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北京北京有色金属新能源材料技术理论与应用

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YSZ/石墨烯复合封严涂层及其制备方法

本发明涉及一种YSZ/石墨烯复合封严涂层及其制备方法,属于封严涂层技术领域。所述封严涂层是以YSZ/石墨烯复合粉体为原料在基体上制备的一层厚度不小于0.1mm的涂层,该封严涂层以石墨烯掺杂的YSZ为原料,不仅提高了封严涂层整体的韧性和耐磨性,还可以增强封严涂层的热稳定性,满足封严涂层在高温服役环境下的要求。采用等离子喷涂工艺制备该封严涂层,通过优化工艺参数可以使YSZ/石墨烯复合粉体在喷涂过程中充分熔融且不发生分解,获得高致密度的涂层,该工艺操作简单,易于控制,生产效率高,成本低,具有很好的应用前景。

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石墨烯 石墨烯复合封严涂层
北京 - 北京 来源:北京理工大学 2023-12-06
基于石墨烯纳米材料的高性能核辐射屏蔽装置及技术

本发明公开了一种基于石墨烯纳米材料的高性能核辐射屏蔽装置,包括服装本体、耐磨防辐射多层石墨烯纳米复合材料的鞋底、防辐射袜、柔性防辐射石墨烯纳米复合材料的手套、腕部柔性防辐射石墨烯纳米复合材料和面部防辐射多层石墨烯纳米复合材料;本发明还公开了一种基于石墨烯纳米材料的高性能核辐射屏蔽装置的屏蔽方法;利用石墨烯及其各类功能化纳米复合材料在核辐射屏蔽领域的优异特性,充分考虑不同核辐射源的特点,以开发新型高性能核辐射屏蔽技术及相关屏蔽服饰,可较好地屏蔽ɑ、β、γ、X射线及放射性核素,并能较好地慢化、吸收中子辐射;适用于核电站,核辐射站,核原料生产厂,核乏燃料处理站、外太空、外星球应用场景。

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石墨烯纳米材料 纳米材料
北京 - 北京 来源:广东国源环保机电设备工程有限公司 2023-12-06
多平台压型储氢装置及其储氢片的制造方法

本发明公开了一种多平台压型储氢装置及其储氢片的制造方法,该装置包括储氢片、储氢罐体、过滤片、罐口封头和阀门,储氢片分为低压、中压以及高压三个不同平台压类型,储氢片为直接装填入储氢罐体中的规整牢固的片状结构,储氢片包括金属箔材、储氢合金、导热剂和粘结剂,过滤片预先设置在罐口封头中,装填储氢片时,先将多个不同平台压的储氢片以一定的比例依次层堆叠放在储氢罐体的内部后,再焊接罐口封头并安装阀门。本发明的放氢启动温度较低,可根据气压变化监测氢气剩余储存量,能够确保储氢合金在使用过程始终保持分布均匀,避免因储氢合金的局部富集引起的应力集中,提高使用寿命,装填简单,具备良好的自动化潜力。

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储氢装置 储氢片
北京 - 北京 来源:有研工程技术研究院有限公司 2023-12-06
光化学与热化学结合的储能装置

一种光化学与热化学结合的储能装置,包括:太阳能聚光镜,用于聚集太阳光;光线分频器,将太阳能聚光镜聚集的光分为两束;光化学反应器,光线分频器分出的参与光化学反应的光子被导入光化学反应器,使其中的光化学反应物发生异构反应,将能量储存在化学键中;以及热化学反应器,光线分频器分出的未参与光化学反应的光子被导入热化学反应器,使其中的热化学反应物发生热化学反应,将能量储存在化学能中。本发明的光化学与热化学结合的储能装置对太阳能不同频率的光子进行了分别利用,其中高能量的光子进行了光化学反应直接将光能储存在化学键中,低能量的光子进入热化学反应器先转化为了热能,再转化成化学能储存下来,实现了全光谱高效储能。

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储能装置 光化学 热化学
北京 - 北京 来源:中国科学院工程热物理研究所 2023-12-04
耦合化学链循环的太阳能热化学制备燃料系统及方法

本发明提供一种耦合化学链循环的太阳能热化学制备燃料系统及方法,该系统由聚光集热装置、两步法热化学循环制备燃料反应器、惰性气体供给装置、真空泵、显热回收装置、储热装置、化学链循环子系统等部分组成;太阳光聚集后为两步法热化学循环还原步供能,通过耦合化学链循环降低热化学循环还原步氧分压提高反应限度。热化学循环还原步为化学链循环氧化步提供部分氧气,产生高温高压气体做功发电;热化学循环余热驱动化学链循环还原步进行,使反应循环进行。通过增加真空泵和惰性气体吹扫提高热化学循环还原反应的除氧速率,利用化学链循环氧化步吸收惰性气体中的氧气使惰性气体循环利用。利用储热装置收集储存热量后在不同时间利用。

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太阳能热化学制备燃料 热化学制备燃料
北京 - 北京 来源:北京理工大学 2023-12-04
调节固体氧化物燃料电池阴极热膨胀系数的方法

本发明公开了一种调节固体氧化物燃料电池阴极热膨胀系数的方法,通过设计和调控阴极材料的结构和原子排列方式,使阴极材料具有较低的热膨胀系数,从而与电解质材料相匹配,提高电池的结构稳定性和可靠性。本发明采用溶胶?凝胶法和固相反应法合成高熵钙钛矿氧化物作为阴极材料,该高熵钙钛矿氧化物由多种不同金属元素掺入传统的钙钛矿型氧化物中,通过选择元素的比例和组成实现一种晶体结构,其中金属?氧化物键的键强度和键长度适度变化。本发明的方法不仅可以降低阴极材料的热膨胀系数,还可以改善其导电性、催化活性、氧离子传输性能等,同时还可以为阴极材料提供更多的功能性、可定制性和多样性,从而满足不同应用场景和需求的要求。

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燃料电池 氧化物燃料电池
北京 - 北京 来源:中国科学院工程热物理研究所 2023-11-30
高温氧化物纳米颗粒间隔蛭石微纳米片的制备方法

一种高温氧化物纳米颗粒间隔蛭石微纳米片的制备方法,属于隔热和防火材料制备技术领域。本发明采用化学改性剂将蛭石层间离子置换,经水合作用削弱层间结合力,得到层间弱结合的蛭石?水浆液;采用高温氧化物纳米颗粒分散于蛭石?水浆液中,并调整浆液稠度;再经高速剪切搅拌作用,蛭石片层分离,高度分散于纳米氧化物浆体中。混合浆体具有高黏度,蛭石片被剥离成微纳米厚度的层片状,被纳米颗粒分隔开,稳定悬浮于浆体中。本方法可控制蛭石片的粒度和厚度,剥离程度更好,所制得的蛭石微纳米片?纳米氧化物的混合浆体可作为防火涂料用于易燃建筑材料的防火保护。混合浆体干燥后得到的纳米颗粒间隔蛭石微纳米片,可用于干法工艺的高温纳米氧化物粉末基超级绝热材料。

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纳米片 纳米颗粒
北京 - 北京 来源:北京科技大学 2023-11-30
集中式储能设备热管理系统及其工作方法

本发明公开的一种集中式储能设备热管理系统及其工作方法,属于储能技术领域。通过主控制器与储能系统中每级的水泵和温度测点直接连接,对分布式储能单元的热管理进行集中式管控,取消了单个储能单元的热管理机构,有效降低了储能系统的能耗,降低了系统的设计、安装和维护成本。通过储能系统每级中每个监测点的实时通讯状态信息,精准地控制储能系统中每级的环境温度;并且在某个储能单元突发热失控状态时能够进行强制分离及降温,降低突发安全问题的发生概率,降低储能系统因为热失控所造成的巨大经济损失,提高储能系统的安全性和稳定性。

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储能设备 储能技术
北京 - 北京 来源:中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 2023-11-29
半导体型单壁碳纳米管提纯方法

本发明公开了一种半导体型单壁碳纳米管提纯方法。将可去除的含亚胺键的共轭聚合物与待提纯碳纳米管混合溶于高沸点、高粘度的非极性有机溶剂中,通过循环冷却装置在稳定的低温条件下进行超声分散,再经过超速离心将包裹着所述共轭聚合物的半导体型单壁碳纳米管分离出来;之后通过旋蒸洗涤的方式将去除所述共轭聚合物,得到纯净的半导体型单壁碳纳米管。本发明方法能够获得高纯度的半导体型单壁碳纳米管,一次性提纯纯度>99.9%,产率大,成本低,并且操作稳定性好,可重复性强;用该方法提纯的半导体型单壁碳纳米管制备的场效应晶体管表现

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碳纳米管 单壁碳纳米管
北京 - 北京 来源:北京大学 2023-11-29
石墨烯剥离装置及石墨烯生产系统

本发明公开了一种石墨烯剥离装置及石墨烯生产系统,所述石墨烯剥离装置包括第一容器、第二容器以及第一管路。通过在第一容器中设置剥离组件,剥离组件包括多个粘结板组,每个粘结板组包括可按预设频率分离和贴合的第一粘结板和第二粘结板,将石墨材料和粘性液体的混合物置于第一粘结板和第二粘结板之间,利用第一粘结板与第二粘结板在分离与贴合之间的切换代替手工胶带剥离石墨烯,大幅提高剥离效率,实现工业化生产。同时,本申请的剥离组件在原理上属于微机械剥离方式,不会对产物石墨烯表面造成缺陷,得到物料属于真正的石墨物料,同时粘性液体和有机试剂均可以回收反复利用,高效环保,成本剂低,易于工业化生产。

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石墨烯剥离装置 石墨烯生产系统 石墨烯
北京 - 北京 来源:中国铝业股份有限公司 2023-11-29
正极材料前驱体、正极材料及其制备方法、应用

.本发明涉及一种正极材料前驱体、正极材料及其制备方法、应用。背景技术.电池在人们的日常生活和工作以及工业生产中的应用越来越广泛,如日常用的电子产品,交通出行的低速电动车和电动汽车,储能用的电池装置,等等。电池的电极材料的生产往往要首先制造前驱体,其作用是实现金属离子微观尺度上的均匀混合,并同时形成大小以及形貌符合要求的纳米或微米级颗粒,便于后续的材料的烧制以及电极的制作,把材料的本征电化学容量发挥出来。目前电动汽车中广泛使用的三元锂电正极材料就是用这样的生产工艺制造的。钠离子电池以其高安全性

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正极材料 正极材料前驱体
北京 - 北京 来源:北京化工大学 2023-11-08
撬装式加氢站的制作方法

.本申请涉及加氢设备领域,尤其是涉及一种撬装式加氢站。背景技术.加氢站主要分为撬装式加氢站固定开放式加氢站。撬装式加氢站是将氢气增压设备、加氢机、管路系统、电气系统、仪控系统以及安全附件全部或者部分集成于一个撬装式箱体中。撬装式加氢站具有设备紧凑、占地较小、现场施工周期短的优点,但是由于撬装式加氢站的质量较大,在装车时,需要使用吊车来进行协助,较为不便。.公开号为cnu的中国专利公开了种气驱泵撬装加氢设备,其特征是,包括撬装式箱体和自前向后依次安装于撬装式箱体中的加氢机、

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撬装式加氢站 加氢站
北京 - 北京 来源:北京三盈联合石油技术有限公司 2023-11-07
活塞式氢气压缩机的制作方法

.本发明涉及氢气制备技术领域,具体来说,涉及一种活塞式氢气压缩机。背景技术.氢气压缩机是将水电解槽中收集来的氢气排到舷外的压缩机,工作压力范围大,选用不同型号的泵可获得不同的压力区域,调节输入气压相应得到调整。大多氢气压缩机是往复活塞式,因此必须安装密封结构以防止氢气大量泄漏。而现有技术中,氢气压缩机普遍存在缸内氢气和液压油隔离不严、氢气泄漏的风险。氢气压缩机的氢气腔吸气口和排气口处的单向阀在高压高频次冲击使用条件下易出现寿命不长、密封不严、甚至是金属屑掉落的情况,从而影响压缩机正常工作。发

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氢气压缩机 氢气制备
北京 - 北京 来源:北京海德利森科技有限公司 2023-11-07
铁塔基站新能源储能远传电源系统的制作方法

.本发明涉及基站供电技术领域,尤其涉及一种铁塔基站新能源储能远传电源系统。背景技术.目前,铁塔基站电源系统主要用acdc整流器将电网电力变换为移动通信设备需要的dcv直流电源系统,原来主要采用铅酸电池作为后备电源,提供小时无线通信设备以及小时有线通信设备的供电能力,随着电池产业发展,铁塔基站已经停止采购铅酸电池,改用新型的锂离子电池作为后备电源。.在使用多组铅酸电池的电源系统设计中,用无源合路器实现预先配组的性能参数相近的电池组之间的并联过程,然后各个电池组并联使用,在充放电使用

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新能源储能 储能
北京 - 北京 来源:北京杉杉凯励新能源科技有限公司 2023-11-07
固体氧化物燃料电池发电系统

.本申请属于发电设备技术领域,尤其涉及一种固体氧化物燃料电池发电系统。背景技术.在目前的市场环境下,对能源清洁程度的要求越来越高,除了继续开发新的清洁能源之外,如何对化石燃料进行利用,降低其使用过程中的污染也是发电领域中的重要发展方向。.而在对化石燃料进行清洁的利用,并得到电能,在发电领域中已经存在较久的应用历史,如柴油-固体氧化物燃料(sofc)电池发电系统。通过利用化石燃料重整后生成燃料气供给sofc电堆发电,以提高利用效率及使用时清洁程度。但是一般情况下,该系统启动较慢,且电堆所产生

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固体氧化物燃料电池 燃料电池
北京 - 北京 来源:清华大学 2023-11-06
正极材料及其制备方法和钠离子电池与流程

.本发明涉及钠离子电池正极材料领域,具体涉及正极材料及其制备方法和钠离子电池。背景技术.大规模储能的蓬勃发展,对新型储能体系在低成本方面提出了更高的需求。因此,钠离子电池因钠资源丰富且成本较低等优势受到人们的广泛关注。并且由于锂和钠的化学性质相似,钠离子电池也显示出与锂离子电池相似的工作原理,在技术开发方面,可以很大程度上借鉴锂离子电池的成熟经验。因此,钠离子电池非常有希望成为锂离子电池未来的替代型储能体系。.钠离子电池中正极材料是非常重要的关键材料,目前主要包括金属氧化物、聚阴离子型化合

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正极材料 钠离子电池
北京 - 北京 来源:北京当升材料科技股份有限公司 2023-11-03
具有自增湿功能的燃料电池的制作方法

.本发明涉及燃料电池技术领域,特别涉及一种具有自增湿功能的燃料电池。背景技术.质子交换膜燃料电池具有洁净、噪音小、操作温度低、电流密度大、能量转化效率高等优点。小功率的这种燃料电池可以用作电动自行车、电动滑板车、电动割草机、电动摩托车、电动轮椅车、电动工具等的动力电源。这种燃料电池系统除了燃料电池堆之外,还需要燃料和氧化剂的供给系统、电子智能控制等辅助系统。其燃料氢的供给一般都有一个可通过调节水温来调节氢气湿度的对氢增湿系统,电池堆则有一个用水或其他液体对电池堆进行温度控制的液体冷却系统。膜

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燃料电池 质子交换膜燃料电池
北京 - 北京 来源:北京格睿能源科技有限公司 2023-11-02
新型氢氧燃料电池产物水循环利用系统的制作方法

.本实用新型属于宇航应用燃料电池领域,涉及一种新型氢氧燃料电池产物水循环利用系统。背景技术.质子交换膜燃料电池是将化学能转化为电能的发电装置,具有高比能量、比功率、无污染、无噪声等优点,反应原料来源丰富,可广泛应用于汽车、无人机、航天器、潜艇、便携式移动设备等。.燃料电池发电系统产物水在电堆阴极生成,因此电堆阴极流道内的介质主要以气液两相流存在,液态水如果不及时排出会积累在流道内阻碍气体发生反应,从而降低电堆输出性能,因此需要将生成水及时排出流道并且回收利用。商业燃料电池通常采用压缩空气或

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氢氧燃料电池 燃料电池
北京 - 北京 来源:北京卫星制造厂有限公司 2023-10-31
三元前驱体材料、三元正极材料及其制备方法和锂离子电池与流程

.本发明涉及锂离子电池领域,具体涉及三元前驱体材料及其制备方法,三元正极材料及其制备方法,以及该三元前驱体材料和三元正极材料在锂离子电池中的应用。背景技术.锂离子电池作为重要的电源系统,广泛地应用于计算机、通讯工具和电子工具等c产品,ev、phev等电动汽车领域以及能源储存系统。锂离子电池低成本、高功率的关键因素在于正极材料,三元材料是锂电池正极材料的一种,由于具有安全性好、克比容量高、价格低等优势,成为未来锂电池行业发展方向之一。.三元正极材料大多是通过高温固相反应,由三元前驱体与锂源

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三元前驱体材料 三元正极材料
北京 - 北京 来源:北京当升材料科技股份有限公司 2023-10-31
新能源汽车动力电池模组装配用双组份结构胶供料系统的制作方法

.本实用新型涉及的是一种新能源汽车电池公交系统,具体涉及一种新能源汽车动力电池模组装配用双组份结构胶供料系统。背景技术.现有的汽车制造基地主机厂涂装车间车身涂胶供胶系统主要有以下特点:密封胶(pvc材质)粘度高,对设备没有防爆要求,流量要求大(在固定的生产节拍下,体现的就是涂胶出口多)。因为材料粘度高,在既定的输送管道和距离条件下,要求供胶泵输出压力高,一般选择压缩比比较大的气动柱塞泵,典型的有:高压柱塞泵,当压缩空气压力为bar时,可输出bar的胶体压力(*=),

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新能源汽车 新能源汽车动力电池
北京 - 北京 来源:北京瑞科恒业喷涂技术有限公司 2023-10-31
液流电池管路系统的制作方法

本发明涉及铁铬液流电池管路布置技术领域,具体地,涉及一种液流电池管路系统。背景技术液流电池是一种能够存储大量电化学能的储能装置,目前,技术较为成熟的液流电池主要有全钒液流电池、锌溴液流电池以及液流电池,虽然液流电池的基本原理相近,但是不同类型的液流电池的管路系统功能和设计却各有不同。相关技术中的液流电池的管路系统设计存在以下问题:1)各电池堆采用串行设计,依次流入各电池堆的电解液荷电状态不一致,使得逻辑复杂、设计难度大,且需要在正负极各布置两个电解液储罐;2)流入各电池堆的电解液流量均采用调节阀

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液流电池 铁铬液流电池
北京 - 北京 来源:北京和瑞储能科技有限公司 2023-10-31
特斯拉电动汽车电池管理及电机控制互联检测装置、方法与流程

.本发明涉及车辆教学设备技术领域,具体为一种特斯拉电动汽车电池管理及电机控制互联检测装置、方法。背景技术.随着能源危机和环保问题日益突出,汽车工业面临着严峻的挑战。一方面,燃油汽车对石油的消耗日益增加,汽车用油占整个石油消费量的比例超过了/,甚至达到了/;同时,汽车尾气排放量占大气污染源的%,导致环境污染问题日益严重,为应对上述问题,新能源汽车无疑将成为未来汽车的发展方向。.近日,有权威装置发布了年全球纯电动汽车销量数据,特斯拉拔得头筹,另外据乘联会的统计数据显示,去年

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特斯拉电动汽车 电池管理
北京 - 北京 来源:北京智扬北方国际教育科技有限公司 2023-10-30
钛型锂离子筛及其制备方法与流程

本发明属于盐湖提锂的吸附剂技术领域,涉及一种钛型锂离子筛及其制备方法。背景技术锂是重要的化工资源,锂及其化合物广泛应用于冶金、医药、玻璃陶瓷、电池、航空、航天等各个领域,被誉为“21世纪能源金属”。随着电动汽车的快速发展,锂资源的需求量逐年增大,盐湖卤水提锂已是锂资源开发的必然趋势。目前的盐湖提锂技术主要分为沉淀法、萃取法、煅烧法、膜分离法以及离子交换吸附法。其中,离子交换吸附法是一种通过锂离子筛吸附从盐湖中提锂的方法,常见的锂离子筛有铝盐吸附剂、锰型锂离子筛和钛型锂离子筛。铝盐吸附剂的吸附量较

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钛型锂离子筛 盐湖提锂
北京 - 北京 来源:北京泰丰先行新能源科技有限公司;北大先行科技产业有限公司 2023-10-27
半导体芯片高低温测试装置的制作方法

.本实用新型涉及一种半导体芯片高低温测试装置,用于对半导体芯片在高低温下进行测试,实现半导体芯片在高低温下的筛选。背景技术.目前,半导体芯片在工厂进行大规模高低温量产测试时,主要是将待测芯片放置在固定金属板的socket上进行加热或降温,当待测芯片达到预定温度后,通过机械手臂将待测芯片搬运到测试部进行测试,该测试方法的弊端在于芯片在测试过程中由于没有持续对芯片进行加热和降温,导致测试过程中芯片的实际温度低于所要求的温度,造成测试结果存在偏差,特别是对测试时间较长的芯片偏差会更加明显。.工厂

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半导体芯片
北京 - 北京 来源:北京中电华大电子设计有限责任公司 2023-10-27
煤基石墨负极材料及其制备方法和应用与流程

.本发明涉及碳材料领域,具体涉及一种煤基石墨负极材料及其制备方法和应用。背景技术.锂离子电池负极主要是碳材料,包括无定形碳、天然石墨和人造石墨。石墨具有规则层状结构和优异导电性,其理论比容量为ma·h/g,效率高,是目前主流的负极材料。目前开发人造石墨的原料主要有三类:同性焦、沥青胶和针状焦。同性焦基人造石墨结晶度度低,各向同性度高,容量低,功率性高。针状焦基人造石墨容量高,倍率相对差些,沥青胶一般居于二者之间。.cna公开了一种煤基负极材料。该煤基负极材料是由煤基

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煤基石墨负极材料 石墨负极材料
北京 - 北京 来源:北京低碳清洁能源研究院 2023-10-26
立方相石榴石型固态电解质材料与复合固态电解质和固态锂电池及其制备方法与流程

.本发明涉及锂电池技术领域,具体涉及一种立方相石榴石型固态电解质材料与复合固态电解质和固态锂电池及其制备方法。背景技术.固态锂电池的正极、电解质和负极均由固态材料组成,其中固态电解质传导锂离子,但电子绝缘。固态电解质耐高温,不易燃,无腐蚀,不挥发,基本可以消除电池自燃的风险。固态电解质具有高的杨氏模量,能够抑制锂枝晶的形成,可以使用高比容量的金属锂为负极。除此之外,固态电解质具有更宽的电化学窗口,能够承受更高的氧化电位,匹配高比容量正极。因此,高安全性和高能量密度的固态锂电池极有希望解决新能

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固态电解质材料 固态锂电池
北京 - 北京 来源:北京当升材料科技股份有限公司 2023-10-25
改变半导体材料PN型的制备方法

一种改变半导体材料pn型的制备方法技术领域.本发明涉及半导体材料领域,尤其涉及一种通过改变制备参数可以改变材料的pn型制备方法。背景技术.p型半导体又称空穴型半导体,是以带正电的空穴导电为主的半导体。空穴相当于带正电的粒子,在这类半导体的导电中起主要作用。n型半导体也称为电子型半导体。即自由电子浓度远大于空穴浓度的杂质半导体。当p型半导体和n型半导体紧密接触时,就会产生pn结结构,这种结构会在接触面附近产生空间电荷区。根据这个特性,利用pn结可以制造多种功能的晶体二极管,并广泛应用与现代工业

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半导体材料 半导体材料pn型
北京 - 北京 来源:北京工业大学 2023-10-25
负极材料及其制备方法与应用与流程

.本发明涉及碳材料领域,具体涉及一种负极材料及其制备方法与应用。背景技术.锂离子电池负极主要是碳材料,包括无定形碳、天然石墨和人造石墨。石墨具有规则层状结构和优异导电性,其理论比容量为ma·h/g,效率高,是目前主流的负极材料,然而,在大电流充放电时,石墨负极的锂离子扩散较慢,倍率性能较差。目前应用最广泛的高功率负极材料主要有钛酸锂和无定形碳。钛酸锂能量密度低,成本高。无定形碳材料结构较为杂乱,锂离子的扩散速率快,具有高的倍率性能,但无定形碳的容量和首次效率偏低。.cn

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负极材料 碳材料
北京 - 北京 来源:北京低碳清洁能源研究院 2023-10-24
晶圆的调度方法、装置及半导体工艺设备与流程

.本申请属于半导体制造技术领域,具体涉及一种晶圆的调度方法、装置及半导体工艺设备。背景技术.现有的半导体立式工艺炉调度算法在装载(charge)阶段可以将前开式晶圆传送盒(frontopeningunifiedpod,foup)中的晶圆(wafer)传送到工艺腔室(pm)对应位置,但是在卸载(discharge)阶段只能将pm中的wafer传回到原来的foup中,不能满足新型键合晶圆(bondingwafer)工艺设备对传取晶圆的需求,无法满足对同一插槽(slot)位置的wafer,

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半导体制造技术 半导体工艺
北京 - 北京 来源:北京北方华创微电子装备有限公司 2023-10-20
静电卡盘的温度控制方法及半导体工艺设备与流程

.本申请属于半导体制造技术领域,具体涉及一种静电卡盘的温度控制方法及半导体工艺设备。背景技术.等离子体设备被广泛应用于半导体、太阳能电池、平板显示等制作工艺中。在集成电路制造工艺过程中,特别是刻蚀工艺中,对晶片表面温度实现精确控制是非常重要的。在刻蚀工艺过程中,通常需要满足不同工艺制程温度切换的需求,以及同一工艺中不同工艺步温度切换的需求。.相关技术中通常是采用冷冻机(chiller)参与静电卡盘(electricalstaticchuck,esc)变温控制。而当设定chiller温度

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半导体工艺 等离子体设备
北京 - 北京 来源:北京北方华创微电子装备有限公司 2023-10-20
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