NP-CMP化学机械抛光液制备设备主要用于CMP(化学机械抛光液)(包括基于氧化硅纳米颗粒的抛光液、氧化铈纳米颗粒的抛光液、碳化硅化学机械抛光液、氧化铝体系和硅溶胶体系的超精密加工类化学机械抛光液)的分散和各种微纳米材料、新能源材料、无机阻燃剂等的破碎、分散、分级、改性等。
NP-CMP化学机械抛光液制备设备经过测试的工艺路线,已经实现量产The tested process route has achieved mass production ;
智能控制,实时监测,完整数据存储,直观显示图、表Intelligent control, real-time monitoring, complete data storage, intuitive display of charts and tables;
转速可调,温度可控,超声波强度可调,可定时Rotating speed adjustable, Temperature controlled, Ultrasonic intensity adjustable, Timed ;
操作方便简洁,清洗容易 Easy and simple operation,easy to clean。
NP-CMP化学机械抛光液制备设备 参数:
Items实验型Experiment Type生产型Production Type
温度Temperature(℃)-30℃~80℃-20℃~80℃
分散方式Dispersion Type连续式continuous连续式continuous
材质Material quality玻璃、不锈钢、钛 glass or stainless steel不锈钢、钛stainless steel
规格Specification依容积depend on volume定制customized
流量Flow rate50~1000ml/min可定制customized
介质粘度media viscosity≤104cP≤104cP
搅拌转速agitation speed500~3000rpm依实际需求选择500~3000rpm依实际需求选择
剪切转速agitation speed1400~20000rpm依实际需求选择1400~12000rpm依实际需求选择
电源Power220V/50Hz220V/50Hz 、380V/50Hz
超声功率Ultrasonic power200~3000W定制customized
超声频率Ultrasonic Frequency20KHz、28KHz、40KHz、68KHz20KHz、28KHz、40KHz、68KHz
显示方式Display model数显、液晶触摸屏digital display,LCD touch screen 依据需要可选择液晶触摸屏LCD touch screen
温度、功率可调Temperature、power adjustment