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单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置的制作方法

369   编辑:中冶有色技术网   来源:无锡市尚领石英科技有限公司  
2023-10-30 13:56:34
单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置的制作方法

1.本实用新型涉及石英坩埚技术领域,具体为单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置。

背景技术:

2.石英砂是石英石经破碎加工而成的石英颗粒。石英石是一种非金属矿物质,一种坚硬、耐磨、化学性能稳定的硅酸盐矿物,从矿山开采出的石英石经加工后,经粉碎、筛选、水洗等工艺加工而成。外观呈多棱形、球状,纯白色,具有机械强度高、截污能力强、耐酸性能好等特点。

3.石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,在制作石英坩埚时,如果所使用的石英砂内混有杂质,会使得石英坩埚表面产生气泡,从而影响石英坩埚的质量,所以在使用前需要对石英砂进行过滤。

4.现有的过滤设备,在使用过程中过滤筛震动的幅度和频率过小,导致过滤效果不佳。

技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

6.为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,包括支撑台,所述支撑台内壁设有凹槽,所述凹槽顶端设有壳体,所述壳体底端一侧通过转轴一与所述凹槽转动连接,所述壳体底端另一侧通过偏心块与所述凹槽活动连接,所述偏心块内壁套设有转轴二,所述壳体内壁设有过滤组件,所述壳体外壁于所述凹槽一侧设有动力组件,所述壳体内壁于所述过滤组件上方设有辅助机构,所述支撑台外壁设有缩口管,所述缩口管通过风琴管与所述壳体连接。

7.进一步的,所述过滤组件包括滑轨,所述滑轨对称设于所述壳体内壁,所述滑轨顶端活动设有过滤箱,所述过滤箱内壁设有过滤网,所述过滤箱外壁贯穿于所述壳体一侧活动设有挡板。

8.进一步的,所述过滤箱与所述滑轨相匹配,所述挡板顶端延伸至所述壳体外壁,所述挡板通过转轴三与所述壳体转动连接,所述过滤箱外壁于所述挡板下方设有拉手,便于抽拉过滤箱。

9.进一步的,所述转轴二与所述凹槽转动连接,所述动力组件包括电机一,所述电机一设于所述转轴二外壁延伸至所述壳体外侧一端,所述电机一底端通过安装块与所述壳体连接,对电机一进行支撑。

10.进一步的,所述辅助机构包括挂板,所述挂板对称设于所述壳体内壁,所述挂板通

过挂钩与所述壳体活动连接,所述挂板外壁对称设有磁块,便于对磁块外壁吸附的杂质进行集中处理。

11.进一步的,所述壳体内壁于所述挂板之间设有转轴四,所述转轴四与所述壳体转动连接,所述转轴四外壁设有挡板,所述转轴四外壁延伸至所述壳体外侧一端设有电机二,使得物料均匀下落,避免堆积。

12.与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:

13.1、本实用新型通过设置凹槽、转轴一、转轴二、壳体、挂板、转轴四、挂钩、挡板和缩口管,可以使偏心块的三个角轮流与壳体底端接触,使得壳体围绕着转轴一上下反复转动,带动过滤箱上下反复移动,从而加强物料与过滤箱底端过滤网的接触面积,增强过滤箱的过滤效果。

14.2、本实用新型通过设置滑轨、过滤箱、挡板、过滤网和壳体,可以使挡板围绕着转轴三转动离开过滤箱,拉动拉手使得过滤箱底端沿着滑轨向外滑动,从而将过滤箱从壳体内取出,同时将过滤箱内部过滤下来的物质取出,进行集中收集。

附图说明

15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

16.图1是本实用新型整体的侧视剖面图;

17.图2是本实用新型中过滤箱的主视剖面图;

18.图3是本实用新型图1中a处的放大示意图;

19.图4是本实用新型整体的主视图;

20.图5是本实用新型中挂板的结构示意图;

21.图中:1、支撑台;2、凹槽;3、壳体;4、转轴一;5、偏心块;6、转轴二;7、过滤组件;8、辅助机构;9、缩口管;10、风琴管;11、滑轨;12、过滤箱;13、过滤网;14、挡板;15、拉手;16、动力组件;17、电机一;18、挂板;19、转轴四;20、挂钩;21、磁块;22、电机二。

具体实施方式

22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

23.请参阅图1-图5,本实用新型提供技术方案:单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,包括支撑台1,所述支撑台1内壁设有凹槽2,所述凹槽2顶端设有壳体3,所述壳体3底端一侧通过转轴一4与所述凹槽2转动连接,所述壳体3底端另一侧通过偏心块5与所述凹槽2活动连接,所述偏心块5内壁套设有转轴二6,所述壳体3内壁设有过滤组件7,所述壳体3外壁于所述凹槽2一侧设有动力组件16,所述转轴二6与所述凹槽2转动连接,所述动力组件16包括电机一17,所述电机一17设于所述转轴二6外壁延伸至所述壳体3外侧一端,所述电机一17底端通过安装块与所述壳体3连接,电机一17的输出轴带动转轴二6转动,对电机一17进行支撑,所述壳体3内壁于所述过滤组件7上方设有辅助机构8,所述辅助机构8包括挂板

18,所述壳体3内壁于所述挂板18之间设有转轴四19,所述转轴四19与所述壳体3转动连接,所述转轴四19外壁设有挡板14,所述转轴四19外壁延伸至所述壳体3外侧一端设有电机二22,电机二22的输出轴带动转轴四19旋转,从而带动挡板14围绕着转轴四19旋转,使得物料均匀下落,避免堆积,所述挂板18对称设于所述壳体3内壁,所述挂板18通过挂钩20与所述壳体3活动连接,所述挂板18外壁对称设有磁块21,向上抬起挂钩20,带动挂板18和磁块21远离壳体3,便于对磁块21外壁吸附的杂质进行集中处理,所述支撑台1外壁设有缩口管9,所述缩口管9通过风琴管10与所述壳体3连接。

24.具体实施方式为:使用时,电机一17的输出轴带动转轴二6转动,转轴二6带动与其固定连接的偏心块5转动,从而带动偏心块5的三个角轮流与壳体3底端接触,当偏心块5靠近转轴二6的一角与壳体3底端接触时,壳体3处于水平状态,当偏心块5远离转轴二6的边角与壳体3底端接触时,壳体3处于倾斜状态,反复运动,使得壳体3围绕着转轴一4上下反复转动,带动过滤箱12上下反复移动,从而加强物料与过滤箱12底端过滤网13的接触面积,增强过滤箱12的过滤效果,电机二22的输出轴带动转轴四19旋转,从而带动挡板14围绕着转轴四19旋转,将物料从壳体3顶端的入料口投入,依次落在挡板14上,然后分散下落,同时磁块21吸附物料中的金属杂质,避免物料堆积,促进物料均匀落入过滤箱12的进料口,物料到达过滤箱12内部,经过壳体3和过滤箱12同步、高频的晃动,使得符合标准的石英砂穿过过滤网13落入壳体3底面,在壳体3上下反复的晃动中,沿着底面滑入风琴管10,风琴管10随着壳体3的运动来回收起与张开,然后石英砂通过缩口管9集中排出,不符合标准的杂质无法通过过滤网13,留在过滤箱12内部,过滤完毕后,向上抬起挂钩20,带动挂板18和磁块21远离壳体3,便于对磁块21外壁吸附的杂质进行集中处理,清除完毕后,将挂板18和磁块21复位,挂稳挂钩20即可。

25.请参阅图1-图4,本实用新型提供技术方案:单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,所述过滤组件7包括滑轨11,所述滑轨11对称设于所述壳体3内壁,所述滑轨11顶端活动设有过滤箱12,所述过滤箱12与所述滑轨11相匹配,所述挡板14顶端延伸至所述壳体3外壁,所述挡板14通过转轴三与所述壳体3转动连接,所述过滤箱12外壁于所述挡板14下方设有拉手15,拨动挡板14,使得挡板14围绕着转轴三转动离开或靠近过滤箱12,拉动拉手15使得过滤箱12底端沿着滑轨11向内或向外滑动,便于抽取过滤箱12,所述过滤箱12内壁设有过滤网13,所述过滤箱12外壁贯穿于所述壳体3一侧活动设有挡板14。

26.具体实施方式为:使用时,完成过滤后,拨动挡板14,使得挡板14围绕着转轴三转动离开过滤箱12,拉动拉手15使得过滤箱12底端沿着滑轨11向外滑动,从而将过滤箱12从壳体3内取出,同时将过滤箱12内部过滤下来的物质取出,进行集中收集,将过滤箱12清洁后,对准取出口,向内推动过滤箱12,使得过滤箱12沿着滑轨11向内滑动复位,便于下次使用,反向拨动挡板14,使得挡板14围绕着转轴三转动到过滤箱12外壁,对过滤箱12进行固定,避免过滤箱12在使用中发生偏移。

27.本实用新型的工作原理:

28.参照说明书附图1-附图5,本实用新型通过设置凹槽2、转轴一4、转轴二6、壳体3、挂板18、转轴四19、挂钩20、挡板14和缩口管9,可以使偏心块5的三个角轮流与壳体3底端接触,使得壳体3围绕着转轴一4上下反复转动,带动过滤箱12上下反复移动,从而加强物料与过滤箱12底端过滤网13的接触面积,增强过滤箱12的过滤效果。

29.进一步的,参照说明书附图1-附图4,本实用新型通过设置滑轨11、过滤箱12、挡板14、过滤网13和壳体3,可以使挡板14围绕着转轴三转动离开过滤箱12,拉动拉手15使得过滤箱12底端沿着滑轨11向外滑动,从而将过滤箱12从壳体3内取出,同时将过滤箱12内部过滤下来的物质取出,进行集中收集。

30.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者机构不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者机构所固有的要素。

31.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。技术特征:

1.单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,包括支撑台(1),其特征在于:所述支撑台(1)内壁设有凹槽(2),所述凹槽(2)顶端设有壳体(3),所述壳体(3)底端一侧通过转轴一(4)与所述凹槽(2)转动连接,所述壳体(3)底端另一侧通过偏心块(5)与所述凹槽(2)活动连接,所述偏心块(5)内壁套设有转轴二(6),所述壳体(3)内壁设有过滤组件(7),所述壳体(3)外壁于所述凹槽(2)一侧设有动力组件(16),所述壳体(3)内壁于所述过滤组件(7)上方设有辅助机构(8),所述支撑台(1)外壁设有缩口管(9),所述缩口管(9)通过风琴管(10)与所述壳体(3)连接。2.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,其特征在于:所述过滤组件(7)包括滑轨(11),所述滑轨(11)对称设于所述壳体(3)内壁,所述滑轨(11)顶端活动设有过滤箱(12),所述过滤箱(12)内壁设有过滤网(13),所述过滤箱(12)外壁贯穿于所述壳体(3)一侧活动设有挡板(14)。3.根据权利要求2所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,其特征在于:所述过滤箱(12)与所述滑轨(11)相匹配,所述挡板(14)顶端延伸至所述壳体(3)外壁,所述挡板(14)通过转轴三与所述壳体(3)转动连接,所述过滤箱(12)外壁于所述挡板(14)下方设有拉手(15)。4.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,其特征在于:所述转轴二(6)与所述凹槽(2)转动连接,所述动力组件(16)包括电机一(17),所述电机一(17)设于所述转轴二(6)外壁延伸至所述壳体(3)外侧一端,所述电机一(17)底端通过安装块与所述壳体(3)连接。5.根据权利要求1所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,其特征在于:所述辅助机构(8)包括挂板(18),所述挂板(18)对称设于所述壳体(3)内壁,所述挂板(18)通过挂钩(20)与所述壳体(3)活动连接,所述挂板(18)外壁对称设有磁块(21)。6.根据权利要求5所述的单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,其特征在于:所述壳体(3)内壁于所述挂板(18)之间设有转轴四(19),所述转轴四(19)与所述壳体(3)转动连接,所述转轴四(19)外壁设有挡板(14),所述转轴四(19)外壁延伸至所述壳体(3)外侧一端设有电机二(22)。

技术总结

本实用新型公开了单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置,包括支撑台,支撑台内壁设有凹槽,凹槽顶端设有壳体,壳体底端一侧通过转轴一与凹槽转动连接,壳体底端另一侧通过偏心块与凹槽活动连接,偏心块内壁套设有转轴二,壳体内壁设有过滤组件,壳体外壁于凹槽一侧设有动力组件,壳体内壁于过滤组件上方设有辅助机构,支撑台外壁设有缩口管,缩口管通过风琴管与壳体连接。本实用新型通过设置凹槽、壳体、挂板、挂钩、挡板和缩口管,可以使偏心块的三个角轮流与壳体底端接触,使得壳体围绕着转轴一上下反复转动,带动过滤箱上下反复移动,从而加强物料与过滤箱底端过滤网的接触面积,增强过滤箱的过滤效果。增强过滤箱的过滤效果。增强过滤箱的过滤效果。

技术研发人员:张国忠 高文送 汪涵 朱海江 李国洪 朱燕亚

受保护的技术使用者:无锡市尚领石英科技有限公司

技术研发日:2021.12.09

技术公布日:2022/6/20
声明:
“单晶石英坩埚生产用可过滤气泡杂质装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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