设备名称:HJT全自动半片卷纸印刷机;设备型号:SC-PT09L/RA;设备用途:把银浆通过压力印刷至电池片表面,经过烘干固化后成为太阳能电池正负极。
设备型号 Equipment Model:PAR5500A;设备用途 Equipment Application:板式物理镀膜设备用于镀着透明导电薄膜于衬底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
工艺气体在射频RF电磁场环境中电离相互反应,在衬底上沉积出相应的薄膜材料。
本设备为在线式,可与一台或两台侧出舟设备对接,实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸,满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后,将片篮中的硅片自动装载到石墨舟,并将石墨舟输送到PECVD设备中,或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备,并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。
设备名称:管式PE-Poly设备 Horizontal PECVD (Poly-Si);设备型号 Equipment Model:PD-520/PD-520L/PD-520MAX;设备用途 Equipment Application:TOPCon电池隧穿氧化层、i-Poly、D-poly沉积。技术特点 Features:隧穿氧化层、i-poly、D-poly三合一同管完成,减少工艺环节,有效提升良率、降低碎片率。
设备名称:管式PECVD设备 Horizontal PECVD;设备型号 Equipment Model:PD-520/PD-520L/PD-520MAX;设备用途 Equipment Application:SiN、SiON等薄膜沉积。Depositionof SiN, SiON ,etc.技术特点 Features:可靠电极接触,有效减少粉尘、降低高频报警频次。
集装片和卸片一体,可从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中,也可从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可在⼀个石英舟插槽中插⼊两片,实现单面扩散片工艺,也可在⼀个石英舟插槽中插入一片,实现双面扩散片工艺。采用装片与卸片可连续衔接⽅式,实现连续生产;也可单独装片或单独卸片。
设备名称:管式低压氧化退火设备;设备型号:DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX;设备用途:低压氧化、退火。技术特点 :1、大产能。High throughput.2、配套相关专利技术,可兼容或升级硼扩散工艺。
狭缝式叠层涂布设备搭配了自主生产研发的专用叠层涂布治具、高精度供液泵、高精密狭缝模头,涂布时可以将药液均匀有效满涂在基板上,形成高均匀性薄膜层。