上海上海有色金属火法冶金技术理论与应用

废旧印刷电路板混合金属中锌元素的真空蒸馏分离方法 776     

 0

一种废旧印刷电路板混合金属中锌元素的真空蒸馏分离方法，首先将经破碎的废旧电路板含锌的混合金属粉末在真空炉中进行加热，在压力1×102～1×103Pa、温度为500～600℃条件下进行锌蒸发，同时通过冷凝器在420～450℃下进行锌蒸气冷凝，由此将锌从混合金属中分离出来。蒸馏完毕的混合金属可以继续用于下一步具有针对性的提纯分离。本发明的方法简单易行，具有成本低、高效、无污染等特点。

锂离子电池正极材料中选择性提取锂的方法 776     

 0

本发明公开了一种锂离子电池正极材料中选择性提取锂的方法。提取方法包括以下步骤：将锂离子电池进行放电，然后拆解出正极片，经高温热解去除粘结剂，分离富集得到正极材料；对富集得到的正极材料进行“控制氯化”转化后，可将锂选择性转化为易溶于水的氯化锂，而过渡金属元素则转化为不溶于水的金属氧化物；最终经水洗过滤处理可得到富锂水溶液。本发明使用控制氯化转化法，实现正极材料中锂资源的选择性提取，有效简化了后续混合金属的分离纯化工艺，极大地减少了化学药剂的消耗。本发明提出控制氯化法实现锂的选择性提取，既减少化学药剂用量，又提高了正极材料的资源回收效率，具有很强的实用性与发展潜力。

高效的冶金设备用冷却散热装置 618     

 0

本发明公开了一种高效的冶金设备用冷却散热装置，包括箱体，箱体顶部内壁左右对称固定连接有第一固定板，箱体内部设有第一固定杆，第一固定杆与第一固定板滑动连接，第一固定杆下表面固定连接有第一散热扇，第一固定杆上表面固定连接有齿条，齿条与对称缺齿轮啮合，对称缺齿轮中心处与第一传动杆一端固定连接，第一传动杆另一端与动力装置输出端固定连接，对称缺齿轮一侧设有残齿轮，残齿轮有轮齿的一侧与对称缺齿轮有轮齿的一侧啮合，第一固定杆两端均铰接有连接杆，连接杆另一端与第二固定杆上端铰接，第二固定杆贯穿第二固定板并与其滑动连接，第二固定杆一侧固定连接有第二散热扇。本发明结构新型，散热冷却效果好，实用性强。

高锌含铁粉尘的处理方法 833     

 0

一种高锌含铁粉尘的处理方法,粉尘的主要成分为(重量):铁30～75%,锌1～30%,碳0～30%,铅0～5%,硫0～3%,是在含铁粉尘中加入一定的含碳材料达到碳含量为15～25%后制成粒径为5～50mm的团块,按照熔渣重量的5～15%置于一容器中,将红热的冶炼熔渣加入到团块上,在1100～1600℃下保持10～30分钟,还原得到低锌的粒铁、渣和高锌烟气,将粒铁和渣分离,并用收尘设备回收高锌烟气得到含锌量大于40%的锌产品,粉尘中铁、锌的回收率可达90%以上。

废锂电池电极组成材料的资源化分离工艺 646     

 0

本发明涉及一种废锂电池电极组成材料的资源化分离工艺。将拆解所得的废锂电池负极材料剪切成片状,然后放入锤式破碎机中对粘附于负极铜箔表面的碳粉和乙炔黑粉末进行锤击振动剥离;在锤式破碎机转子下部设置筛板,经锤击破碎小于筛板孔径的负极颗粒通过筛板小孔落入下方的筛分设备;尺寸大于筛板孔径的负极材料在锤式破碎机内被循环锤振破碎,直至尺寸小于筛板孔径;落入筛分设备的破碎颗粒利用颗粒间的尺寸差和形状差经振动过筛实现锤振剥离后金属铜与非金属碳粉和乙炔黑粉末的分离。将废锂电池正极剪切成片状,然后送入滚筒式热解设备中进行处理,粘结铝箔与钴酸锂和乙炔黑的有机粘结剂受热分解,组成材料相互剥离的电池正极从热解设备的另一端连续排出,经后续带有撞击构件的筛分设备振动撞击过筛,实现电池正极铝箔与钴酸锂和乙炔黑粉料的分离。本发明工艺简单、高效、容易控制且清洁环保。

电子废弃物破碎分选后的混合金属富集体的分离回收方法 757     

 0

一种电子废弃物破碎分选后的混合金属富集体的分离回收方法，包括步骤：①将电子废弃物破碎-分选后的混合金属富集体加入热解炉中，在通入氮气或者真空条件下，对混合金属富集体进行热解处理；②将热解所得的混合金属与残碳一起加入真空连续分离回收装置中，进行真空蒸馏与冷凝收集处理，并在高温条件下，将余下的液态金属铜直接浇铸成铜锭产品。本发明具有工艺流程少，操作简单且高效，无污染的特点，整个处理过程不向环境排放任何有害的废水废气，用氮气热解或者真空热解去除掉混合金属中的有机成分，保证金属冷凝设备不受到热解油的干扰，提高金属蒸馏设备的使用寿命，减少维护成本，提高金属纯度；同时提高了金属蒸馏时的回收率。

印刷电路板的多侧线固体流态化气力输送分离装置及方法 663     

 0

本发明属环保技术领域,具体涉及一种印刷电路板的多侧线固体流态化气力输送分离装置及方法。由风机、流量计、输送分离仓、螺旋加料器、旋风分离器、袋滤器、差压变送器、收集仓、分布板组成,风机通过流量计连接输送分离仓的进风口;分布板位于进风口之上;输送分离仓设有进料口和三个出料口,进料口位于其一侧上部,连接螺旋加料器;输送分离仓一侧中部和下部分别设有出料口,出料口依次连接收集仓、袋滤器;输送分离仓顶部的出料口连接旋风分离器。使用时开启风机,调节风机流量,开启螺旋加料器,印刷电路板粉碎料经螺旋加料器送入输送分离仓内;进入分离仓内的粉碎料,在气流作用下流化;粉碎料中不同材质的颗粒,因密度差沿分离仓自下而上形成不同富集层;铜粉、铝粉分别经分离仓底部与中部的侧线出料口分别流入收集仓,非金属富集层经旋风分离器进行分离回收。本发明采用以空气为介质的干法物理过程,所得分离物无需干燥处理,设备简单,操作方便,可实现连续操作,过程容易控制,且处理能力大。

从废弃印刷线路板中提取金的方法 896     

 0

本发明提供了一种从废弃印刷线路板中提取金的方法,具体步骤为:第一步:将废弃印刷线路板破碎、粉碎,分离金属与塑料;第二步:将第一步得到的金属与硝酸溶液混合,在10～80℃恒温条件下搅拌反应1～6H,将产物过滤,从滤液中提取铜,将滤渣洗涤烘干;第三步:将第二步得到的滤渣加到第一碘液和助氧化剂的混合液中,用无机酸和碱性溶液控制反应PH值为3～9,在10～60℃恒温振荡器中反应2～5H。第四步:将第三步的产物过滤,滤液放入电解槽中的阴极区,将由碘、水溶性碘化物和水组成的第二碘液作为电解质放入阳极区,电解,过滤阴极区溶液,得到的滤渣即为金泥,回收阳极区的第二碘液。本发明浸金率高,成本低,环境污染小。

废旧镍镉电池中镉、铁、镍、钴的回收方法 957     

 0

一种废旧镍镉电池中镉、铁、镍、钴的回收方法,首先将废旧镍镉电池进行破碎处理,破碎成粒度为0.5mm-2mm的混合物料;然后采用真空冶金分离方法分离其中的镉,镉回收率达到98%以上,纯度达99%以上,最好采用磁力分选方法分离真空冶金后废旧镍镉电池混合金属中的铁、镍、钴等磁性物质,铁、镍、钴回收率达到95%以上。本发明具有成本低、高效、结构简单、无污染等特点。克服了填埋和焚烧处理等方法重金属污染的问题,减少环境污染,同时,回收产物为金属单质而非金属化合物,附加值较高。

用机械活化协同碱性氧化浸出废旧线路板中两性重金属的方法 1067     

 0

本发明公开了一种用机械活化协同碱性氧化浸出废旧线路板中两性重金属的方法。该方法具体步骤如下：将粉碎后的废旧线路板在空气氛围中进行球磨；将球磨后粉末加入到浸出液中搅拌浸出，浸出液为碱溶液，浸出温度为60~90℃，浸出时间为1~3h；浸出结束后，过滤得到滤液和滤渣；对滤液进行分步电沉积处理，得到纯锡、纯铅和纯锌。浸出液可循环用于浸出。本发明浸出时间短、成本低廉、能耗低，可以选择性浸出废旧手机线路板元器件中的锡、铅和锌等两性重金属，便于实现两性重金属金属与其他金属之间的绿色高效分离。

镍铁冶炼工艺余热发电系统 851     

 0

一种镍铁冶炼工艺余热发电系统，包括至少一个汽机岛系统、矿热电炉烟气余热利用系统、回转窑烟气余热利用系统、矿热电炉熔渣烟气余热利用系统和AOD精炼转炉烟气余热利用系统；所述汽机岛系统由汽轮机、发电机及与汽轮机配套的低压分气缸和中压分气缸组成；其中矿热电炉烟气余热利用系统中产出的中温中压过热蒸汽经中压分气缸进入汽轮机发电；回转窑烟气余热利用系统产生的低压过热蒸汽经低压分气缸进入汽轮机发电；矿热电炉熔渣烟气余热利用系统产生的中温中压过热蒸汽经中压分气缸进入汽轮机发电，而其产生的低温低压过热蒸汽则经低压分气缸则进入汽轮机发电；AOD精炼转炉烟气余热利用系统产生的蒸汽作为另一级补汽进入汽轮机发电。

制备锂掺杂、钴负载的g-C3N4光催化剂的方法 1075     

 0

本发明公开了一种制备锂掺杂、钴负载的g‑C3N4光催化剂的方法；包括以下步骤：将废旧钴酸锂电池进行拆解获得正极片，然后进行热解处理获得正极材料；将得到的正极材料与三聚氰胺、尿素、单氰胺或二氰二胺混合后进行无氧焙烧处理，得到锂掺杂，钴负载的g‑C3N4光催化剂。本发明充分利用市场上的报废的锂离子电池材料制备高附加值的光催化剂，与常规的利用高纯度的金属盐制备掺杂及同时负载的g‑C3N4光催化剂的方法相比，具有成本低廉，工艺简单等优点。同时，本方法直接利用正极材料制备光催化剂，既实现了废物的再利用与环境保护，又实现了传统的g‑C3N4光催化剂性能的提高，具有重要的经济和社会效益。

利用废旧含铅焊锡制备纳米氧化铅粉的方法 796     

 0

本发明公开了一种利用废旧含铅焊锡制备纳米氧化铅粉的方法，该方法将废弃电路板上分离所得的废旧含铅焊锡放入真空炉内，采用真空控氧法，向真空炉内通入空气将废旧焊锡氧化为氧化铅和二氧化锡。同时，加热真空炉，利用氧化铅和二氧化锡沸点的不同将氧化铅蒸发出来，由未反应的氮气带入冷凝腔冷凝为纳米粉。通过控制系统压力、加热和冷凝温度、冷凝距离制备两种形态的纳米氧化铅粉。同时，坩埚中的残渣为二氧化锡粉末。本发明所制得的纳米氧化铅产品在铅玻璃制造、陶瓷材料、颜料、发光二极管、铅酸蓄电池领域具有广泛应用前景；所制得的副产品二氧化锡是一种透明导电材料，在电极制备、传感器、电池、液晶显示等领域被广泛应用。

从废弃印制线路板中回收锡和铅的方法 636     

 0

本发明公开了一种从废弃印制线路板中回收锡和铅的方法。本发明方法以废弃印制线路板为原料，将其粉碎到1-2mm；接着按照固液质量体积比为1：5～1：15g/L加入浸出液，浸出液为碱和氧化剂的混合溶液，其中碱的质量体积浓度在80g/L～160g/L，氧化剂质量体积浓度在7g/L～15g/L之间，搅拌浸出1～2?h，浸出温度为70～80℃；浸出后溶液用硫化钠沉淀回收得到硫化铅，除铅后溶液通过电沉积回收得到金属锡，电沉积温度70℃～80℃，电流密度50A/M2～300?A/M2。本发明工艺简单，成本低，使得线路板中锡铅可以选择性浸出，实现了线路板中锡铅的绿色资源化处理。

聚苯胺中空微球的制备及回收电子垃圾中的贵金属及其再利用的方法 575     

 0

本发明属于资源回收与再利用领域，具体涉及一种聚苯胺中空微球的制备及回收电子垃圾中的贵金属及其再利用的方法。本发明特色在于实现了废弃电子中贵金属回收与再利用的一体化处理。开发的聚苯胺中空微球能够高效且无能耗的回收电子废水中的贵金属材料，且回收得到的聚苯胺/贵金属纳米复合物也可以作为一种新型的电活性材料用于电子器件的制备，做到了“电子器件→电子废弃物→电子器件”的绿色可持续循环。该发明有望为电子垃圾处理和回收问题提供环境和经济上可行的替代方案。有望“变废为宝”，从电子废弃物中创造巨大的经济价值，同时大大缓解电子废弃物带来的环境污染问题。

红土矿流化床法生产含镍铁合金的工艺 885     

 0

红土矿流化床法生产含镍铁合金的工艺,其包括如下步骤:1)干燥,使红土矿水分控制在小于4%;2)破碎,将干燥后的红土矿首先用3mm的筛子进行筛分,得到小于3mm的红土矿粉用于流化床煤气选择性还原;3)预热,将干燥后的红土矿粉在流化床焙烧炉内进行预热,预热到700～950℃,预热后的红土矿粉输送到还原流化床内;4)选择性还原,在还原流化床内使用CO+H2为55～90%的煤气对红土矿进行还原;5)金属化红土矿的破碎和物理分离,将还原后的红土矿破碎到小于100目,然后进行物理分离,得到含镍铁合金。本发明利用煤气还原红土矿生产镍铁合金,用于不锈钢冶炼,取代昂贵的电解镍,从而显著降低不锈钢生产成本。

回转窑-矿热电炉冶炼工艺的余热发电系统 708     

 0

一种回转窑-矿热电炉冶炼工艺的余热发电系统，其特征在于：所述的余热发电系统，将整个回转窑-矿热电炉冶炼过程中存在的矿石干燥、电炉冶炼粗制镍铁、转炉精炼、熔渣处理工艺中出现的矿热电炉烟气余热、回转窑烟气余热、矿热电炉熔渣余热和精炼转炉烟气余热与同一个由余热锅炉和汽轮机构成的余热发电系统组合在一起而构成；形成矿热电炉烟气余热利用子系统、回转窑烟气余热利用子系统、矿热电炉熔渣余热利用子系统和精炼转炉烟气余热利用子系统。

湿法冶金分离提取废旧印刷线路板中金属全组分的方法 1037     

 0

本发明公开了一种湿法冶金分离提取废旧印刷线路板中金属全组分的方法。该方法具体采用以下步骤完成：（1）获得含电子元件的印刷线路板粉末；（2）采用稀硫酸和硫酸铜双组分混合溶液分离金属富集体中的活泼金属，固液分离后液相用于回收这类活泼金属，固体部分进一步提取贵重金属；（3）将步骤（2）所得固体部分加入到接种菌种的培养体系中，进行微生物浸出铜；（4）固液分离后，回收液相中的Cu，固体残渣进一步提取贵金属（Au、Ag）。本发明避免了重金属离子对菌种活性及生物浸出效率的抑制，使微生物反应能持续高效进行，从而缩短整个工艺流程，节约成本，提高微生物浸出效率。

从废旧印制线路板表面选择性剥离金属金的方法 672     

 0

本发明公开了一种从废旧印制线路板表面选择性剥离金属金的方法。该方法以废旧线路板作为原料，先经预处理脱去元器件，清洗烘干；接着按照固液质量体积比1：5～1：10加入脱金液进行浸出反应，浸出反应时间为2～4h；所述脱金液中，磺酸类溶质质量分数为10.1%～47.0%，氧化剂质量分数为3.5%～11.2%，其余为水；浸出结束后，溶液过滤得到含铜镍溶液和含金箔的滤渣，所述滤液经熔炼得到金锭。浸出后的含铜镍溶液通过电沉积回收铜后循环用于废旧线路板的浸出；循环使用后溶液提取镍；母液循环用于废旧线路板的浸出。本发明工艺简单、成本低廉，可实现废旧线路板中金属金的绿色资源化处理。

废旧锂离子电池正极金属回收的方法 992     

 0

本发明属于废旧锂离子电池回收领域，提供了一种废旧锂离子电池正极金属回收的方法，从锂电池中拆解出正极片，按照6g/L～8g/L的固液比将正极片放入低共熔溶剂中，在150℃～300℃条件下，正极片与低共熔溶剂进行反应使正极片中的金属浸出，得到浸出液及铝箔，然后将浸出液过滤得到含有金属的离子的绿色透明滤液。低共熔溶剂不与金属单质反应，能够在不分离铝箔的前提下完成浸出，极大简化了前处理过程，采用电沉积或萃取的方法能够从滤液中回收金属。低共熔溶剂能够重复利用，而得到的完整铝箔可以再次应用到电池的生产加工中。本发明将低共熔溶剂的应用扩展到了锂离子电池回收领域，简单易行、节能环保，避免了二次污染严重，促进了双方的发展。

从废旧锂离子电池中选择性提锂的方法 856     

 0

本发明属于废旧锂离子电池回收技术领域，提供了一种从废旧锂离子电池中选择性提锂的方法，包括以下步骤：将锂离子电池的正极活性物质和二水草酸按照摩尔量之比为1:1～8混合，加热进行固固反应，得到反应混合物；将反应混合物用水浸法处理，得到草酸锂溶液；向草酸锂溶液中加入水溶性碳酸盐，得到碳酸锂沉淀。草酸与正极上的金属氧化物发生固固反应，避免了使用强酸和还原剂对环境造成的污染，采用水浸的方式实现了一步浸出并选择性提锂，浸出效率高的同时，大大提高了方法的可操作性。过渡金属在与二水草酸反应完全后，通过过滤的方式除去正极含有的粘结剂、碳添加剂等杂质，实现了各组分的分离。

从印刷线路板中浸金的方法 1024     

 0

本发明涉及一种能提高金属的回收率，又能降低污染物对环境的危害的，低毒的从印刷线路板中浸金的方法，包括下列步骤：(1)将印刷线路板粉碎；(2)将粉碎后的印刷线路板颗粒和H2SO4混合，滴加H2O2，搅拌至反应完全；(3)将反应后的混合物过滤，滤液提取铜；(4)将反应残渣洗涤烘干后得到浸金反应的原料；(5)将浸金原料与非氰络合剂溶液和氧化剂固体混合均匀，振荡至反应完全。本发明从印刷线路板中浸金的方法实现了较高的浸金率，同时又能充分利用其他有用的金属，实现电子垃圾的无害化、减量化和资源化。

利用废旧线路板中铜制备硫酸铜的方法 888     

 0

本发明涉及一种利用废旧线路板中的铜制备硫酸铜的方法。该方法具体步骤为：对废旧线路板进行预处理，使金属和非金属解离，以获得30～60目的金属粉；然后将上述金属粉以质量体积比为1∶10～20的比例与浓度为0.8～1.5mol/L的稀硫酸混合，并加入氯化钠和硫酸铜，使其质量百分比浓度分别达到5％～10％和2％～5％；向上述反应液中鼓入空气，室温下反应6～12小时；过滤，所得滤液进行蒸发结晶，即得到CuSO4·5H2O。该方法采用的原料无毒，且价廉易得，试剂消耗少，常温、常压，废液排放少，后处理简单，与其它方法相比具有明显优势。

从废旧锂电池中提取贵金属的方法 988     

 0

本发明属于环境保护技术领域，提供一种从废旧锂电池中提取贵金属的方法，包括以下步骤：将废旧锂电池置于保护气体中进行拆解，取得活性正极材料和隔膜；将活性正极材料及隔膜清洗干燥；在无氧环境下，对得到的活性正极材料及隔膜进行焙烧，得到焙烧后正极材料；将焙烧后正极材料加到硝酸浸出液中，回收金属金属离子Li和Co。利用用废电池中的隔膜作为高温下的还原剂，这样做没有引入酸类，碱等还原剂，防止污染环境；也没有引入贵重金属作为还原剂，节约能源。此过程不但回收正极材料的金属离子，解决贵重金属回收的问题，而且也对隔膜进行处理，解决了废旧塑料处理的难题，做到一举俩得。经过焙烧浸出处理，金属的浸出率均在94％以上。

超临界水法从电子废弃物中提取金属的装置及方法 1046     

 0

本发明涉及了一种超临界水法从电子废弃物中提取金属的装置，包括水箱、平流泵、反应釜、第一冷凝器、背压阀、减压阀、第二冷凝器、液体收集器、气体收集器、循环水箱及循环水泵；及方法，将破碎后的电子废弃物置于超临界反应装置中，使反应体系中的压力达到25-30MPa，继而打开温度控制单元，控制反应温度为400-500℃，反应时间为2-6h。本发明在无外加催化剂的条件下，电子废弃物中有害有机物降解率可达98.59％，金属回收率可达99.80％。本发明利用超临界水氧化技术从电子废弃物中回收金属，同时可降解电子废弃物中的溴化阻燃剂等有机物，为电子废弃物的资源化回收提供了一种绿色、无污染、高效的新发法。

镍镉废电池的综合回收利用方法 645     

 0

镍镉废电池的综合回收利用方法,涉及废镍镉电池、镍氢蓄电池的无害化处理和再利用技术。将其拆散或破开外壳并混合在一起后真空加热,镉、塑料等气化挥发,气体冷凝回收镉后经活性炭净化处理达标排放。废电池粉碎后用酸充分浸取,过滤。滤渣为少量未溶解的金属返回再溶,滤液采用氧化法或中和法,并通过加热或加热充氧制备铁氧体,实现了废电池中各种重金属的整体回收利用。工艺简单易操作管理,能耗低,无二次污染。制得的铁氧体在pH值3～10范围内不溶解,可作为工业原料使用。

利用废弃印刷线路板中的含铜金属粉末制备电解铜箔的方法 813     

 0

本发明涉及一种利用废弃印刷线路板中的含铜金属粉末制备电解铜箔的方法。该方法是将废弃印刷线路板中的含铜金属粉末浸于浸出液中使其溶解;同时在浸出液中添加少量氯化钠和硫酸铜;反应开始时施加电场,用电磁搅拌机搅拌直至完全溶解;用煤油稀释螯合萃取剂N902对含铜浸出液进行萃取,然后用稀硫酸进行错流多次反萃负载铜的N902有机相,直至反萃液中硫酸铜浓度达到最大后不再增加为止;将硫酸铜溶液蒸发结晶;所得的结晶硫酸铜配成浓度不小于40g/L的硫酸铜溶液,同时加入明胶、硫脲配成电解液,进行电解,可得电解铜箔产品。该方法的特点是成本低、处理工艺简单、没有对环境造成二次污染,产生的高附加值的电解铜箔产品既有经济效益又达到固废资源化的目的。

二维片层材料增强的金属基复合材料 773     

 0

本发明提供了一种二维片层材料增强的金属基复合材料，该材料以金属为基体，以二维过渡金属碳化物或碳氮化物，即MXenes作为增强相，MXenes颗粒均匀分散在金属基体颗粒中。由于Mxenes材料含有碳空位，偏金属性，因此金属基体有良好的润湿性，能够有效地改善金属基复合材料的界面结合强度，从而增强了金属基复合材料的力学及耐磨损等性能。同时，Mxenes材料与金属基体界面的“电子耦合”效应更好，能够避免现有技术中增强相在提高金属基复合材料力学性能和耐腐蚀性能的同时降低其导热导电性的问题。

回收非晶变压器铁芯重熔冶炼的工艺方法 636     

 0

本发明公开了一种回收非晶变压器铁芯重熔冶炼的工艺方法，包括以下步骤：步骤一，按照式Fe_aSi_bB_c的原子百分比比例计算称取常规原料，按一定的重量百分比称取回收铁芯；步骤二，将常规原料加入冶炼炉中加热，待常规原料熔化出现钢液后，加入回收铁芯，熔化物料；步骤三，待物料熔化，加入造渣剂，打渣取样检测其成分；步骤四，所测成分含量与目标值的差值计算称量出所需补充添加的常规原料质量，补充添加常规原料；步骤五，降低加热功率，采用底吹方式通保护气；步骤六，待物料降温至开浇温度后，打渣取样，出钢。该方法对杂质去除率高，能够将回收的废弃非晶变压器的铁芯重新冶炼，易于制得符合制带需求的母合金，可达到节约资源和降低生产成本的效果。

磁控溅射用复合靶材的设计方法 785     

 0

本发明公开了一种磁控溅射用复合靶材的设计方法，涉及磁控溅射技术及无机化合物功能薄膜制备技术领域。其是由切割成5°、10°、30°、60°的扇形段的各组元单质薄板靶材，按照一定角度比例均匀交替拼接构成的复合靶材，其组元成分比例均匀、稳定、易于变更。通过调节各组元的扇形段角度就可以调整复合靶材的成分，从而调节化合物薄膜的化学计量比，且溅射得到的化合物薄膜成分均匀。本发明特别适用于如赫斯勒及半赫斯勒化合物等具有脆性、及由于组元熔点差异较大或部分组元成分易于偏析而难以制成符合化学计量比的化合物靶材的薄膜制备，是一种不需要使用多靶材共溅射法、但能取得共溅射生长化合物薄膜或复合薄膜效果的新型复合靶材设计方法。