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刀片高度测量装置及半导体加工的划片机

585   编辑:中冶有色网   来源:泰兴盈拓科技有限公司  
2025-01-06 15:08:09
权利要求 1.一种刀片高度测量装置,包括下安装板(1),其特征在于:所述下安装板(1)的上方设置有上安装板(2),所述下安装板(1)和上安装板(2)之间转动安装有转动环(3),所述上安装板(2)的上表面固定安装有上支撑架(4),所述转动环(3)的上端固定安装有切割刀(10),所述转动环(3)的底部设置有活动板(34),所述活动板(34)上设置有多个通槽(47),所述活动板(34)的上表面对于所述切割刀(10)的位置固定安装有红外距离传感器(40),所述活动板(34)的上表面对于所述切割刀(10)的两侧均设置有夹持组件,所述上支撑架(4)的下表面上对应所述夹持组件的位置也固定安装有红外距离传感器(40)。 2.根据权利要求1所述的一种刀片高度测量装置,其特征在于:所述夹持组件包括内螺纹杆(41),所述内螺纹杆(41)转动安装在所述活动板(34)上方且对应所述红外距离传感器(40)的两侧,所述内螺纹杆(41)的两端均螺纹连接有夹持板(42),同侧所述内螺纹杆(41)之间设置有内传动件(43),所述活动板(34)上转动安装有中间齿轮(46),所述活动板(34)上均转动安装有主齿轮(45),所述主齿轮(45)上均固定安装有限位齿轮(8),所述限位齿轮(8)套接有传动链(28),所述传动链(28)与所述中间齿轮(46)啮合,所述内传动件(43)的一侧转动安装有从齿轮(44),所述从齿轮(44)与所述主齿轮(45)啮合。 3.一种半导体加工的划片机,包括权利要求1-2任意一项所述的一种刀片高度测量装置,其特征在于:还包括主连接板(7)和侧固定板(25),所述下安装板(1)的下表面转动安装有螺纹件(37),所述螺纹件(37)内螺纹连接有下螺纹杆(16),所述下螺纹杆(16)的上端与所述活动板(34)固定连接,所述下安装板(1)的下表面转动安装有齿轮环(36),所述螺纹件(37)上固定安装有内齿轮(38),所述内齿轮(38)与所述齿轮环(36)的内齿牙啮合,所述下安装板(1)的下表面转动安装有驱动齿轮(39),所述驱动齿轮(39)与所述齿轮环(36)的外齿牙啮合,所述主连接板(7)和侧固定板(25)均固定安装在所述上支撑架(4)上,所述主连接板(7)和侧固定板(25)之间设置有卸料组件。 4.根据权利要求3所述的一种半导体加工
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