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保护型结构硅氧复合与薄膜及其制备方法与应用

995   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:00:43
本发明提供了一种保护型结构硅氧复合薄膜及其制备方法与应用。所述保护型结构硅氧复合薄膜的制备方法包括的步骤有:将硅靶材在惰性气体与氧气的混合气氛下进行溅射处理,在基体上生长硅氧复合薄膜,再在已有硅氧复合薄膜的基板上,将保护层材料靶材在惰性气氛下进行溅射处理。本发明制备的硅氧复合薄膜的硅氧复合薄膜具有界面电阻小的特性,而且可以减少和阻止电解液与硅氧复合之间的不可逆副反应,减少固体电解质膜的产生,保持锂离子嵌入/脱出过程中的结构稳定性。所述薄膜保护层结构及制备方法工艺简单,效果显著,既提高了硅氧薄膜的库伦效率和容量发挥,又增加了薄膜在循环过程中的结构稳定性。
声明:
“保护型结构硅氧复合与薄膜及其制备方法与应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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