浙江嘉兴有色金属环境保护技术理论与应用

抽屉式活性炭吸附箱 149     

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本实用新型公开了抽屉式活性炭吸附箱，涉及活性炭箱技术领域，包括安装框体，所述安装框体底部固定连接有下托板，所述安装框体顶部固定连接有回形板，所述回形板其中一端固定连接有卷帘盒，所述卷帘盒外壁贯穿嵌设有卷帘罩布，所述卷帘盒内连接有用于收卷卷帘罩布的收卷装置，所述卷帘罩布远离收卷装置一端固定连接有移动板。本实用新型通过安装框体、回形板、卷帘盒、卷帘罩布、移动板、收卷装置和磁吸装置之间的相互配合，利用磁吸装置可固定卷帘罩布位置，使得卷帘罩布可对活性炭进行遮挡，这样可有效隔离活性炭的外逸，同时也可有效减少安装框体移出后活性炭内有害气体的外逸，对环境和人体起到保护作用。

RCO催化燃烧的废气处理装置 1176     

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本实用新型公开了一种RCO催化燃烧的废气处理装置，包括干式过滤器、活性炭吸附床、催化燃烧室、进风风机、废气进气管、氧气进气管、排气管、脱附风机，废气进气管依次通过干式过滤器、活性炭吸附床和催化燃烧室，将废气进气管依次分成进气管一、进气管二和进气管三，进气管三穿过有保温室，排气管一端固定连接在催化燃烧室上，另一端设有阀门二，排气管设有排气管支管连接到保温室上，排气管支管上设有阀门一，进气管三在未穿过保温室之前设有进风风机一，进气管三在穿过保温室后固定连接后脱附风机。该装置解决了废气通过活性炭吸附床后温度难以控制的问题。

掺杂废弃混凝土块的混凝土加工系统 785     

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本发明涉及混凝土加工领域，具体是涉及一种掺杂废弃混凝土块的混凝土加工系统，包括有彼此连通并且顺序排列的废料清洗机、破碎机、钢筋混凝土分离机、拌料机、第一干混机、第二干混机、混凝土搅拌机；钢筋混凝土分离机包括有第二壳体，第二壳体的顶端设置有进料口，第二壳体的底端设置有第一出料口和第二出料口，进料口和第一出料口位于第二壳体的同一侧，第二壳体内部安装有转子，转子的外圆周面设置有多个轴向贯穿转子的凹槽，转子内部安装有磁力发生器，磁力发生器用于使转子朝向第一出料口的一侧具有磁力；本系统可以自动清洗、破碎混凝土粗块，然后分离出钢筋后对混凝土细块进行进一步加工使其成为混凝土成品。

混凝土桩生产设备 515     

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本发明涉及混凝土桩生产设备领域，具体的说是一种混凝土桩生产设备，包括主体、移动机构、定量机构、递料机构、翻转机构和振动机构；通过定量机构的设置能够往递料机构的内部释放适量材料，避免释放过多造成的浪费，提高了设备的使用效果，通过递料机构的设置能够将材料递送到翻转机构的模具部件内部，且能够对残留的材料进行主动回收，避免了残留的材料影响零部件的通过性，通过振动机构的设置能够对翻转机构内部填充的材料振动压实，提高产品的质量以及成型效率，通过翻转机构的设置能够将制作好的混凝土桩倒扣到方便搬运的位置，避免了人力参与翻转，节省了劳动力，通过移动机构的设置能够在产品脱模后挪出方便搬运产品的空间。

混凝土搅拌车快速装料系统 262     

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本发明公开了一种混凝土搅拌车快速装料系统，涉及混凝土运输技术领域。技术方案为一种混凝土搅拌车快速装料系统，包括混凝土搅拌车和向所述混凝土搅拌车的搅拌筒内输送混凝土的配料机构，所述搅拌筒上设置有开孔，并在所述开孔处对应安装有用于启闭所述开孔的启闭盖，所述配料机构通过所述开孔向搅拌筒内输送混凝土，所述混凝土搅拌车的一侧设置有用于快速启闭所述启闭盖的快开盖机构。本申请结构合理，大大减少了混凝土的装料时间，提高了混凝土公司向工地供应混凝土的效率。

焚烧炉内炉排片顶部易拆装支架 895     

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一种焚烧炉内炉排片顶部易拆装支架，包括焚烧炉基座、连接于焚烧炉基座上的若干个第一炉排片和用于固定炉排片的炉排梁，所述第一炉排片呈梯形状排列，位于最顶端的第一炉排片上设有第二炉排片，所述第二炉排片的形状大小与第一炉排片相适配，第二炉排片与第一炉排片呈梯形状排列，所述第二炉排片上设有隔热板，所述隔热板上设有固定托架，所述固定托架由耐火材料包裹。

高效过滤净化用尾气治理装置 289     

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本实用新型公开了一种高效过滤净化用尾气治理装置，包括箱体和连接管，所述箱体顶部的中心处固定安装有电机一，所述箱体内腔的顶部通过密封轴承活动安装有旋转筒，所述旋转筒的表面通过密封轴承活动连接有漏斗。本实用新型通过进气管一、电机一、旋转筒、出料管、风机、水泵、储水箱、搅拌组件、传输管、液位传感器、时间控制器、蜂鸣器、出水管和出气管二，解决了现有的尾气治理装置净化方式单一，不具备同时将尾气进行离心分离以及净化沉降的功能，使得尾气净化的不够彻底，导致尾气中还会存在有害气体被直接排入空气中，造成环境污染，当液位过高或者需要对液体进行更换时，无法提示使用者进行判断，降低了治理装置的实用性。

锌铝合金压铸零件研磨筛选烘干一体生产线 622     

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本发明公开一种锌铝合金压铸零件研磨筛选烘干一体生产线，包括彼此连接的振动研磨设备，筛选分料设备，工件输送翻转设备，烘干设备以及磨料回收输送设备，其中振动研磨设备的出口端连接于筛选分料设备，磨料回收输送设备连接于筛选分料设备的磨料出口端和振动研磨设备的进料端，筛选分料设备的产品出口端连接工件输送翻转设备的入料端，工件输送翻转设备的出料端连接烘干设备，从而使得磨料和工件在振动研磨设备内研磨振动，磨料和工件在筛选分料设备内进行分离，可循环再利用的磨料通过磨料回收输送设备回收至振动研磨设备内，研磨完成的工件通过工件输送翻转设备翻转输送至烘干设备被烘干，最终得到研磨完毕的压铸零件。

具备废气处理的环保垃圾焚烧炉 1041     

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本实用新型公开了一种具备废气处理的环保垃圾焚烧炉,包括固定底板，所述固定底板的左侧设置有焚烧炉本体，所述固定底板顶部的左侧固定连接有水泵，所述固定底板的顶部固定连接有净水箱，所述净水箱的顶部固定连接有抽风机，所述净水箱的右侧固定连接有废气处理箱。本实用新型通过设置排气管、抽气管和抽风机，可将废气导入废气处理箱，可对通过液体的废气进行过滤处理，通过设置加料口、电机、传动杆和搅拌杆，可充分混合药剂对废气进行化学反应处理，有效提升了装置处理废气的能力，通过设置净水箱、水泵、排水管和环形水管，可对腔内没有吸附干净的废气进行二次处理，有效提升了装置对废气转化的效率。

具有废气过滤结构的污泥焚烧炉 433     

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本实用新型公开了一种具有废气过滤结构的污泥焚烧炉，包括炉体和导料板，所述炉体的一侧外壁连通有热风炉燃烧器，且炉体的内部下端设置有炉排，炉排的顶部外壁设置有导料板，所述炉体的正面两侧设置有清灰门，所述炉排的末端底部连通有出渣机，且出渣机的下端连接有输送带，所述炉体的内侧中部设置有热风炉。该具有废气过滤结构的污泥焚烧炉设置有，混凝土浇筑层和保温层之间相互贴合，整个炉体外壁采用钢混结构，整体钢筋承受拉力，混凝土承受压力，具有坚固、耐久、防火性能好和抗震性能强的特点，同时其内壁采用保温层作为内部保温，能够降低炉体内的温度流失速度，保证污泥能够更加迅速。

焚烧炉加工用具有防堵结构的出渣装置 463     

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本实用新型公开了一种焚烧炉加工用具有防堵结构的出渣装置，包括炉本体和内撑架，所述炉本体的上端设置有导料口，且炉本体的内部下端设置有内收聚渣口，所述内收聚渣口的下端设置有出料口，且内收聚渣口的四周设置有斜撑架，所述内撑架设置于斜撑架的上端，且内撑架的四周设置有伞形引导板，所述伞形引导板的外侧设置由曲线缓流板，所述炉本体的外侧设置有横架。该焚烧炉加工用出渣装置设置有横架，横架上端的第一震动机和第二震动机呈水平状分布，横架主要起到对第一震动机和第二震动机进行固定的作用，由于炉本体在对焚烧渣进行导出时其内部容易发生堵塞的现象，因此第一震动机的作用在于配合第二震动机。

聚氨酯树脂生产设备的废气回收装置 1041     

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本实用新型涉及一种聚氨酯树脂生产设备的废气回收装置，包括依次设置的预处理系统、催化氧化系统、后处理系统和排放系统，废气通过第一进气风机引入预处理系统；预处理系统包括若干并联或串联的吸附塔装置，催化氧化系统包括RTO焚烧炉，后处理系统包括碱液吸收塔，排放系统包括烟囱；吸附塔装置和RTO焚烧炉之间依次设置有除雾塔、第一引风机和空气过滤器，碱液吸收塔和烟囱之间设置有出气风机，上述第一进气风机、吸附塔装置、除雾塔、第一引风机、空气过滤器、RTO焚烧炉、碱液吸收塔、出气风机和烟囱通过管道依次连接。本实用新型具有废气处理效果好、效率高等有益效果。

污泥的给料后混系统 1019     

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本实用新型公开了一种污泥的给料后混系统，包括湿污泥储仓，所述湿污泥储仓至少设置有两处出口，其中一个出口通过第一湿污泥输送泵及管道与焚烧炉连通，另外一个出口通过第二湿污泥输送泵及管道与污泥干化装置连通；所述污泥干化装置的出口处通过管道与干污泥给料器连通，所述干污泥给料器的出口处通过管道与喷射泵连通，所述喷射泵的出口处通过管道与所述焚烧炉连通；在所述喷射泵的进风口处设置有风机。本实用新型密闭性好且处在负压工况下，使得输送过程中的扬尘和臭气不会散发到周围环境中。避免了直接干化至目标含水率，或在焚烧炉前进行混合，即避免了输送处在粘滞区的污泥。输送更稳定，设备不易堵塞，保证了系统能够长期稳定运行。

水性涂料生产废气处理设备 775     

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本实用新型提供了水性涂料生产废气处理设备，包括主体机构，其包括：底板，设置于所述底板顶部两侧的工作箱，设置于所述工作箱一侧的进风网，设置于所述工作箱内部一侧的进风室，设置于所述进风室一侧的第一净化组件，设置于所述工作箱内部的固定杆，设置于所述固定杆一端的第一吸风扇，设置于所述工作箱内部的紫外线灯管；本实用新型在进行使用时，工作箱内部的第一吸风扇将外部空气通过进风网吸入进风室内部，空气通过固定板一侧的第一活性炭层，除甲醛滤网、除臭滤层和第二活性炭层进行废气净化，当其使用寿命到达预期后，通过把手将其从工作箱内部取出后进行更换，同时减速电机带动工作箱进行转动，对工作区域进行多方位的废气净化处理。

石化废气焚烧炉布袋除尘器 994     

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本实用新型公开了一种石化废气焚烧炉布袋除尘器，涉及石化废气焚烧炉布袋除尘器技术领域，包括箱体和清理单元；箱体内部下侧沿左右方向开设有半圆形长槽，所述箱体的内侧上端设置有支撑板，所述支撑板的上侧均匀开设有不少于九个的圆孔，每个圆孔的内侧分别沿上下方向卡接有一个过滤袋，所述箱体的内部上侧均匀设置有与每个过滤袋的上侧对应的空气喷嘴，所述箱体的右侧下端设置有进气管，通过动力组件带动两个滑块在对应的滑槽的内侧沿左右方向同步滑动，通过两个滑块的滑动带动两个支撑杆沿左右方向同步滑动，从而带动对应的毛刷将石化废气焚烧炉用布袋除尘器的箱体内部前后两侧壁上堆积的灰尘扫落到箱体内部下侧的作用。

LED-MOCVD制程废气全温程变压吸附提氢再利用的方法 916     

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本发明公开了一种LED?MOCVD制程全温程变压吸附提氢再利用的方法，通过预处理、精脱氨、脱氧、变压吸附提氢、深度脱水、氢气纯化工序，将来自LED?MOCVD制程的含氨的废氢气，提纯至符合LED?MOCVD制程所需的电子级氢气(纯度大于等于99.99999％v/v)标准，实现废气的资源再利用，其中，氢气收率大于等于75～86％。本发明解决了LED?MOCVD制程常压或低压废氢气回收无法返回到LED?MOCVD制程中加以使用的技术难题，为LED产业绿色与循环经济发展填补了空白。

金属粉末回收用的除尘装置 364     

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本实用新型涉及除尘装置技术领域，更具体地说，它涉及一种金属粉末回收用的除尘装置，包括分离箱、分离箱上方的进料口、鼓风机、回收箱及集尘箱，进料口下方设有分离室，分离室由两块隔板组成，分离室与分离箱间为抽拉式连接，分离室内设有搅拌结构，搅拌结构包括连接杆和搅拌杆，搅拌结构连接分离箱外部的电机，分离箱一侧通过风管与鼓风机相连，另一侧与集尘箱相连，集尘箱为底部开口结构，开口处安装有第一过滤网，第一过滤网下方安装有收集箱，回收箱置于分离箱下方，回收箱与分离箱之间采用连接管连接，连接管与分离箱相连处安装有第二过滤网，本实用新型可以有效地对金属粉末除尘，从而对金属粉末进行二次利用，避免原料的浪费。

集装箱式废水处理物化段 434     

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一种集装箱式废水处理物化段，为一箱体结构，包括依次分隔设置的加药间、混合间、固液分离间及气浮间；加药间内靠近混合间的一侧依次连通设置有碱反应槽、混凝反应槽、絮凝反应槽；混合间内设置有混合池；固液分离间内设置有压滤机；气浮间内设置有气浮池，气浮池内设置有气浮一体机；液碱存放槽通过两个管道分别与碱反应槽及气浮池连通，PAC溶解槽通过两个管道分别与混凝反应槽及气浮池连通，PAM溶解槽通过两个管道分别与絮凝反应槽及气浮池连通。如此箱体结构设计，方便转移、输送，压滤机替代沉淀池实现固液分离，固液分离效果好且工作效率高。

一种生态建材配料搅拌站 997     

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本实用新型公开了一种生态建材配料搅拌站，包括第一料筒、底板、进料箱和第二料筒，所述底板顶部的一端通过支脚安装有进料箱，进料箱的内部安装有送料箱，所述进料箱一端底板的顶部通过支脚安装有第二料筒，所述第二料筒的内部安装有震动筛，所述第二料筒一侧底板的顶部通过支脚安装有第一料筒，所述第一料筒的内部安装有搅拌罐。本实用新型通过安装有第一料筒、底板、进料箱和第二料筒，料箱两侧均匀安装的机座内部的一侧均安装有第一风机，第一风机一侧的机座内部均安装有电热丝，便于通过第一风机将电热丝散发的热量吹入送料箱中，便于对湿沙进行烘干加热，避免传统烘干法生成废气对环境的危害，减少了能源的消耗。

一种高效铜萃取装置 740     

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本实用新型公开了一种高效铜萃取装置，属于危险固体废弃物处置技术领域，包括萃取箱，所述萃取箱分别包括萃取段、洗涤段和反萃段，所述萃取段表面分别导通连接有料液进口、有机进口、余液出口、三级水相进口和二级水相出口，所述萃取箱的萃取段导通连接有pH调节装置，所述pH调节装置分别包括溶液箱、搅拌混合装置、pH计和液碱加药装置，所述pH调节装置一侧通过澄清室导通连接混合室，所述洗涤段导通连接有洗涤水进口，所述反萃段分别导通连接有反萃出口和反萃进口。本实用新型设计新颖，结构简单，便于操作，延长使用寿命，同时增加酸度调节控制装置，提高萃取效率，增加装格栅板，增加分相时间，从而提高铜的回收率。

一种便于清洗的涤纶纺粘发泡装置 958     

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本实用新型公开了一种便于清洗的涤纶纺粘发泡装置，包括发泡仓，所述发泡仓上方固定安装电动推杆，所述电动推杆底端外侧焊接有固定腔，所述固定腔外侧设有清洁圈，所述清洁圈和固定腔之间固定连接导管，所述固定腔内部固定连接第一管接头和第二管接头，所述第一管接头设于第二管接头一侧，且第一管接头和第二管接头一端分别贯穿于导管内部，所述清洁圈内部设有气腔和水腔，且水腔设于气腔一侧，所述气腔另一侧表面开设有气孔。本实用新型具有更好的冷却降温效果，同时便于清洁，可减少内部管道排布占用的空间，清洗效果更好，可防止反应废气直接排放而造成环境污染，同时可提高反应速率，避免发生危险事故。

一种基于发动机排气系统用的冷端剪板 1093     

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本实用新型公开了一种基于发动机排气系统用的冷端剪板，包括主体、三角架和过滤箱，主体的表面开有连接孔，连接孔的内侧连接有连接管，主体的内部设置有垫块，垫块的顶部固定安装有小型电机，小型电机的一端连接有传动轴，传动轴的一端连接有转辊，转辊的外侧固定安装有三角架，过滤箱内部的两端均固定设置有分流箱，分流箱的一侧设置有若干层支板，支板的顶部均放置有若干铜块。本实用新型通过设置由氧化铜材料制作而成的铜块，可将汽车尾气中的一氧化碳与氧化铜发生反应，从而将一氧化碳处理使其不危害环境，通过设置小型电机可驱动三角架旋转并更换接收废气的过滤箱，从而达到循环使用的目的，增强本实用新型的实用性。

一种涂有ED涂层的灯具 1150     

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一种涂有ED涂层的灯具，包括连杆、连接座和灯座，连接座与灯座相连，且连接座套接于连杆上；所述连接座为中空结构，连接座中部形成与连杆相适配的通孔；所述连杆底部可拆卸式连接有套筒，套筒底部设有分叉结构，分叉结构与灯座相连；所述连杆、套筒和分叉结构内部相连通；所述灯座底部设有装灯槽；与现有技术相比，通过在在电压差的作用下，涂料中带电的基团定向移动到工件表面并沉积，沉积好后经过烘烤让涂料中的成膜剂固化形成一层漆膜，从而在连杆、连接座、灯座、套筒和分叉结构上进行涂层，有机溶剂含量少于5％，没有喷涂工艺易燃著火的问题，对人体的危害及环境的污染减至最低，电泳涂层不含有毒及重金属离子，排放废水量可减到最少。

一种全自动铜线清洗机 746     

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本实用新型公开了一种全自动铜线清洗机，包括机身、进铜口和机盖，所述机身一侧设有进铜口，所述机身一侧活动连接机盖，所述机身一侧固定连接把手，所述进铜口一侧设有传送轮组，所述传送轮组一侧活动连接传送带，所述传送带上端一侧设有喷洒头，所述喷洒头一侧设有喷洗器阀门和喷洗瓶，本实用新型通过通过设有的滚轮和机身，方便快捷的移动笨重的整体机身，通过机身底部设有的水槽用于接水，避免了漏水现象的发生，导致内部装置因漏水导电所带来的危险，水槽下方设有的出水阀门可将机身内清洗完结后的废水排除干净。通过设有的紧急制动开关，遇到紧急情况可立马切断电源，达到安全目的，通过设有的传送带上的清洗毛毡材质，达到清洁度高的效果。

一种注塑件内应力检测仪 1070     

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本实用新型属于汽车检测设备技术领域，提供了一种注塑件内应力检测仪，包括主柜体，主柜体包括检测槽体和下柜体，检测槽体内四周内设置有喷淋水管，喷淋水管上接有喷淋泵，在下柜体内设置有冰醋酸放置桶，在冰醋酸放置桶贯通有吸水管，喷淋水管与吸水管相通，吸水管上设置有将冰醋酸打入检测槽体内的吸液喷淋泵，检测槽体的底部开设有排液口，在排液口上安装有废液排水管。本实用新型的优点在于能够实现冰醋酸的自动循环利用，同时自动喷淋水有效解决冰醋酸内应力检测试验中醋酸挥发导致的气味过重问题，能够有效的排除挥发醋酸所导致的异味，同时排除异味，减少对实验人员的危害，改善了试验人员的工作环境。

一种烟用卷烟纸及其制备方法 850     

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本发明提供了一种烟用卷烟纸及其制备方法，区别于传统的纯纸浆制作卷烟纸。本发明中的新型烟用卷烟纸中添加有天然中草药甘草和烟杆，能够赋予卷烟纸产品独特的香气特征，与传统卷烟纸相比具有香气丰富性好、杂气轻、口感好等优点。在卷烟中应用后能够丰富卷烟香气韵调，满足卷烟产品的特色化需求。甘草的加入能够抑制卷烟烟气中焦油的产生，降低卷烟烟气中的自由基。在满足人们吸烟嗜好的同时减少对健康的危害，减缓烟气对呼吸系统的不良影响，具有一定的平喘、止咳的作用。本发明方法中所用的甘草渣是加工企业提取某些成分后的甘草残渣，在解决中草药废料资源的利用问题的同时，还可以节约资源，降低卷烟生产成本。

多轴向夹芯复合毡 701     

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本实用新型所设计的一种多轴向夹芯复合毡,主要包括多轴向缝编毡和短切层,在多轴向缝编毡与短切层之间设置有无纺布,多轴向缝编毡、无纺布和短切层利用高弹涤纶丝缝编复合。所述的多轴向夹芯复合毡,使用多层缝合技术,将多轴向缝编毡、无纺布和短切纱三层叠加,使用高弹涤纶丝缝编复合,无纺布提高了灌胶效率,外层设置短切层则使制品表面更加平整,此产品层结构分布均匀,不卷曲,具有整体质轻、力学性能佳,成型速度快、覆膜性好、可设计性强和制品表面均匀平整等特点。此发明解决传统产品采用方格布单位面积质量重,多层复合平整性差,手糊工艺劳动量大,树脂含量高,FRP板强度差,有害气体及废弃物排放对人体及环境的危害等难题。

一种硅胶冷粘工艺及采用该工艺制备的硅胶加热片 1088     

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本申请涉及硅胶热合加工技术领域，尤其是一种硅胶冷粘工艺及采用该工艺制备的硅胶加热片，一种硅胶冷粘工艺，其包括步骤1：采用涂胶机对加热膜的一表面刮涂硅胶；步骤2：采用冷裱机将熟橡胶复合于加热膜的涂覆硅胶一侧，压合温度：30℃±2℃，压力：1000N；步骤3：在加热膜的另一表面刮涂硅胶；步骤4：采用冷裱机将熟橡胶复合于加热膜的涂覆硅胶一侧，压合温度：30℃±2℃，压力：1000N，得目标产品。本工艺具有对环境无危害，无废气，环保节能，无毒无害且加工效率高的效果。一种硅胶加热片，包括作为芯层的加热膜层，加热膜层两面皆粘合有胶粘层；胶粘层粘合有硅胶层；胶粘层为电子液态硅胶或导热硅胶；具有使用安全性能好的效果。

无铬多金属鞣剂制备高档水貂裘革的工艺 713     

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本发明涉及水貂裘革加工工艺技术领域，具体涉及一种无铬多金属鞣剂制备高档水貂裘革的工艺，包括以下步骤：浸水→去肉→脱脂→浸酸软化→鞣制→水磨→复鞣→中和软化→加脂→干整理→成品；本发明为水貂裘革的加工工艺，最终得到的成品手感丰满、柔软，皮板颜色洁白，耐水洗耐黄变，特别适合制作高档本色和浅色水貂服装产品。该技术不使用常规铝鞣剂，鞣制后收缩温度能够达到90℃以上，同时有效提高皮张的耐水性；不含醛鞣剂，不会产生游离甲醛；不需要油鞣，在缩短生产周期的同时还能减少生产成本；不使用铬鞣剂，能避免含铬三废的污染，杜绝六价铬的危害。

一种太阳能电池硅片的清洗方法 1098     

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本发明公开了一种太阳能电池硅片的清洗方法，包括步骤：采用臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗，使硅片表面产生氧化层；采用氢氟酸溶液对硅片进行表面腐蚀处理；对硅片进行漂洗。本发明清洗方法先以臭氧水溶液对硅片进行浸泡清洗，能够有效地氧化硅片表面沾污的有机物污质，并氧化硅片表面形成氧化膜；然后通过氢氟酸溶液对硅片进行腐蚀清洗，去除表面的金属污质，并腐蚀掉表面的氧化膜，在腐蚀掉表面氧化膜的同时去除了表面污质，从而实现对硅片表面的清洗。本发明清洗方法中采用臭氧水溶液，臭氧水溶液与表面有机物污质反应产生CO2和H2O，对人体无危害性，且臭氧水溶液产生的废液对环境污染小，不需要进行特殊处理。