1.本实用新型涉及石英坩埚技术领域,具体为单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置。
背景技术:
2.石英砂是石英石经破碎加工而成的石英颗粒。石英石是一种非金属矿物质,一种坚硬、耐磨、化学性能稳定的硅酸盐矿物,从矿山开采出的石英石经加工后,经粉碎、筛选、水洗等工艺加工而成。外观呈多棱形、球状,纯白色,具有机械强度高、截污能力强、耐酸性能好等特点。
3.石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,在制作石英坩埚时,如果所使用的石英砂内混有杂质,会使得石英坩埚表面产生气泡,从而影响石英坩埚的质量,所以在使用前需要对石英砂进行过滤。
4.现有的过滤设备,在使用过程中过滤筛震动的幅度和频率过小,导致过滤效果不佳。
技术实现要素:
5.本实用新型的目的在于提供单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,包括支撑台,所述支撑台内壁设有凹槽,所述凹槽顶端设有壳体,所述壳体底端一侧通过转轴一与所述凹槽转动连接,所述壳体底端另一侧通过偏心块与所述凹槽活动连接,所述偏心块内壁套设有转轴二,所述壳体内壁设有过滤组件,所述壳体外壁于所述凹槽一侧设有动力组件,所述壳体内壁于所述过滤组件上方设有辅助机构,所述支撑台外壁设有缩口管,所述缩口管通过风琴管与所述壳体连接。
7.进一步的,所述过滤组件包括滑轨,所述滑轨对称设于所述壳体内壁,所述滑轨顶端活动设有过滤箱,所述过滤箱内壁设有过滤网,所述过滤箱外壁贯穿于所述壳体一侧活动设有挡板。
8.进一步的,所述过滤箱与所述滑轨相匹配,所述挡板顶端延伸至所述壳体外壁,所述挡板通过转轴三与所述壳体转动连接,所述过滤箱外壁于所述挡板下方设有拉手,便于抽拉过滤箱。
9.进一步的,所述转轴二与所述凹槽转动连接,所述动力组件包括电机一,所述电机一设于所述转轴二外壁延伸至所述壳体外侧一端,所述电机一底端通过安装块与所述壳体连接,对电机一进行支撑。
10.进一步的,所述辅助机构包括挂板,所述挂板对称设于所述壳体内壁,所述挂板通
过挂钩与所述壳体活
声明:
“单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)