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湖北武汉有色金属理论与应用

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水稻内源双向表达启动子的分离克隆及功能分析

本发明属于植物基因工程领域。涉及水稻内源双向表达启动子的分离克隆及功能分析。本发明结合MSU和RAP数据库中的RNA‑seq数据以及CREP数据库中的表达谱芯片数据在水稻基因组中选取了候选双向启动子BIP1,通过实验证明它具有双向表达活性。然后对其进行5’和3’缺失分析,鉴定出其双向表达调控区段以及控制其5’和3’方向基本表达活性的区段。随后,利用生物信息学手段分析了BIP1在禾本科植物中的保守性。本发明公开了双向启动子的筛选及分离克隆方法、转化载体的构建过程、水稻遗传转化过程和转化植物的GUS组织化学染色、GUS蛋白活性检测、GFP组织学分析、GFP定量分析和双向启动子的保守性分析等方法。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
香荚兰豆药材中挥发性成分的分析方法

本发明公开了一种香荚兰豆药材中挥发性成分的分析方法。本发明以香荚兰豆药材为原料,首先采用顶空固相微萃取提取香荚兰豆挥发性成分,再采用气相色谱-质谱联用法对其挥发性成分进行分析,经化学工作站数据处理及用面积归一化法从总离子流图中计算各组分百分含量,按各峰的质谱图经NIST谱库检索,并按各峰的质谱裂片图与文献资料核对,确定各个组分。本发明首次采用顶空固相微萃取结合气相色谱-质谱联用法对香荚兰豆药材中挥发性成分进行提取与分析,弥补了以往提取方法对挥发性成分提取不完全的缺点,为该药材挥发性成分的分离分析提供更为全面的检测方法。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
液态物质光谱基线校正定量分析方法

本发明属于化学定量分析方法,一种液态物质光谱基线校正定量分析方法。现有技术存在测试时间长、成本高,测试结果误差大的缺点。本发明步骤如下:(1)数据采集:包括选用仪器;设置参数;第一步测试无样本时的光谱数据;第二步放置样本进行测量;(2)光谱基线校正:利用优化约束模型求出线性表示系数;利用线性表示系数得到不含基线的光谱,实现对光谱的校正;(3)建立模型:利用偏最小二乘将已知浓度的样本作为训练样本,得定量分析模型;(4)定量分析:将未知浓度样本送入模型,计算后得到定量分析结果。本发明的优点是:液态物质定量分析不需要复杂的样本预处理;测试成本低;测试速度快,适合在线检测;定量分析结果准确、可靠。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
磷脂酰丝氨酸的分析方法

本发明涉及分析化学及检测技术领域,具体涉及一种基于液相色谱‑质谱联用的磷脂酰丝氨酸的检测分析方法。本发明所提供的磷脂酰丝氨酸的分析方法,采用高效液相色谱‑质谱联用法进行检测,检测参数如下:色谱条件:色谱柱为C18色谱柱;流动相A为含有55‑65%乙腈、8‑12mmol/L甲酸铵、0.05‑0.15%甲酸、4‑6μmol/L亚甲基二磷酸的水溶液;流动相B为含有5‑15%乙腈、8‑12mmol/L甲酸铵、0.05‑0.15%甲酸、4‑6μmol/L亚甲基二磷酸的异丙醇溶液;柱温为40‑50℃;梯度洗脱;质谱条件:ESI源正离子模式和动态多反应监测。本发明所提供的分析方法灵敏度高,重复性和特异性好,简单快速,稳健可靠。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
原位分析反应管
原位分析反应管 927     
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本实用新型提供一种原位分析反应管,包括管体(1),所述管体(1)开口端设置有左接口(2)、中间接口(3)、右接口(4),所述中间接口(3)与管体(1)在一条直线上,左接口(2)和右接口(4)对称的分布在中间接口(3)的两侧;所述左接口(2)和右接口(4)其中一个接口为磨口。所述原位分析反应管还包括设置在管体(1)外部的传热套管(5),所述传热套管(5)上设置有一进口(6)和一出口(7),出口处设置有虹吸管(8)。本实用新型用于化学反应在线检测,适用于红外、紫外、拉曼、电化学工作站,满足很多复杂的反应条件,方便简易的将原位检测探头与微量反应相结合,解决了很多微量反应中在线检测的难题,结构简单。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
油菜籽粒油酸含量近红外分析方法

本发明属于油菜籽粒品质分析检测方法领域,具体涉及一种油菜籽粒油酸含量近红外分析方法。本发明的主要步骤包括:样品油酸含量的化学测定;采集样品籽粒的近红外光谱;每个样品的化学值和近红外光谱的一一对应;对光谱进行预处理,剔除异常值,并用化学计量学方法分析数据,建立近红外模型;利用验证集的光谱和化学值对应数据对模型进行验证,以检验近红外模型的效果。本发明具有高效、快速、无损、操作简便的特点,省去了对材料的化学预处理,对材料的选择也更加灵活。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
激光双模式微体积样品分析方法及所用装置

本发明公开了一种基于激光热透镜和激光回射干涉技术的激光双模式微体积样品分析方法及所用装置,通过对经液相分离后的各组份,在所用激光波长下,激光热透镜检测模式可检测具有吸光特性物质的信号,激光回射干涉检测模式可检测不具有荧光和吸光特性物质的信号。本发明无须对样品进行任何样品衍生、富集处理步骤。由于待测样品池为微检测池,所需样品量极少,最低可至纳升级。本发明所用装置操作简单,日常维护费用低,测试速度快,结果准确,可以广泛应用于包含有各类不同化学物质的待测体系的定性、定量检测。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
激光多模式微体积样品分析方法及所用装置

本发明公开了一种基于激光诱导荧光、激光热透镜和激光回射干涉技术的激光多模式微体积样品分析方法及所用装置,通过对经液相分离后的各组份,在所用激光波长下,激光诱导荧光检测模式检测具有荧光特性物质的信号,激光热透镜检测模式检测具有吸光特性物质的信号,激光回射干涉检测模式检测不具有荧光和吸光特性物质的信号,并使其光学构型和信号采集模式对液相分离组份达到同时获取激光热透镜和激光回射干涉的光信号。本发明无须对样品进行任何样品衍生、富集处理步骤。由于待测样品池为微检测池,所需样品量极少,最低可至纳升级。本发明所用装置操作简单,日常维护费用低,测试速度快,结果准确,可以广泛应用于包含有各类不同化学物质的待测体系的定性、定量检测。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
激光双模式微体积样品分析方法及所用装置

本发明公开了一种基于激光诱导荧光和激光回射干涉技术的激光双模式微体积样品分析方法及所用装置,通过对经液相分离后的各组份,在所用激光波长下,激光诱导荧光检测模式检测具有荧光特性物质的信号,激光回射干涉检测模式检测不具有荧光和吸光特性物质的信号。本发明无须对样品进行任何样品衍生、富集处理步骤。由于待测样品池为微检测池,所需样品量极少,最低可至纳升级。本发明所用装置操作简单,日常维护费用低,测试速度快,结果准确,可以广泛应用于包含有各类不同化学物质的待测体系的定性、定量检测。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
盐酸美哌隆的高效液相色谱分析方法

本发明涉及一种化学药物的分析检测方法,具体地说是一种盐酸美哌隆的高效液相色谱分析检测方法。其特征在于:以十八烷基键合硅胶为填充柱,以磷酸盐缓冲液-甲醇为流动相,流动相中加入庚烷磺酸钠。它能够准确地分析测定盐酸美哌隆的含量及有关物质,从而在实际生产过程中能有效的控制盐酸美哌隆的质量,并为该产品建立统一的标准打下了基础。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
对地聚合物成分进行定性定量分析的方法

本发明提供一种对地聚合物成分进行定性定量分析的方法,包括:对地聚合物进行取样并进行XPS检测和29Si核磁共振检测;对样品C1s的XPS图谱进行电荷校正;根据校正后的XPS全谱图和Al2p的XPS图谱定性分析地聚合物;根据各非晶相聚铝硅酸盐对应的化学偏移,在29Si核磁共振图谱中对各非晶相聚铝硅酸盐进行寻峰;基于列文伯格‑马夸尔特解卷积法对已经完成寻峰的29Si核磁共振图谱进行分峰拟合,并计算各非晶相聚铝硅酸盐Q4(mAl)的摩尔含量占比;根据地聚合物的定性分析结果以及摩尔含量比,计算地聚合物中各组分的质量占比。本发明能够对地聚合物成分进行定性定量的分析,便于精确了解地聚合物的物理和化学性能,进而更好地将其应用于实际工程中。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
便携式的烟气分析装置
便携式的烟气分析装置 1067     
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一种便携式的烟气分析装置,涉及测量领域。便携式的烟气分析装置包括设有酸性气体吸收装置、集气装置、电化学气体传感器检测装置、气体收集罐和真空气泵的测量箱体,测量箱体连接有用于选择性地与酸性气体吸收装置、集气装置和真空气泵连通的进气部件,酸性气体吸收装置与集气装置连通,集气装置、电化学气体传感器检测装置和真空气泵依次连通,真空气泵还连接有真空气泵排气管,气体收集罐还连接有至少一个用于对其内部气体进行检测的气体检测管检测装置,真空气泵和气体检测管检测装置分别与气体收集罐连通。便携式的烟气分析装置具有气体成分检测种类多、取样精确、误差小、对气体浓度变化过程进行实时监测、对挥发性物质进行精确定量等优点。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
温度和气氛可控的微区扫描电化学工作站用测量池

本实用新型涉及一种温度和气氛可控的微区扫描电化学工作站用测量池。其技术方案是:底板(4)中心设有的试样固定螺孔与试样固定装置(5)的下端螺纹连接,在试样固定装置(5)外围的底板(4)上同中心地固定有容器(2),紧贴容器(2)外壁的底板(4)上同中心地设有水浴加热环(3),水浴加热环(3)的环状侧板设有入水口(6)和出水口(8);容器盖(1)的中心位置处设有的通孔(12)孔口用橡胶膜密封,橡胶膜的中心设有微孔,微区扫描探针由微孔伸入;容器盖(1)还设有进气孔(10)、出气孔(11)和两个电极放置孔(13)。本实用新型结构简单和操作方便,能够有效控制金属腐蚀过程中的反应温度和气体种类,以便研究特定环境下金属局部腐蚀初期的腐蚀行为或微区腐蚀发展的过程。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
用于空气腐蚀监测的电化学传感器

本实用新型公开了一种用于空气腐蚀监测的电化学传感器,包括PCB板、与所述PCB板电连接的航空插头、参比金属丝和传感金属丝;所述PCB板内封装有第一铜膜导线和第二铜膜导线,所述参比金属丝焊接在所述第一铜膜导线的两端,所述传感金属丝焊接在所述第二铜膜导线的两端。本实用新型高分辨率,高灵敏度,稳定性好,重现性好,制作方便,便携等优点,适合在线实时监测空气对金属的腐蚀情况,具有良好的应用前景。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
固体氧化物燃料电池铬毒化效应电化学测试夹具系统

本发明公开了一种固体氧化物燃料电池铬毒化效应电化学测试夹具系统以及装配使用方法,所述夹具系统包括电池夹具、石英玻璃外管、进气管,出气管,密封塞、电极引线等。本发明提出的电池夹具系统通过高温陶瓷螺丝定位,可以安装并且测试不同形状和结构的电池,显著增强电池与集流材料的接触,并且可以实现金属连接体与阴极直接与间接接触的简单快捷的替换;对整个测试夹具的密封取代了传统使用电极高温胶密封,避免取出电池时造成的电池结构破坏。另外,该夹具可在立式炉和卧式炉中使用,几乎可以不用进行改装,具有很高的通用性,可适用Cr毒化效应以及阴极性能等研究使用。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
固体氧化物燃料电池的电化学测试夹具

本实用新型涉及一种固体氧化物燃料电池的电化学测试夹具,包括石英玻璃外管及三明治电池夹具;石英玻璃外管的两端分别设有外管密封塞;外管密封塞上分别插设有进气陶瓷内管和出气陶瓷内管。本实用新型的有益效果是:通过将传统电极密封胶密封方式改变成为气室密封方式,能防止拆装过程中密封胶对电池结构的破坏,保持电池测试后的结构完整性;三明治电池夹具改善了测试过程中的不稳定性,增强了集流层和阴极的接触性,并且具有可在各种形状的管式炉中使用的灵活性;且能够轻易实现金属连接体Cr毒化阴极实验中的金属连接体与阴极直接或间接接触的快速切换。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
土工布化学淤堵量测方法

本申请公开了一种土工布淤堵量测方法。所述土工布淤堵量测方法包括以下步骤:在量测装置的试验箱底面上铺设待测土工布;在所述试验箱中注入离子溶液;使所述试验箱中的所述离子溶液保持在预定高度下使所述离子溶液穿过所述土工布进行循环;和以第一时间间隔测量穿过所述土工布的排水量。本申请的土工布淤堵量测方法,通过配制离子溶液替代水,以模拟富含大量离子的地下水渗透土工布,由于离子结晶发生化学淤堵的情况,更加符合土工布经富水淤堵后的性能,从而能够提供更加真实有效的数据。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
用于熔融电解质中电活性氧化物电化学行为的测试装置

本实用新型涉及一种用于熔融电解质中电活性氧化物电化学行为的测试装置。其技术方案是:测试装置包括氧化锆固体电解质管(3)、环状参比铂电极(15)、环状辅助铂电极(1)和固态工作电极(2);氧化锆固体电解质管(3)的开口端端口装有氧化铝塞(5),氧化锆固体电解质管(3)封闭端的外表面由下到上依次设有环状辅助铂电极(1)和环状参比铂电极(15),环状参比铂电极(15)紧邻环状辅助铂电极(1)上边界位置;固态工作电极(2)的下端位于氧化锆固体电解质管(3)内,环状参比铂电极引线(4)、环状辅助铂电极引线(7)和固态工作电极引线(8)与环状参比铂电极(15)、环状辅助铂电极(1)和固态工作电极(2)对应连接。本实用新型结构简单、操作容易、抗干扰能力强和测试结果可靠。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
含可变速海水抽蓄机组和化学储能的联合系统混合模型预测控制方法

本发明提出一种含可变速海水抽蓄机组和化学储能的联合系统混合模型预测控制方法,本发明综合考虑了顶层控制(调度控制)和底层控制(下垂控制)在不同时间尺度上对复合储能联合系统内储能电池SOC的累积影响。通过实时运行,模拟了可变速海水抽水蓄能机组和储能电池在电网内受可再生能源随机预测误差干扰的实际运行状况;通过采用减时域滚动优化,来解决可再生能源出力的小随机预测误差对储能电池SOC的累积影响,同时兼顾了可变速海水抽水蓄能机组运行经济性;通过采用启发式控制,来应对可再生能源出力的大随机预测误差对储能电池SOC的累积影响;通过反馈校正,及时改变可变速海水抽水蓄能机组和储能电池的运行状态。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
拉伸应力和腐蚀介质交互作用下的电化学测量装置

本实用新型涉及一种拉伸应力和腐蚀介质交互作用下的电化学测量装置。其方案是:测量杆臂(11)通过第一销钉(9)铰接在支架(1)上端,加载杆臂通过第二销钉(12)与加载杆(13)铰接;拉伸杆臂通过第三销钉(8)与夹持件(7)定位孔活动连接,夹持件(7)下端通过第四销钉(6)与拉伸试样(5)的上端活动连接;拉伸试样(5)通过上、下插孔(19、21)穿过腐蚀试验容器(3),下端与卡槽(2)铰接;腐蚀试验容器(3)的侧壁上分别设有辅助和参比电极插口(4、14),辅助和参比电极分别通过各自的插口(4、14)插入腐蚀试验容器(3)内,并与拉伸试样(5)一起组成三电极体系外接于电化学工作站。本装置具有结构简单、体积小、移动方便、操作简单、应力读数准确、试样尺寸可调和可重复使用的特点。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学灌浆记录仪的监测系统及方法

本发明涉及一种化学灌浆记录仪的监测系统及方法,该方法包括:采集化学灌浆过程中产生的质量数据;根据所述质量数据的加密解密处理情况,通过人机交互界面,进行人机交互;进行人机交互界面和服务器的数据传输。本发明对化学灌浆的过程中产生的多种质量数据进行采集,进而将质量数据上传至人机交互界面进行显示,最后将现场的质量数据传输至服务器进行数据并发处理,以便将现场的数据通过客户端展示给用户,为了方便用户实时查看数据。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
拉伸应力作用下的原位腐蚀电化学测量装置

本发明涉及一种拉伸应力作用下的原位腐蚀电化学测量装置。其方案是:测量杆臂(11)通过第一销钉(9)铰接在支架(1)上端,加载杆臂通过第二销钉(12)与加载杆(13)铰接;拉伸杆臂通过第三销钉(8)与夹持件(7)的定位孔活动连接,夹持件(7)的下端通过第四销钉(6)与拉伸试样(5)的上端活动连接;拉伸试样(5)通过上、下插孔(19、21)穿过腐蚀试验容器(3),下端与卡槽(2)铰接;腐蚀试验容器(3)的侧壁上分别设有辅助和参比电极插口(4、14),辅助和参比电极分别通过各自的插口(4、14)插入腐蚀试验容器(3)内,并与拉伸试样(5)一起组成三电极体系外接于电化学工作站。本发明具有结构简单、体积小、移动方便、操作简单、应力读数准确、试样尺寸可调和可重复使用的特点。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
实时监测热固性复合材料有效化学收缩率的方法

本发明提供一种实时监测热固性复合材料有效化学收缩率的方法,所述方法包括如下步骤:1)选取切尾FBG组和温度参考光栅,所述切尾FBG组包括长尾FBG传感器及短尾FBG传感器;2)将切尾FBG组和温度参考光栅埋置在热固性复合材料单向叠层;3)固化成型,同时记录固化过程中切尾FBG组和温度参考光栅的中心波长变化;4)将长尾FBG传感器及短尾FBG传感器的中心波长变化值分别减去温度参考光栅的中心波长变化值,并除以应变灵敏系数则分别得到长尾FBG传感器及短尾FBG传感器的应变变化;5)选取凝胶点和玻璃化转变点,固化过程等温阶段凝胶点和玻璃化点之间长尾FBG传感器监测的应变变化值,即为复合材料的横向有效化学收缩率。本发明的方法简单易行、测试精度高。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
强化学习自动驾驶测试方法及系统

本发明涉及一种强化学习自动驾驶测试方法及系统,本发明首先由驾驶员驾驶自动驾驶车辆在特定场景下进行失效场景驾驶测试,车辆的自动驾驶系统进行环境数据和自车数据采集,然后根据采集的环境数据和自车数据构建虚拟环境用以模拟真实环境下的车辆行驶信息与环境信息,最后通过强化学习模块与虚拟环境的交互反馈学习,得到自动驾驶系统失效场景下的自动驾驶参考控制数据。本发明利用真实的失效场景,构建成虚拟环境,将虚拟失效场景数据输入到强化学习框架,逐渐训练出针对特定场景的安全策略,最终改善该事故场景下自动驾驶车辆的安全性,达到减少自动驾驶车辆事故的目的。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于深度强化学习与神经网络的轨迹预测模型方法、系统及装置

本发明基于神经网络以及深度强化学习做了一个融合运用,采用多层网络架构丰富对于轨迹预测的已知量导入,能够在避免过拟合的情况下进一步提升对于轨迹预测的精度,同时采用DDPG强化学习网络架构,其属于介于“监督学习”和“非监督学习”之间的一种架构,能够进一步提升算法的鲁棒性,避免针对非训练数据集的情况出现太差的效果,进一步保障车辆行驶的安全性与算法的鲁棒性提升。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
带有电化学传感器的水质监测仪

本实用新型公开了一种带有电化学传感器的水质监测仪,属于监测仪器技术领域,其包括水质监测仪本体,所述水质监测仪本体下表面的四角处均设置有支撑基座,所述支撑基座的下表面与安装桌板的上表面搭接。该带有电化学传感器的水质监测仪,通过设置吸盘、连通槽、滑杆、连通管道和防护气囊,压力槽内壁的压强发生变化,使得两个吸盘与安装桌板紧密贴合,压力板将压力槽内部的空气挤压到防护气囊内部,使得两个防护气囊充气后发生膨胀,当水质监测仪本体的左右两侧遇到碰撞时,两个防护气囊能起到缓冲减震的作用,从而对水质监测仪本体提供一定的保护作用,保证该水质监测仪的使用寿命,避免造成经济损失,提高该水质监测仪的适用性。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于电化学噪声的应力腐蚀开裂在线监测装置

本实用新型涉及电化学腐蚀监测领域,具体是一种基于电化学噪声的应力腐蚀开裂在线监测装置,夹套电解池放置在应力环内,SCC_WE1试验电极居于夹套电解池正中;SCC_WE2试验电极对称分布在SCC_WE1试验电极的四周,零阻电流计分别与SCC_WE1试验电极和SCC_WE2试验电极连接,电位跟随器分别与SCC_WE1试验电极、参比电极RE连接。通过不同类型的电流/电位噪声峰特征来区分SCC裂纹扩展的不同阶段,根据噪声峰积分电量和发生频率计算单次裂纹扩展长度以及裂纹平均扩展速率;根据电流噪声峰的幅值评价SCC的敏感性,实现了微裂纹萌生与生长过程的动态监测。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
低温态电化学腐蚀测试装置

本实用新型公开了一种低温态电化学腐蚀测试装置,包括测试工作台、腐蚀槽和制冷装置,腐蚀槽底部设有对测试样品定位的样品卡盘,腐蚀槽通过连接固定装置将样品卡盘和其内的测试样品压紧在测试工作台上,腐蚀槽底部中心处设有样品测试孔和密封圈,腐蚀槽内还设有参比电极、辅助电极和工作电极,参比电极和辅助电极下端伸入到腐蚀槽内的腐蚀液中,工作电极设于腐蚀槽的侧壁内,工作电极下端与样品测试孔密封区域外的待测试样品涂层表面接触,参比电极、辅助电极和工作电极的上端与外部电化学站的电极连接,所述制冷装置的换热面设于样品卡盘底部,与待测试样品底部紧密接触。本实用新型温度控制方便,载气可以就地排放,节能环保,适用面宽广。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
电化学阻抗测试等效电路及拟合方法

本申请公开一种电化学阻抗测试等效电路及拟合方法,涉及电池技术领域,能够精准拟合电池内部的电化学阻抗谱,进而准确反映电池的工作状态。一种电化学阻抗测试等效电路,包括:电解质膜电阻;至少两阶等效电路,与所述电解质膜电阻串联,所述至少两阶等效电路的每一阶等效电路之间串联,所述每一阶等效电路包括线性元件和非线性元件。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
具有在线监测功能的化学气相沉积装置

本发明涉及一种具有在线监测功能的化学气相沉积装置,包括:生长腔、位于生长腔内的基片台、位于基片台上的薄膜衬底、位于生长腔内并相对位于薄膜衬底上方的喷淋头、位于生长腔外并用于监测生长于薄膜衬底表面薄膜表面平整度的第一测量装置、位于生长腔外并用于监测薄膜内部应力的第二测量装置及位于生长腔外并用于监测薄膜内残余应力的第三测量装置。本发明提供的化学气相沉积装置中利用相应监测装置监测薄膜生长过程中应力变化情况,以便于后期建立薄膜样品生长过程应力与生长条件的数据库,并进而在后续薄膜生长中根据数据库中相应数据选择适宜生长条件。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色网 2023-03-19
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