后的粉体压制成坯体并进行预烧；将预烧后的坯体进行真空烧结即得。本发明能够解决现有技术中LuAG:Ce陶瓷在可见光范围中的透过率较低，且制备时由于高的烧结温度所限制的规模化的应用，以及现有的制备方法无法采用粒径更小的纳米粉体作为原料导致无法获取质量更加优异的LuAG:Ce透明陶瓷的技术问题。

不锈钢纤维烧结毡的制备方法 1057     

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本发明提供了一种不锈钢纤维烧结毡的制备方法，包括以下步骤：一、将不锈钢纤维毛毡置于真空烧结炉中，在真空条件下，将不锈钢纤维毛毡升温至300℃～600℃后保温30min～120min进行低温烧结处理，自然冷却后得到低温烧结毡；二、采用液压机将低温烧结毡压缩至孔隙率为60％～95％，然后将压缩后的低温烧结毡置于真空烧结炉中，在真空条件下，将压缩后的低温烧结毡升温至900℃～1000℃后保温1min～30min进行高温烧结处理，自然冷却后得到不锈钢纤维烧结毡。本发明不仅实现了纤维之间牢固的冶金结合，还避免了纤维内部晶粒的粗化，从而提高了不锈钢纤维烧结毡的力学性能。

有色氧化锆陶瓷及其制备方法 1159     

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本发明涉及一种有色氧化锆陶瓷及其制备方法，不同于常规制备方法，本发明中将陶瓷粉料依次进行干压成型、冷等静压成型后依次进行真空烧结、打磨抛光即可获得一种有色氧化锆陶瓷。本发明中在无需添加着色剂的情况下经真空烧结即可获得一种银灰色或黑色氧化锆陶瓷，上述陶瓷致密度高且着色均匀、美观。

调控微粒组合的烧结钕铁硼永磁铁及制造方法 762     

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本发明公开了一种调控微粒组合的烧结钕铁硼永磁铁，永磁铁具有重稀土RH含量高的主相包围重稀土RH含量低的主相的复合主相，复合主相内部无连续的晶界相；复合主相外围的重稀土RH含量高于复合主相中心的重稀土RH含量，复合主相的平均晶粒尺寸6-14μm；重稀土RH包含Dy、Tb、Ho、Gd、Y元素一种以上；制造方法包含制备第一合金粉工序、制备第二合金粉工序、合金粉混合工序、磁场成型工序、真空烧结和时效工序；第一合金粉含有Pr、Nd元素，第二合金粉含有重稀土RH，所述的第二合金粉的平均粒径1.1-2.9μm。

固体电解质铌钽复合电容器的制备方法及复合电容器 960     

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一种固体电解质铌钽复合电容器的制备方法及复合电容器,采用铌和钽混合制成铌钽复合电容器,首先将钽粉和铌粉或将钽粉和纯一氧化铌按一定比例混合均匀,其中钽含量为5%至95%,其余含量为铌;再将其压制成型,得到复合金属的阳极块,再进行真空烧结,即得到复合电容器的阳极。再通过电化学氧化后形成复合氧化钽和氧化铌的介质膜,成为铌钽复合电容器的阳极,阴极则采用固体二氧化锰,产品的外形类似于片式固体电解质铌钽复合电容器;所述的制备方法包括钽粉和铌粉或一氧化铌的混合、成型、烧结、赋能、被膜工序。

氢辅粉末冶金钛基复合材料的制备方法 838     

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本发明属于粉末冶金领域，具体涉及一种氢辅粉末冶金硼化钛（TiB）增强钛基复合材料的制备方法，包括以下步骤：（1）将原料（钛粉或氢化钛粉、合金粉、含硼粉）混合并压制形成坯料；（2）将步骤（1）所得坯料真空烧结；（3）氢化并球磨步骤（2）所得坯料形成含氢预合金粉，压制形成坯料；（4）将步骤（3）所得坯料再次真空烧结，得到致密度高且增强相均匀分布的钛基复合材料。第一次烧结后坯料孔隙率高，增强相与合金元素在基体中分布不均匀且存在未完全反应残余硼化物相和中间相;将其氢化球磨。氢化处理使钛合金基体转化为低强度脆性材料，易球磨形成预合金氢化粉末。球磨工序使预合金粉充分混合增强了最终产品的均匀性。

用于废水处理的超滤膜及其制备方法 981     

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本发明公开了一种用于废水处理的超滤膜及其制备方法，该超滤膜通过以多孔金属作为基体，通过将多孔金属基体在溶胶中进行多次浸渍，在多孔金属基体上负载了溶胶颗粒，可以有效提高金属膜分离精度，又能保护基体不受到腐蚀；该制备方法通过使用真空烧结装置进行烧结处理，该真空烧结装置将超滤膜半成品放置于转盘的置物槽中后，关闭仓门，使用抽真空机运转通过抽气管从保温仓中抽取空气，直至将保温仓内腔抽成真空状态为止，通过气体输送泵机运转将保护气体通过输气管输送至保温仓内腔中，然后再对超滤膜半成品进行加热，避免了多孔金属基体在高温烧结过程中容易氧化，使得得到的超滤膜品质高，过滤效果好。

难熔金属化合物高温抗氧化涂层及其制备方法 946     

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本发明涉及一种难熔金属化合物高温抗氧化涂层及其制备方法，属于无机功能涂层材料制备技术领域，所述的难熔金属化合物是指铪、锆、钨、钼等的硼化物、硅化物、碳化物。本发明通过将卤化物催化剂引入到内覆层中，在烧结后即可形成难熔金属化合物高温涂层，对高真空度、双炉室的真空烧结炉无依赖，可以在通用的真空烧结设备中实现涂层的制备，降低了涂层制备成本。

液相烧结碳化硼陶瓷材料及其制品的制造方法 838     

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液相烧结碳化硼陶瓷材料及其制品的制造方法。 本发明主要解决热压烧结碳化硼生产费用高、不能生产复杂形 状制品等问题。它包括碳化硼粉末原料，还包括Al－Y系添加剂和任选一种的CeO2或La2O3成分，各成分质量百分数分别为：碳化硼粉末原料72－99，Al－Y系添加剂0.5－25℃/min，CeO2或La2O30.5－3.0。液相烧结碳化硼陶瓷材料及其制品的制造方法为：首先，按常规方法将碳化硼陶瓷材料进行混料、制粉和成型；然后，将压坯置于真空烧结炉中，先抽真空，再用氩气冲洗三次，升温烧结，升温速度为5－25℃/min，升温到1700－2000℃后，保温200－500分钟。本发明降低了生产费用，提高了生产效率，可广泛应用于碳化硼陶瓷制造领域。

生物活性钛材料及其制备方法 862     

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本发明涉及一种生物活性钛材料的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将粒度为5ΜM～100ΜM的金属钛或钛合金粉等静压成形,在1100℃～1300℃真空烧结;(2)粉末冶金烧结后的材料在乙酸钙、甘油磷酸钠和氢氧化物配置的电解水溶液中微弧氧化处理,制备得到生物活性钛材料。所制得的钛材料内部含有孔隙;钛材料表层呈复杂多孔状,具有两种孔隙状态,一种是微弧氧化小孔,另一种是粉末冶金形成的大孔内壁长有微弧氧化小孔。所制得的钛材料表层的生物活性和生物力学相容性高于单一粉末冶金方法制备的钛材料。本发明可用于制备人体骨骼和牙齿等硬组织用生物置换(修复)体。

新型含钎剂铝合金焊丝及其制备方法 710     

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本发明公开了一种新型含钎剂铝合金焊丝及其制备方法,属于钎焊材料技术领域。由混合均匀的铝硅钎料粉末和氟化物钎剂粉末组成,铝硅钎料粉末含量为93%～85%,氟化物钎剂粉末含量为7%～15%;所述的铝硅钎料粉末中铝含量为88%,硅含量为12%;所述的氟化物钎剂粉末为由KF-AlF3系构成的氟铝酸钾混盐,其中AlF3和KF的摩尔比为44.5∶55.5。制备过程为:首先制备铝硅钎料粉末和氟化物钎剂粉末,然后将两种粉末混合均匀、冷等静压、真空烧结制得毛胚,将毛胚在热挤压机上挤压并拉丝为产品。本发明表面精度高,不需在道次之间用碾头机,可缩短加工时间;材料利用率高,减少废料处理,焊接工艺性能良好。

液相烧结复合碳化物陶瓷材料及其陶瓷制品的制造方法 1199     

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液相烧结复合碳化物陶瓷材料及其陶瓷制品的 制造方法，它涉及一种复合碳化物陶瓷材料及其陶瓷制品的制 造工艺。本发明由下列原料按重量百分比混合而成：碳化硅粉 末占2～92、碳化硼粉末占2～92、Al－Y系添加剂占5～25、CeO2或La2O3占0.5～3.0。本发明按常规方法将复合碳化物陶瓷材料进行混料、制粉和成形；然后，将粉末压坯置于真空烧结炉中，先抽真空，再用氩气冲洗三次，升温烧结，升温速度为5～10℃/min，升温到1700～2000℃后，保温150～500分钟，烧结在真空或流动的氩气中进行。本发明综合技术性能指标与无压烧结碳化硅或碳化硼相比提高了30～65％，具有生产费用低，生产效率高，能生产复杂形状的制品，毛坯尺寸精度提高的优点。

自润滑碳化硅陶瓷密封材料的制备方法 1165     

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本发明涉及一种碳化硅陶瓷的制备方法，特别是一种自润滑碳化硅陶瓷密封材料的制备方法，该制备方法包括原料的混合、喷雾造粒、模压成型、真空烧结、将上述真空烧结后的毛坯按图纸要求，经加工后得自润滑碳化硅陶瓷密封件成品等步骤。本发明的技术方案的有益效果在于：碳化硅料浆与润滑剂采用湿法混合，克服了干法混合所造成的不易成型的困难，润滑剂可均匀分布于碳化硅基体内部，保证材料内部润滑剂的均匀性；由于采用的润滑剂具有一定的强度，避免了碳化硅密封环在使用过程中，由于润滑相强度不够而产生剥落，导致密封环失效的问题；对作为润滑剂进行了高温除杂，可有效的保证碳化硅陶瓷密封材料的纯度，提高了产品的机械强度。

钼铌合金溅射靶材的制备工艺 1210     

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本发明属于冶金材料技术领域，具体涉及一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺，包括制粉、成型、真空烧结和机械加工步骤，所述制粉包括以下步骤：将钼粉和铌粉按照重量比为6?10 : 1的比例装入球磨机中，然后加入过程控制剂和氧化锆磨球，在氩气保护下进行球磨，过筛，分离得到钼铌合金复合粉末；所述过程控制剂和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0.01?0.05倍、5?20倍；所述的过程控制剂为硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种。本发明所得钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞，平均晶粒尺寸为40?65μm，其密度≥9.85g/cm3，性能优异，可广泛的应用于平面显示器等领域。