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上海上海有色金属理论与应用

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全站仪调平减振装置及其使用方法

本发明涉及一种全站仪调平减振装置及其使用方法,通过减振装置底座连接载具;两段减振器连接杆对减振器固定,该组合及刚性连接装置分别设置在减振装置顶板和减振装置底座之间;所述刚性连接装置用于切换减振器的工作状态和失效状态;与减振装置顶板连接的调平装置,用于对全站仪进行承载及调平。通过载具对全站仪运输时,切换减振器到工作状态;全站仪测量时,切换减振器到失效状态。本发明采用自动调平技术,调平速度快,效率高;设计减振装置来保护运输时全站仪的精度;通过刚性连接装置方便切换状态,保证全站仪测量时不会受到减振器的影响。

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失效分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电源分配模块及车身控制器

本发明提供的电源分配模块包括主控制单元、微控制单元、输出驱动单元及坡行控制单元;主控制单元与微控制单元连接,用于驱动微控制单元运行和监测微控制单元之运行状态;输出驱动单元与微控制单元通信连接;坡行控制单元分别与主控制单元和输出驱动单元连接;主控制单元用于根据微控制单元之运行状态的变化以启停坡行控制单元;输出驱动单元还与坡行控制单元形成一反馈回路;坡行控制单元被配置为,当主控制单元监测所述微控制单元之运行状态为失效时,通过反馈回路接收输出驱动单元反馈的驱动信号,并驱动输出驱动单元输出所述驱动信号。通过配置坡行控制单元,可在微控制单元失效时保持电源分配模块的电源状态。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于无人机母车的无人机智能返航方法

本发明提供一种基于无人机母车的无人机智能返航方法,包括:当无人机在飞行过程中触发返航指令,无人机母车接收到返航指令后,从历史记录中获取无人机的飞行轨迹,计算无人机的返航路径并发送给无人机,无人机实时预测当前位置,调整飞行路径与返航路径匹配;在GPS信号失效后,通过惯性导航和图像匹配方法预测无人机的实时飞行位置并调整飞行路线沿着返航路径至停车路径标记点,利用无人机母车车顶设置的停机场标识引导无人机降落。本发明提供的技术方案中,能够确保在不同条件包括GPS失效时无人机智能返航成功并且路径最短。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有最小时延的组播恢复的方法及其接入设备

本发明涉及一种具有最小时延的组播恢复的方法及其接入设备,其方法为:当第一接入设备(A1)监测到工作链路失效,在不用等待重新构建二层生成树的前提下,根据当前组播转发表信息,立即通过其备份端口主动给备份链路所连的另一个新的上一级设备(A2)报告该第一接入设备(A1)感兴趣的组播信息;第一接入设备(A1)根据当前组播转发表信息,构造组播流入端口为原来的备份端口的新组播转发表;新的上一级设备(A2)接收到第一接入设备(A1)发来包含感兴趣的组播信息,更新其组播转发表;第一接入设备(A1)从备份端口接收到组播数据,根据新组播转发表转发,从而完成组播业务的快速恢复。本发明加快了接入网络中的组播业务恢复速度,使得基于组播的业务具有更高的可靠性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
增效防爆的湿法文丘里洗涤器

增效防爆的湿法文丘里洗涤器,在激冷喷淋装置(1)与文丘里装置(4)中间安装应急喷淋装置(2),在文丘里装置(4)和分离罐(6)之间安装测温装置(5),增配以进入文丘里气流测温控制启动的应急喷淋环节,增强文丘里激冷系统的可调节性,以确保进入文丘里的气体温度不致因激冷喷淋因积渣堵塞喷孔失效而骤然升高,降低整个洗涤系统的阻力和能耗,结构简单,操作方便,不易堵塞,防腐性能好,工作稳定,确保进入文丘里的气体不因激冷失效而携带高温以及腐蚀成份损害设备,保护设备安全工作,有效保证文丘里设备的洗涤效率,并且降低对设备材质的较高要求。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
下门联锁机构
下门联锁机构 1078     
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本发明公开了一种下门联锁机构,属于电气机械联锁装置技术领域。所述的前下检修门中部设置有销钉,前下检修门上方设置有弯板,所述的前下检修门左侧设置有销杆,且销杆上设置有第一压簧,所述的销杆与压板连接,所述的压板下方设置有联锁板,所述的销杆左侧设置有平头板,且平头板上设置有第二压簧,所述的平头板左侧设置有辅助开关,在前下门的关合与接地开关的分合之间增加反闭联锁功能,改进后的前下门联锁机构不会产生位置偏差对应不了造成失效联锁功能,从而就解决了再不关前下检修室的情况下接地开关无法分接地开关,从而断路器手车就无法从试验位置摇到工作位置合闸送电了,就解决了发生遭受电击等事故隐患。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
LED车灯故障自动保护模组

本实用新型提供了一种LED车灯故障自动保护模组,其特征在于,包括多个串联电路,每个串联电路包括电源,所述电源的输出端与均流元器件的输入端连接,所述均流元器件的输出端与开路信号侦测模块的输入端连接,所述开路信号侦测模块的输出端与若干个LED光源的输入端连接;本实用新型在每一串LED光源进行开路信号侦测,若开路失效的情形发生,某一串LED光源中的单颗LED灯开路失效时,无电流流过电阻,则无法提供该路场效应管所需的栅极开启电位,场效应管会关闭流经三极管的电流,使得均流元器件三极管关闭,整个光源模组随即关闭,实现LED灯故障自动保护,以满足法规光形的要求及行车安全。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于实验室信息管理系统的工作流配置实现方法和系统

本发明提供一种基于实验室信息管理系统的工作流配置实现方法和系统,读取现有流程信息,生成需要配置的检验流程;确定每个检验流程的工作流节点,确定需要配置的工作流节点;设置每个工作流节点的操作权限,所述操作权限能够控制工作流节点的操作;根据检验流程,设定工作流节点的顺序,形成检验工作流;对工作流进行权限配置;判断工作流是否符合SOP规范,若符合SOP规范,则生效工作流;若不符合SOP规范,则失效工作流。利用activity工作流,依据制药行业实验室通用的操作流程,实现对不同样品登记不同的检验工作流,使得对各类样品,能够按照自身的SOP来实现样品检验,符合GMP规范,减少代码开发工作及相关的验证工作。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于涵道辅助结构的泄压口盖安装组件

一种用于涵道辅助结构的泄压口盖安装组件,涵道辅助结构具有侧壁围成的空腔,空腔内布置有高压管路,泄压口盖安装组件包括布置在侧壁上的口盖加强框以及安装在口盖加强框上的泄压口盖,泄压口盖被安装在口盖加强框上的泄压锁锁定,当高压管路破裂时,泄压锁解除泄压口盖和口盖加强框之间的锁定以泄压,泄压口盖安装组件包括以预定偏置力安装在口盖加强框和泄压口盖之间的偏置元件,用于当泄压锁意外失效时使泄压口盖和口盖加强框分离开。通过本实用新型公开的泄压口盖安装组件,便于维护人员对涵道辅助结构的泄压口盖是否失效进行检查。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电梯轿厢紧急制动装置的试验方法及用于该方法的装置

本发明公开了一种电梯轿厢紧急制动装置的试验方法,包括以下步骤:步骤一,自检电梯是否正常;步骤二,如果电梯正常,则进入电梯试验模式,所述电梯试验模式为电梯停止响应层站召唤和轿内召唤;步骤三,控制器控制电梯轿厢运行至预设位置;所述预设位置为进行试验的初始位置;步骤四,电梯轿厢加速运行至预设速度;步骤五,当电梯轿厢运行速度达到预设速度时,控制器发出电子指令触发轿厢紧急制动装置;步骤六,判断是否满足失效基准;步骤七,满足失效基准时,控制单元控制曳引机抱闸制动,使得轿厢制停,然后退出试验程序。本发明还公开了用于该方法的装置。本发明全自动地执行试验任务,减少人为干预的工作,从而降低试验中出现风险的概率。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
水下立管维修方法
水下立管维修方法 802     
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本发明公开了一种水下立管维修方法,包括以下步骤:步骤一、对待修复立管的表面进行检查;步骤二、在待修复区域的表面涂覆液态金属环氧修复剂,形成第一修补层;步骤三、在第一修补层的表面涂覆水下环氧修复剂,固化形成第二修补层;步骤四、在第二修补层的表面喷涂双向玻璃纤维复合涂料,采用螺旋喷涂的方式缠绕喷涂两层,边喷涂边喷水,形成第三修补层。本发明选取特定的化学修补材料对立管的待修复表面进行补强修复,经压力试验验证修复后的立管是否能够达到使用要求,保证了施工的安全,大大减少了管道失效带来的不必要损失,降低了生产成本,适合所有失效范围较小的立管的修复,对后续立管类修复具有一定的借鉴意义。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
星载微波成像仪在轨热镜温度推算装置及方法

本发明提供了一种星载微波成像仪在轨热镜温度推算装置及方法,该装置及方法科学合理、易于实现。本发明基于星载微波成像仪在轨温度测量结构,提供了有效而精准的在轨热镜温度推算装置及方法,从而可以通过微波成像仪的冷镜温度的测量来推算热镜温度,作为星载微波成像仪的热镜温度备份,从而防止热镜温度测量模块失效而导致星载微波成像仪失效的问题,进而为星载微波成像仪在轨辐射测量的稳定性打下良好的基础。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
空间运动点目标的分类辨识方法

本发明公开了一种空间运动点目标的分类辨识方法,包含以下步骤:S1、对动平台所成的空间影像进行预处理,得到图像坐标系下以斜率和截距标识的轨迹群;S2、在轨迹群中,根据特定方法识别出恒星轨迹,并辨识出恒星的具体信息;S3、在上一步剔除后的轨迹群中,根据特定方法识别出行星轨迹,将行星轨迹从轨迹群中剔除,将对应的空间运动点目标归类为行星,并辨识出具体的行星信息;S4、在上一步剔除后的轨迹群中,根据特定方法识别出目标卫星的轨迹,将目标卫星的轨迹从轨迹群中剔除,将对应的空间运动点目标归类为目标卫星;S5、辨识出失效卫星,并将失效卫星的轨迹从轨迹群中剔除;S6、最后,通过特定的检验方法进行复核评估。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于功率瞬态抑制二极管使用纳米银浆焊接的方法

本发明公开了用于功率瞬态抑制二极管使用纳米银浆焊接的方法,涉及半导体封装领域。本发明使用无铅纳米银颗粒制备的纳米银浆连接功率瞬态抑制二极管芯片和导电铜框架;纳米银浆是由纳米银颗粒构成的重量百分比65‑80%的纳米银浆料以及20‑35%的添加剂混合构成的粘合载体;方法包括:清洗铜框架、纳米银浆网印、低温烧结、孔洞检验。本发明纳米银浆解决了传统焊接的二次流动性问题,充分利用纳米银的烧结完成后形成烧结银的高温特性,减少焊接二次流动产生锡丝、锡尖等问题;减少因为高温导致的芯片划片道的隐裂问题,温度低减少材料之间的热膨胀差异问题,降低产品的失效风险;有利于高可性的应用场景以及温度突变导致的气泡失效问题。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
设备维护排期方法、装置、电子设备及介质

本申请提供了一种设备维护排期方法、装置、电子设备及介质,其中,该方法包括:实时监测当前设备的设备失效率;在监测到当前设备的设备失效率大于等于预设阈值时,监测当前时间与能源高价时段的开始时间之间的间隔是否小于等于预设时间窗口;在监测到当前时间与能源高价时段的开始时间之间的间隔小于等于预设时间窗口时,将原始设备维护计划中的设备维护开始时间延后至所述能源高价时段的开始时间。本申请实施例利用能源分时价格的因素来对原始设备维护计划进行调整,在对设备进行维护的同时,能有效地降低生产所需的能源成本。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
疲劳曲线标定方法及可读存储介质

本发明提供了一种疲劳曲线标定方法及可读存储介质。其中,所述疲劳曲线标定方法包括如下步骤:获取预设测试条件下的测试数据,所述测试数据包括具有对应关系的电压等级和寿命时长;线性化预设寿命函数表达式;基于所述测试数据拟合线性化后的所述预设寿命函数表达式,得到第一待定系数;以及,所述第一待定系数代入所述预设寿命函数表达式得到期望寿命曲线。基于所述期望寿命曲线,设计人员可以估计特定元件在实际工况中的失效概率和预期使用寿命,解决了现有技术中存在的特定元件的失效概率和/或预期使用寿命不清楚的问题。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
变速箱控制方法和汽车变速箱

本发明公开了一种变速箱控制方法和汽车变速箱,变速箱控制方法包括油温估算工作模式,并且油温估算工作模式包括:a‑1:控制变速箱液压系统,以使得变速箱内的液压负载达到预设的测算负载,并维持预设的测算时间;a‑2:控制电子油泵在对照转速工作,测量对照转速下的电子油泵的电动机电流值,并且查询电流‑转速‑油温对应关系对照表,根据测量得到的电动机电流值和对照转速得到变速箱油温。本发明为解决变速箱温度传感器发生故障失效以后变速箱液压控制无法正常进行,导致变速箱失效的问题。通过电子油泵电流估算较为准确的变速箱油温信号,从而可以支持整个变速箱液压系统继续进行精确控制,提高变速箱控制的鲁棒性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
管廊管道剩余强度与剩余寿命计算方法

本发明公开了一种管廊管道剩余强度与剩余寿命计算方法,包括:收集管廊管道缺陷数据信息;判断是平面型缺陷还是体积型缺陷;针对平面型缺陷,从管廊管道缺陷数据信息中获取缺陷管道材料的工程应力-应变曲线,确定失效评估图,再计算评定点,得到管廊管道的剩余强度;针对体积型缺陷,从管廊管道缺陷数据信息中获取设计系数、焊缝系数和最小测量壁厚,通过计算得到管廊管道的剩余强度;根据管廊管道缺陷数据信息计算基本数值,根据极大值分布概率密度函数、可靠度函数、最大腐蚀深度点估计和极大似然估计,计算得到管廊管道的剩余寿命。从而有效准确地计算并预测管廊区域管道的剩余强度与剩余寿命。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
激光雷达及旋转驱动组件

本实用新型提供一种激光雷达及旋转驱动组件,其中旋转驱动组件用于驱动激光雷达中的探测装置旋转,包括:支撑部,与探测装置连接;轴承,用于轴向支撑探测装置,轴承包括内圈、外圈以及分别与内圈、外圈相配合的滚动体,外圈与支撑部连接,滚动体为陶瓷球滚动体;中心轴,与内圈连接,中心轴适于带动探测装置旋转。因陶瓷球滚动体具有无油自润滑的特性,陶瓷球滚动体与轴承内外滚道之间不需要润滑脂进行润滑,能够降低激光雷达因润滑脂失效带来轴承失效的风险,避免旋转驱动组件无法驱动探测装置旋转,延长激光雷达使用寿命;进一步地,因轴承无需添加润滑脂,能够避免因润滑脂在低温时粘滞力矩过大导致激光雷达在低温时启动困难的风险。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
晶圆级封装方法
晶圆级封装方法 807     
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本发明涉及一种晶圆级封装方法,所述封装方法包括:提供分类为至少两种类别的多个晶圆,每一类别的多个晶圆均具有包含至少一晶圆的多个样品;针对每个类别的样品分别进行芯片探测测试,分别获取样品的晶圆图;结合晶圆图,并比对预设的失效划分阀值,区别显示有效芯片单元和无效芯片单元;对不同类别的样品进行封装前的组合匹配,获取有效芯片单元结合的最优配对方式;按照所述的最优配对方式对不同类别的晶圆进行晶圆级封装。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
周期性事件记录方法
周期性事件记录方法 951     
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本发明公开了一种周期性事件记录方法,包含以基板管理控制器读取电源供应器的寄存器,以取得关联于电源供应器的信息。以基板管理控制器依据信息确认电源供应器的逻辑感测器状态以判断是否侦测到电源供应器的预测失效状态,且监控预设逻辑变量。当侦测到电源供应器的预测失效状态时,对应产生一个事件记录。以基板管理控制器依据预设逻辑变量的监控结果,选择性地执行计时任务,以决定是否产生控制命令。以基板管理控制器依据控制命令增加另一个事件记录,其中此另一个事件记录相异于上述的事件记录。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
动态情况下异步多传感器信息融合方法

本发明公开了一种动态情况下异步多传感器信息融合方法。在这种方法中,信息融合被考虑成一个传感器的数据对另一个传感器的数据的补偿过程。在异步多传感器系统中,所有的这些补偿被送入模糊推理系统中,来得到针对融合时刻测量值的补偿,然后将这个补偿值与融合时刻的测量值相结合得到融合结果。本方法中,系统在快速传感器测量值到达时刻进行融合操作,满足了动态系统的实时性要求,模糊推理系统的引入又方便了系统进行传感器管理以及传感器失效处理。本发明为动态异步多传感器信息融合问题提供了一个有效地解决方法,扩展了多传感器融合系统的实际应用范围。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于GPS的双星定位导航方法

一种基于GPS的双星定位导航方法,具体为:将车辆的运动轨迹分割为有序相连的直线段,从该直线段中确定当前车辆所在的路段;在当前路段上建立车辆位置的约束方程,从车载GPS中接收到的两颗卫星信号中解算出需要的信息,并建立卫星观测方程;开始双星定位,联合车辆位置约束方程和卫星观测方程解算出车辆所在位置以及比例因子;在当前路段上建立车辆速度方向的约束方程,利用车载GPS的接收信息中建立两颗GPS卫星的多普勒观测方程;开始双星测速,联合车辆速度方向的约束方程和多普勒观测方程解算出车辆的运行速度;通过双星定位解算的比例因子值来确定当前车辆的状态。本发明解决了由于卫星可观测数量不足而导致GPS失效的问题,确保了GPS定位的精度。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
读取非易失性存储器电流的方法及获取电流分布状态的方法

本发明公开了读取非易失性存储器电流的方法及获取电流分布状态的方法,读取非易失性存储器电流的方法为被测的非易失性存储器中的每个存储单元均处于测试状态,该方法为同时测量所有存储单元的电流,所述存储单元为被测器件;其中,每个被测器件的电流测试为:获取所述被测器件中的电流;判断所述被测器件是否处于编程状态,若是,根据所述电流获取所述被测器件失效单元个数;若否则所述被测器件失效单元为零个结束。本发明很大程度上缩短了测试时间,有效地提高了测试效率。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
实现滑滚比工况的三线接触疲劳试验机

本发明涉及一种实现滑滚比工况的三线接触疲劳试验机,包括试验台支座、试验台、加载系统、盘驱动系统、滚子扭矩监测系统和支撑系统;盘驱动电机同时驱动三个圆盘与滚子相对运动形成三条线接触以实现滚子的加速疲劳失效;加载系统采用砝码加载;滚子扭矩监测系统中采用扭矩传感器用来采集测试滚子的摩擦力矩以便正确判断滚子发生疲劳破坏的时间。本发明可模拟滚子在0‑3000rpm的工况,试验载荷范围为0~50Kg,实现滚子的加速疲劳失效,节约更多的时间和精力。可通过调整滚子驱动电机和盘驱动电机的转速实现不同的滑滚比,模拟实际工况下接触物体表面的打滑工况。同时扭矩传感器对滚子摩擦力矩的实时监控,精确掌握滚子发生疲劳失效的时间。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
互连线电迁移寿命的确定方法

本发明提供互连线电迁移寿命的确定方法,包括:选择至少三种不同线宽的互连线,所述至少三种不同线宽的互连线均在同一确定工艺条件下形成;测试每种线宽互连线不同结构的失效时间,利用统计分布得到每种线宽互连线相应的平均失效时间;根据black方程,得到确定温度、确定电流密度时,每种线宽互连线的归一化寿命;利用二次多项式,拟合得到互连线归一化寿命与线宽的二次函数关系式;通过所述二次函数关系式对应的曲线,得到最坏情况下的电迁移寿命,从而得到该最坏情况下的电迁移寿命对应的线宽。采用此发明方法可以精确评估该互连线最坏情况下的电迁移寿命,并为开发金属工艺提供重要信息。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
语音分离器
语音分离器 764     
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本实用新型公开一种语音分离器,包括:电路板;绝缘壳体,设置在所述电路板上;和气体放电管,安装在所述电路板上,并容纳在所述绝缘壳体中。在所述绝缘壳体上的靠近所述气体放电管的部位形成有一个观察窗口;并且在所述绝缘壳体上设置有一个能够打开和闭合的门板,用于打开和闭合所述观察窗口。因此,在打开该观察窗口时,人眼就能够方便地观察到气体放电管的失效情况,便于维护和检修作业。此外,在本实用新型的一些实施例中,在绝缘壳体上的靠近气体放电管的外壁上或者在门板的外壁上涂覆有受热变色的热变色涂层,这样,就可以通过观察热变色涂层的颜色变化来直观地观察到气体放电管的失效情况,便于维护和检修作业。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
存储单元组合规律的验证方法

本发明提供一种存储单元组合规律的验证方法,用于验证存储芯片存储单元组合规律的正确性,它包括以下步骤:1.在待验证的存储芯片上标记待损伤位置;2.采用聚焦离子束在待损伤位置制作损伤凹口;3.采用测试机测试存储芯片,标记测试机测试的存储单元失效位置;4.去除存储单元有源层表面的介质层和金属连线层,确定步骤2制作的损伤凹口的存储单元位置;5.比对步骤3测得的存储单元失效位置与步骤4确定的损伤凹口的存储单元位置进行存储单元组合验证。本发明存储单元组合的验证方法通过采用聚焦离子束制作损伤凹口和去除存储单元有源层表面介质层和金属连线层可有效解决传统验证方法存在的存储芯片易整体失效和精确性低的问题。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
玫瑰修护隔离霜加工工艺

本发明公开的属于化妆品加工技术领域,具体为一种玫瑰修护隔离霜加工工艺,该玫瑰修护隔离霜加工步骤包括玫瑰花水的提取、原料称重、加热搅拌、混合搅拌、半成品检验、装罐、成品检验和打包入库,通过在配方中添加保湿剂可以增加隔离霜的透气性,从而避免皮肤上涂抹隔离霜后会处于封闭环境,进而使得皮肤随时可以接触到外界氧气,从而解决了涂抹隔离霜前必须先涂抹保湿霜的问题,隔离霜的原料在高速搅拌时会加速微生物的活动频率,从而导致隔离霜的原料失效,本发明在A组材料和B组材料中分别添加A组防腐剂和B组防腐剂从而有效的避免了隔离霜的原料失效。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于半导体工艺后段制程的聚合物残留去除方法

一种在半导体工艺后段制程中用于清除介电层刻蚀后残留在硅片上的聚合物的方法。现有的去胶方法存在聚合物无法彻底清除,造成出货镜检失效率超标的问题。本发明的用于半导体工艺后段制程的聚合物残留去除方法,包括下列步骤:(1)对刻蚀后的硅片进行干法去胶;(2)对经过步骤(1)处理的硅片进行湿法清洗;于步骤(2)之后再作一步干法去胶步骤。利用本发明的聚合物残留去除方法,可使出货镜检失效率降为零,并达到几乎不增加成本而提高良率的有益效果。适用于压点、通孔、接触孔等容易形成聚合物残留的集成电路结构。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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