真空热压炉是在真空(或其它气氛)条件下将材料热压成型的成套设备,主要采用电阻或感应加热,由油缸驱动的压头上下加压。在高温下,生坯固体颗粒的相互键联,晶粒长大,空隙(气孔)和晶界逐渐减少,通过物质的传递,其总体积收缩,密度增加,最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体,从而将物料压制成形。高温、加压以及真空或气氛的同时作用显著提高产品的密度、硬度以及其它机械、电子、热学性能。
真空感应高温石墨化炉是在真空或惰性气体条件下利用中频电源通过螺旋型的水冷感应线圈产生交变磁场,使感应线圈内的石墨坩埚产生感应电动势,中频电流就在坩埚内形成环流,从而使坩埚产生高温并辐射到工件,使其达到所需要的温度。该炉主要用于碳素制品的石墨化或气相沉积石墨。
真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,也可电阻加热,石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。