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安徽合肥有色金属理论与应用

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化学合成短纤维分散性能检测装置及检测方法

本发明公开了一种化学合成短纤维分散性能检测装置及检测方法,其特征是呈直立设置一圆柱筒,在圆柱筒中设置中间滤层,在中间滤层的上方,沿轴向设置有搅拌轴用于构成分散搅拌器,在中间滤层的下方,分别设置安装有进水阀的进水管和安装有放液阀的放液管,中间滤层包括滤网和置于滤网上的滤布;在圆柱筒的侧壁上,位于搅拌轴的底部、且处在中间隔层的上方,沿径向设置进气管。本发明装置结构紧凑,方法操作简便,通过短纤维在水中的分散性情况,可用于快速准确地检测化学合成短纤维存在的并丝、连粘丝、倍长丝、胶块等各种疵点。

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物理检测
安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于砂浆性能检测的快速凝结养护工装

本发明公开了基于砂浆性能检测的快速凝结养护工装,涉及混凝土试块养护装置技术领域。包括养护箱和养护模具,养护箱内由下至上依次设有若干养护模具放置架,养护模具放置架上放置有由第一半摸、第二半摸以及模具底座组成的养护模具;模具底座上表面上设有滑轨以及若干定位孔;第一半摸上设有与定位孔相配合的定位通孔,第一半摸上还设有第一紧固盲孔;第二半摸的底侧面上设有与滑轨相配合的滑槽。本发明通过由养护箱、养护模具放置架和养护模具组成的养护工装,解决了现有养护操作过程存在的模具拆卸麻烦、试块内部结构易受影响、模具搬运移动困难的问题。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
面条力学性能检测方法及装置

本发明公开了面条力学性能检测方法和装置,分别设置用于装夹面条的定夹头和动夹头;动夹头在电机及机械减速传动机构带动下作直线运动,定夹头和测力传感器测力端连接,将煮熟的面条一端缠绕在动夹头上,另一端缠绕在定夹头上或者夹持在定夹头的二个成一定夹角的刀(夹)片之间,随着动夹头作拉伸运动,测力传感器将检测到的拉力或者剪切力信号传送到数据处理系统,通过检测的拉力、剪切力数据,来判定面条的韧性、强度等力学性能。它是将检测的拉力、剪切力指标转化为面条的韧性、强度等力学性能指标,从而为面条的品质鉴定提供了参考的依据。该仪器的研制利用了计算机技术、传感器技术和数字分析理论,这些较前沿的科学技术的应用为探索及掌握食品力学性能指标奠定了基础。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
发动机悬置的隔振性能检测方法、装置、设备及存储介质

本发明公开了一种发动机悬置的隔振性能检测方法、装置、设备及存储介质,属于发动机悬置技术领域。本发明获取发动机悬置的加速度信息;根据所述加速度信息确定所述发动机悬置对应的隔振性能值;检测所述隔振性能值是否处于预设范围内,并根据检测结果对所述发动机悬置的隔振性能进行检测,通过加速度信息计算发动机悬置的隔振性能值,再检测计算得到的隔振性能值是否在预设范围内,根据隔振性能值的大小比较,使得发动机悬置的隔振性能检测更加准确。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
纺织品用防晒性能检测仪器

本实用新型提供了纺织品用防晒性能检测仪器,包括检测箱,所述检测箱空腔内顶面固定连接有一组均匀分布的紫外线照射灯,所述检测箱空腔内底面固定有检测装置,所述紫外线照射灯和检测装置之间设有撑开组件,所述撑开组件上表面设置有纺织物,所述纺织物为矩形,所述撑开组件包括拉动纺织物边角的第一拉伸组件和第二拉伸组件,所述撑开组件表面设置有一组固定纺织物拐角处的固定组件;本实用新型通过设置撑开组件,有效的防止纺织物在进行防晒性能检测过程中有褶皱,紫外线照射不均匀,导致检测结果的准确性降低的问题,可以将纺织物完全撑开至无褶皱状态,从而有效的提高了仪器的检测质量。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种电线电缆生产用低温弯曲性能检测设备

本发明公开了一种电线电缆生产用低温弯曲性能检测设备,包括壳体主体,以及通过合页安装在所述壳体主体前侧的开合门;所述壳体主体的上端固定有用于进行低温处理的制冷箱,且制冷箱的下端安装有用于对冷气喷出的喷管,并且喷管的下端贯穿壳体主体的上表面内部;还包括:所述壳体主体的上端内部从左向右等间距通过螺钉安装有三个固定辊,且固定辊的上端设置有喷管;所述固定辊的下方左右两侧均安装有移动辊。该电线电缆生产用低温弯曲性能检测设备设置有连接拉绳,通过连接架的上升可自动对连接拉绳进行拉动,因此使得移动夹块和固定夹块的配合可自动对线缆的两端进行夹持固定,不需要工作人员手动对线缆的两端进行夹紧操作。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种组合开关电性能检测仪

本实用新型公开了一种组合开关电性能检测仪,由工业级控制计算机、高精度AD采集模块、AB端口接线柱、ARM控制器和电流通道选择阵列组成,所述工业级控制计算机分别连接显示器和通信模块,通信模块还连接ARM控制器。本实用新型是适于导通触点、功能电阻、背光指示等多功能组合开关电性能检测仪。仪器通过内部电流控制模块提供高精度额定电流通过开关触点,再由高精度采集模块采集当前开关触点两端电压值或通过内部电阻采集模块采集功能性开关电阻值并实时显示在上位机软件界面中与上位机软件中设置的合格标准进行对比,自动识别判定产品是否合格及不合格原因。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种金属材料的性能检测装置

本实用新型公开了一种金属材料的性能检测装置,涉及金属检测技术领域。本实用新型包括基座;基座的上表面通过支撑柱装设有金属硬度检测模块;金属硬度检测模块的下方设置有检测台;检测台通过调节部件装设于基座的上表面上;检测台的上表面圆周阵列有承接块;承接块的相邻两侧面均垂直固定有定位杆;定位杆的一端设置有定位钩;相邻两个承接块之间均设置有滑座;滑座上沿长度方向滑动连接有一对与承接块相对应的调位杆;两调位杆相离的一端分别固定于相邻两承接块上。本实用新型不仅结构设计简单合理、使用便捷,而且有效地保证了金属材料的性能检测效率及效果,具有较高的市场应用价值。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种混凝土拌合物性能检测设备

本实用新型公开了一种混凝土拌合物性能检测设备,涉及到混凝土拌合物性能检测设备技术领域,包括试验平台、安装于所述试验平台底部四周的支撑单元、安装于所述试验平台顶部上的十字水平仪,所述支撑单元的高度可以调节,所述试验平台的顶部中心位置处设置有坍落筒,所述坍落筒的顶部设置有注料斗,所述坍落筒的周侧上固定连接有四个均匀分布的固定座,所述固定座的侧壁上开设有卡槽。本实用新型结构合理,不需要人工用手扶持坍落筒,且坍落筒放置试验平台上稳定性好,不会在注入凝土拌合物时坍落筒发生位移,避免了人工提升导致坍落筒发生偏移,省时省力,提高了混凝土拌合物的性能数据准确性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种压力面积可调节的建筑工程用板材抗压性能检测设备

本发明公开了一种压力面积可调节的建筑工程用板材抗压性能检测设备,包括装置本体、电动推杆、压力传感器和电动伸缩杆,所述装置本体的内侧中部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的边侧安装有侧向块,且侧向块的中部安装有螺纹杆,所述连接杆的下端安装在导向块上,且导向块安装在调节板的内部,所述牵引绳的下端缠绕连接在传动杆上,且传动杆的内端固定安装有圆形齿轮,所述滚轮杆的上端外侧安装在衔接板的内侧,且滚轮杆和衔接板之间通过复位弹簧相互连接。该压力面积可调节的建筑工程用板材抗压性能检测设备,能够方便调节对墙板的压力面积,同时能够对墙板起到良好的限位固定作用,且能够对墙板碎裂后的石块进行阻挡。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种航空飞机壳体成型加工用抗撞击性能检测装置

本发明公开了一种航空飞机壳体成型加工用抗撞击性能检测装置,包括座板、销钉、螺柱、电机和滑轮,所述座板的上表面分别开设有第一滑槽和第二滑槽,且第一滑槽的内部设置有滑块,所述座板中部的滑块上方螺栓安装有滑板,所述套管的中部卡合有碰撞头,所述座板的左右两侧均设置有垫板,所述垫板的前后两侧均通过螺栓安装有第二绕线轴,所述座板前后两侧的滑块上方螺栓安装有载物平台板。该航空飞机壳体成型加工用抗撞击性能检测装置设置有两块载物平台板,在使用的过程中,能有效的将机壳或者机体的一部分安装放置到载物平台板的上方,从而配合着碰撞头有效的对机壳或者机体进行检测,增加了装置的检测性能。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汽车组合仪表耐久性能检测台的三维运动平台

本实用新型提供一种汽车组合仪表耐久性能检测台的三维运动平台,涉及汽车仪表性能检测设备领域,包括由铝合金型材构成的矩形台体、图像捕获机构、夹具部分及相应的电线束单元组成,所述图像捕获机构、夹具部分设置在矩形台体内;图像捕获机构包括三维运动平台,三维运动平台上端通过固定板安装在矩形台体的内顶部,三维运动平台下端安装一只摄像机,利用三维运动平台控制摄像机的位置。本实用新型通过对汽车转速表、车速表、燃油、水温表,气压表的驱动,利用摄像头移动到特定子表的位置获取仪表图片,计算出仪表指针的指示值,并与设计值或标准值比较,判定是否合格,自动保存结果。经过验证,本实用新型适应范围广,操作方便,测试精度高,检测可靠,可扩展性强等特点,可以避免人工观测的不确定性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种网织岩棉板性能检测装置

本实用新型属于检测设备技术领域,尤其为一种网织岩棉板性能检测装置,针对常规的网织岩棉板性能检测装置中对于岩棉板的定位效果较差,导致检测过程中岩棉板容易松动,导致检测结果不够精确的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部一侧固定安装有加热板,底座的顶部开设有安装槽,安装槽的侧壁上转动安装有丝杆,丝杆的外侧螺纹套设有移动板,移动板的顶部固定安装有固定板,固定板的一侧固定安装有温度传感器,丝杆的外侧固定套设有蜗轮。本实用新型结构设计合理,通过丝杆与移动板的螺纹传动,能够带动固定板移动,实现对岩棉板的夹持,其次插板与转盘的卡接配合,能够提高对岩棉板的夹持稳定性,可靠性高。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于机器视觉的汽车组合仪表耐久性能检测台

本发明提供一种基于机器视觉的汽车组合仪表耐久性能检测台,涉及汽车仪表性能检测设备领域,包括由计算机系统控制的组合仪表安装台架,安装台架主要由台体、图像捕获机构、夹具部分及相应的电线束单元组成;台体采用铝合金型材的矩形框架结构,台体中间通过设置一个水平的工作台面而将台体分成上下两个腔体,所述图像捕获机构和夹具部分设置在上腔体内。本发明通过对汽车转速表、车速表、燃油、水温表,气压表的驱动,利用摄像头移动到特定子表的位置获取仪表图片,计算出仪表指针的指示值,并与设计值或标准值比较,判定是否合格,自动保存结果。经过验证,本发明适应范围广,操作方便,测试精度高,检测可靠,可扩展性强等特点,可以避免人工观测的不确定性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
覆膜砂耐高温性能检测设备

本实用新型涉及高温性能检测技术领域,具体涉及一种覆膜砂耐高温性能检测设备,包括箱体、工作台、上试柱、下试柱和试验试块,还包括旋转驱动系统、升降环、传感器部分、底盘、平板和导柱;本装备采用了内置的小型化计算机进行数据记录和数据计算,同时可以根据操作人员需求提取相应数据,可以测试从室温到1500℃条件下的覆膜砂的大部分性能参数,测试的温度范围广,测试的参数种类多,测试数据齐全,测试结果可以以曲线、图表等多种数据形式输出,为数据的后期处理提供了较大便利,其操作快捷、简单方便。测试人员只需要经过简单的培训即可熟练操作该设备,只需要输入试块参数经过测试后直接输出所需结果,无需进行二次计算,具有很强的实用性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种中间轴总成综合性能检测装置

本发明公开了一种中间轴总成综合性能检测装置,包括安装底座以及安装在安装底座一端的电动伸缩杆,安装底座表面一端设置有PC机,且PC机一侧水平方设置有电机固定支座;电机固定支座侧壁安装有混合式步进电机,且混合式步进电机通过凸缘联轴器连接转矩转速传感器;转矩转速传感器套接安装在传感器垫座内部,且传感器垫座通过螺栓固定在安装底座表面。本发明结构简单,设计合理;该装置将中间轴总成性能的检测从实车实验转向实验台进行检测,不仅降低了检测成本,且省时省力;同时装置通过PC机对传感器信息的采集有利与提高性能检测的精确性,避免实车检测不准确的情况发生,具有很好的检测性能,实用性较强,适合推广使用。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种同步器的同步性能检测装置

本实用新型公开了一种同步器同步性能检测的装置,包括机架,换挡机构、同步器总成、驱动电机、第一控制器和第二控制器,机架包括底座,底座上固设有两块立板,立板包括第一立板和第二立板,第一立板与第二立板之间设有换挡机构接盘,换挡机构贯穿换挡电机接盘设置于换挡机构接盘的下方,第一控制器与换挡机构电连接,同步器总成设于换挡机构接盘的上方,换挡机构与同步器总成相连,驱动电机设于第二立板的右侧,第二控制器设于驱动电机的正下方,第二控制器与第二立板固连。与现有技术相比,本方案的同步器同步性能检测的装置不会产生任何的冲击损伤,同时结构制作简单,人工加工组装方便,生产成本低,方便工人使用。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种电气竖井隔板耐火性能检测平台

本实用新型公开了一种电气竖井隔板耐火性能检测平台,包括封闭的立方体竖井,从竖井正面看,竖井设置有一水平隔板将竖井分隔为上下两个区域,水平隔板下方区域被一竖直隔板分隔为左右两个区域;竖直隔板两侧分别竖直设置有一连接竖井底部到顶部的电缆桥架,两个电缆桥架内分别设置有强电电缆和弱电电缆;竖井内被两个隔板分隔开的三个区域内分别设置有温度传感器和气体检测系统;竖井内部设置有火源系统。本实用新型提供的一种电气竖井隔板耐火性能检测平台的优点在于:综合考量了隔板的隔热性、完整性、稳定性,使用方便,隔板与竖井及相关组件便于更换,既能模拟真实起火场景也能根据需要提供某一特定条件下的火灾场景,具有良好的推广前景。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汽车组合仪表性能检测设备

本发明提供一种汽车组合仪表性能检测设备,涉及汽车仪表性能检测设备领域,包括由计算机系统控制的组合仪表安装台架,安装台架主要由台体、图像捕获机构、夹具部分及相应的电线束单元组成;台体采用铝合金型材的矩形框架结构,台体中间通过设置一个水平的工作台面而将台体分成上下两个腔体,所述图像捕获机构和夹具部分设置在上腔体内。本发明通过对汽车转速表、车速表、燃油、水温表,气压表的驱动,利用摄像头移动到特定子表的位置获取仪表图片,计算出仪表指针的指示值,并与设计值或标准值比较,判定是否合格,自动保存结果。经过验证,本发明适应范围广,操作方便,测试精度高,检测可靠,可扩展性强等特点,可以避免人工观测的不确定性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种建筑外窗保温性能检测装置

本实用新型公开了一种建筑外窗保温性能检测装置,它涉及建筑检测技术领域。该建筑外窗保温性能检测装置包括热箱、冷箱、试件框和试件预装框,所述试件预装框活动设置在所述试件框内部,所述试件框的前后表面均开设有一方形插槽,所述方形插槽内卡设有密封胶板,所述密封胶板包括方形面板和插板,所述插板沿着所述方形面板一面的外侧边缘固定粘接,所述插板活动卡接在所述方形插槽内,所述方形面板的内侧边缘处于所述间隙缝与所述试件预装框内侧边缘之间以覆盖所述间隙缝。本实用新型通过在试件框内设计增加一个试件预装框,则可以在原有门窗试件检测的同时,就可以事先安装好新的门窗试件,节约了检测等待的时间,提高了设备的检测效率。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种泡沫性能检测结构
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本实用新型公开了一种泡沫性能检测结构,包括泡沫测量装置、泡沫析液测量装置和刮平装置,所述泡沫测量装置的底部设置有泡沫析液输出口,所述泡沫测量装置的泡沫析液输出口底部设置有泡沫析液测量装置,所述泡沫测量装置的顶部还设有刮平装置。本实用新型的优点在于,该泡沫性能检测结构不仅操作简单,防止了泡沫液的浪费,而且还防止泡沫飞溅而影响测量精度的现象出现,提高检测精度。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种热管散热器的性能检测装置

本实用新型公开了一种热管散热器的性能检测装置,包括发热模拟组件、第一温度传感器和第二温度传感器,其中,发热模拟组件用于模拟发热元件发热且具有热传导端面,热传导端面用于与热管散热器的各个热管的蒸发管段传热贴合;第一温度传感器用于检测热传导端面的温度,且第一温度传感器与热管的蒸发管段一一对应布置;第二温度传感器设置于各个热管的冷凝管段。该性能检测装置,通过热管换热器的每根热管上均配置有对应的第一温度传感器和第二温度传感器,继而能够实现热管散热器上的每根热管的良品判断,使得热管散热器的散热性能测试更加准确,能够更好地保证检测合格出厂的热管散热器的散热性能,有效避免了不良热管散热器流出。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种电子变压器生产用安全性能检测装置

本发明公开了一种电子变压器生产用安全性能检测装置,涉及电子检测技术领域。本发明包括检测通道、检测器和分隔器,检测通道包括底板和侧板,底板上具有一排分隔槽;检测器上安装有电动伸缩杆,电动伸缩杆的端部设置有探测头,检测器架设在侧板上;分隔器设有一排,一分隔器安装在一分隔槽上,底板上安装有万向滚珠,底板上还设置有传送带,传送带设置有一对,分别位于万向滚珠的两侧,底板的端部设有支撑板,支撑板上设置有转轴,底板两端对应的转轴上设有皮带。本发明通过电子变压器放置在具有传送功能的检测通道上,通过检测器对流动的电子变压器进行性能检测,提高电子变压器的检测效率。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种斗式提升机性能检测装置

本发明涉及提升机检测技术领域,具体公开了一种斗式提升机性能检测装置,它包括手动进料阀、物料仓、超声波料位计、第一电控阀、冲板式散装物料流量计、斗式提升机、提升机功率测量仪、提升机速度测量仪、脉冲袋式除尘器、物料收集仓、手动放料阀、第二电控阀和控制器;本发明提出了一种斗式提升机性能检测装置,提高了斗式提升机性能测试水平,为斗式提升机研发提供数据支撑,有利于斗式提升机研发,技术迭代,确保了斗式提升机进一步发展。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汽车电子绝热材料性能检测设备及其检测方法

本发明提供汽车电子绝热材料性能检测设备及其检测方法,涉及材料性能检测领域,包括调整机构和检测机构,绝热材料于组装环内腔进行放置,通过整体装置间距的收缩,使装置对于绝热材料的贴合度增加,通过向内旋杆的内腔进行气体吹动,将气体对绝热材料的侧端进行吹动,在内旋杆的两端安装有风速检测机构,在气体向内端吹动时打击绝热材料的侧端时产生反冲击风力,通过捕捉气体的风速,从而判定绝热材料的空气渗透性能,通过按压安装盘的侧端,使中接横筒向侧端推进,组装柱与内接盘进行配合,重复上述步骤,使第一调整机构产生气流差速变化,检测绝热材料于气流差速的条件下的稳定性。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种耐高温电缆的性能检测装置

本实用新型涉及电缆性能检测领域,公开了一种耐高温电缆的性能检测装置,包括支撑架,所述支撑架上设有固定机构;本实用新型通过第二电动气缸带动运动板后撤,从而将电缆夹持固定,电缆的两端漏出夹持块,且电缆的两端没有绝缘包覆层,然后通过第一电动气缸带动检测探头触碰电缆,位于外侧的两个检测探头与电缆的两端触碰,位于中间的两个检测探头与电缆中间的绝缘包覆层触碰,完成检测电缆内通电,外绝缘的性能。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种发动机机油泵性能检测方法

本发明公开了一种发动机机油泵性能检测方法,包括启动发动机并运行至怠速工况,获取发动机转速从0提高至第一预设转速的时间t1、机油滤清器的入口端的油压从0提高至第一预设油压的时间t2、发动机转速从第一预设转速提高至第二预设转速的时间t3、缸盖油道油压提升至第二预设油压的时间t4;若机油泵充油时间小于或等于第一预设时间值,则机油泵充油时间合格;若机油泵油压建立时间小于或等于第二预设时间值,则机油泵油压建立时间合格。本公开的发动机机油泵性能检测方法通过获取在发动机运行工况下的机油泵充油时间和机油泵油压建立时间,有效检测了机油泵在发动机工况条件下的性能。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
涂料性能检测用风干装置

本发明公开了一种涂料性能检测用风干装置,涉及涂料性能检测设备技术领域。本发明包括箱体,箱体底部固定有传动箱,传动箱内部固定有减速电机,减速电机的输出轴位于箱体内部的一端固定有放置机构,箱体内部关于放置机构对称设置有两均风板,两均风板一表面与箱体内壁之间围成风腔,风腔内部固定有加热机构,箱体顶部固定有过滤箱,过滤箱顶部固定有风机,箱体顶部固定有与箱体内部相连通的吸风罩。本发明通过放置机构的使用,能够同时放置多个样品检测板,通过减速电机驱动放置机构带动样品检测板转动,使得样品在风干时所处的条件相同,提高风干效率,同时,避免风干条件不同因此样品结果出现交的的差异。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
一种高压逆变器性能检测系统及其检测方法

本发明提供了一种高压逆变器性能检测系统及其检测方法,包括安装底板、搬运机构、夹持机构和检测机构,所述的安装底板上安装有搬运机构,安装底板上端面均匀设置有滑轨,安装底板上通过滑动配合均匀安装有夹持机构,夹持机构与搬运机构相互传动配合,安装底板上端面中部安装有检测机构,且检测机构位于夹持机构上方。本发明提供的一种高压逆变器性能检测系统及其检测方法,采用可调节式多工位结构的设计理念对铜棒的导电性能进行检测,采取机械一体化工作结构,进而减轻工人的劳动强度和简化工作流程,同时可根据检测的结果对合格的和不合格的铜棒自动进行分类处理,提高了整个检测工作的工作效率。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨设备的研磨性能检测方法

本发明提供了一种化学机械研磨设备的研磨性能检测方法。包括:利用化学机械研磨设备研磨衬底,并形成一反射层在研磨之后的衬底上,从而可以对反射层进行光学检测,在光学检测过程中反射层能够将检测光束反射至一检测感应器上,检测感应器获取针对于衬底表面的检测信号,进而可以检测出衬底表面是否存在研磨缺陷,由此判断化学机械研磨设备的研磨性能。本发明中的化学机械研磨设备的研磨性能检测方法,能够有效提高化学机械研磨设备研磨性能的检测结果的准确性,并且还有利于缩短检测化学机械研磨设备的研磨性能所需的时间,提高了化学机械研磨设备的利用率。

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安徽 - 合肥 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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