权利要求
1.一种连续式氮化
铝粉体制备及粒径分级装置，其特征在于，包括：
等离子炉，具有进料口、至少一个进气口和用于排出含粉气流的产物出口;
粒径分级装置，用于将来自所述产物出口的含粉气流中的粉体按粒径进行分离;所述粒径分级装置具有入口、第一出口和第二出口，其中，所述第一出口排出粒径偏出预设产品粒径区间的非产品粉体，所述第二出口排出含有处于所述预设产品粒径区间内的产品粉体的气流;
气固分离装置，具有入口、气相出口和固相出口;
储粉仓;
回料管路和气体循环回路;
气流驱动装置，设置在所述气体循环回路上;
所述等离子炉的产物出口与所述粒径分级装置的入口连通，所述粒径分级装置的第一出口通过所述回料管路与所述等离子炉的进料口连通，所述粒径分级装置的第二出口与所述气固分离装置的入口连通，所述气固分离装置的固相出口与所述储粉仓连通，所述气固分离装置的气相出口通过设有所述气流驱动装置的气体循环回路与所述等离子炉的至少一个进气口连通。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述粒径分级装置包括至少一级旋风分离器。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述粒径分级装置包括串联连通的第一旋风分离器和第二旋风分离器;
所述装置还包括第一气泵和第二气泵;所述等离子炉的产物出口通过所述第一气泵与所述第一旋风分离器的入口连通，所述第一旋风分离器的气相出口通过所述第二气泵与所述第二旋风分离器的入口连通;
所述第一旋风分离器的固相出口用于排出粒径大于所述预设产品粒径区间上限的粗粉，所述第二旋风分离器的固相出口用于排出粒径小于所述预设产品粒径区间下限的细粉，所述第一旋风分离器的固相出口和所述第二旋风分离器的固相出口构成所述第一出口，并通过所述回料管路与所述进料口连通;所述第二旋风分离器的气相出口构成所述第二出口。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气固分离装置为旋风分离器、布袋过滤器或静电
除尘器。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述等离子炉为常压等离子体炉。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述等离子炉的等离子体发生器为电感耦合等离子体发生器、直流电弧等离子体发生器或激光等离子体发生器。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，所述等离子炉的进气口数量为一个，工作气体为氮气;所述气体循环回路包括第三气泵，所述气固分离装置的气相出口通过所述第三气泵直接连接至所述等离子炉的进气口。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，所述等离子炉的进气口数量为两个，工作气体为氮气和氩气的混合气体;所述气体循环回路包括分子筛空分设备和第三气泵，所述气固分离装置的气相出口与所述分子筛空分设备的入口相连，所述分子筛空分设备的氩气出口与对应氩气的进气口相连，所述分子筛空分设备的氮气出口通过所述第三气泵与对应氮气的进气口相连。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述分子筛空分设备为变压吸附分子筛空分设备。
10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述回料管路上设置有锁气阀或定量给料器。
说明书
技术领域
[0001]本发明涉及氮化铝生产技术领域，尤其涉及一种连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置。
背景技术
[0002]随着电子技术持续向高集成度与高功率密度方向演进，电子元器件的热管理压力不断加大，对所用材料的导热性能提出了极高要求。氮化铝因兼具高热导率、优良的电绝缘性以及与半导体
芯片相近的热膨胀系数，在电子陶瓷基板、导热封装填料等高导热场景中已成为核心粉体材料，受到业界高度重视。目前，工业上批量制备氮化铝粉体的主流工艺主要包括碳热还原法、直接碳化法和自蔓延燃烧合成法，通过上述工艺得到的氮化铝粉体，粒径普遍分布于1～3微米，氧含量约为1%，杂质总量通常控制在2000ppm以下，能够较好地满足常规应用领域的基本指标。
[0003]在电子材料实际应用中，粉体的粒度分布对成型性能、填充密度和导热网络构建具有决定性影响。许多应用端对粉体粒径的上限和下限均给出了明确要求，过细的超细粉和过粗的大颗粒均不利于获得理想的微观结构。然而，无论采用前述传统合成路线还是其他制备方式，原生粉体的粒径分布一般较宽，往往同时包含显著低于和高于目标区间的颗粒，难以直接交付使用。为此，生产企业只能在粉体收集工序之后，额外专门设置独立的分级和筛分环节，将目标粒径范围以外的产物分离去除。这种做法不仅延长了整体工艺流程，增加了独立分级设备的固定资产投入，还因多次物料转移和处理而拉高了运行与维护成本。
[0004]在利用等离子体技术制备氮化铝粉体的有关现有装备中，相当一部分方案需要在明显低于一个标准大气压的真空条件下运行。这就要求在等离子体发生炉上额外配备抽真空系统，每次启动和停机均需进行抽气或破空操作，设备结构复杂，连续化作业的便捷程度受到明显限制，生产节拍和稳定运行均因此受到影响。同时，为了保障氮化铝粉体的纯度，生产过程须以高纯氮气或氩气等作为工作气氛和载运气流，在气体单次使用后直接排放或简单回收的开环、低循环气路组织方式下，高纯气体的消耗量极大，导致用气成本长期居高不下，资源浪费问题也十分突出。
[0005]综述，在等离子体技术制备氮化铝粉体的生产装备领域，如何使设备在常压等离子体工作条件下，通过连续生产的方式获得目标粒径产品同时降低用气成本，仍然是本领域待解决的技术问题。
发明内容
[0006]本发明所要解决的技术问题是如何使设备在常压等离子体工作条件下，通过连续生产的方式获得目标粒径产品同时降低用气成本。
[0007]为了解决上述问题，本发明提出以下技术方案：
一种连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置，包括：
等离子炉，具有进料口、至少一个进气口和用于排出含粉气流的产物出口;
粒径分级装置，用于将来自所述产物出口的含粉气流中的粉体按粒径进行分离;所述粒径分级装置具有入口、第一出口和第二出口，其中，所述第一出口排出粒径偏出预设产品粒径区间的非产品粉体，所述第二出口排出含有处于所述预设产品粒径区间内的产品粉体的气流;
气固分离装置，具有入口、气相出口和固相出口;
储粉仓;
回料管路和气体循环回路;
气流驱动装置，设置在所述气体循环回路上;
所述等离子炉的产物出口与所述粒径分级装置的入口连通，所述粒径分级装置的第一出口通过所述回料管路与所述等离子炉的进料口连通，所述粒径分级装置的第二出口与所述气固分离装置的入口连通，所述气固分离装置的固相出口与所述储粉仓连通，所述气固分离装置的气相出口通过设有所述气流驱动装置的气体循环回路与所述等离子炉的至少一个进气口连通。
[0008]进一步地，所述粒径分级装置包括至少一级旋风分离器。
[0009]进一步地，所述粒径分级装置包括串联连通的第一旋风分离器和第二旋风分离器;
所述装置还包括第一气泵和第二气泵;所述等离子炉的产物出口通过所述第一气泵与所述第一旋风分离器的入口连通，所述第一旋风分离器的气相出口通过所述第二气泵与所述第二旋风分离器的入口连通;
所述第一旋风分离器的固相出口用于排出粒径大于所述预设产品粒径区间上限的粗粉，所述第二旋风分离器的固相出口用于排出粒径小于所述预设产品粒径区间下限的细粉，所述第一旋风分离器的固相出口和所述第二旋风分离器的固相出口构成所述第一出口，并通过所述回料管路与所述进料口连通;所述第二旋风分离器的气相出口构成所述第二出口。
[0010]进一步地，所述气固分离装置为旋风分离器、布袋过滤器或静电除尘器。
[0011]进一步地，所述等离子炉为常压等离子体炉。
[0012]进一步地，所述等离子炉的等离子体发生器为电感耦合等离子体发生器、直流电弧等离子体发生器或激光等离子体发生器。
[0013]进一步地，所述等离子炉的进气口数量为一个，工作气体为氮气;所述气体循环回路包括第三气泵，所述气固分离装置的气相出口通过所述第三气泵直接连接至所述等离子炉的进气口。
[0014]进一步地，所述等离子炉的进气口数量为两个，工作气体为氮气和氩气的混合气体;所述气体循环回路包括分子筛空分设备和第三气泵，所述气固分离装置的气相出口与所述分子筛空分设备的入口相连，所述分子筛空分设备的氩气出口与对应氩气的进气口相连，所述分子筛空分设备的氮气出口通过所述第三气泵与对应氮气的进气口相连。
[0015]进一步地，所述分子筛空分设备为变压吸附分子筛空分设备。
[0016]进一步地，所述回料管路上设置有锁气阀或定量给料器。
[0017]与现有技术相比，本发明所能达到的技术效果包括：
本发明提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置，通过将等离子炉的产物出口与粒径分级装置相连，由粒径分级装置对含粉气流按粒径进行在线分离，使其第一出口排出的非产品粉体经回料管路送回等离子炉进料口、第二出口排出的含产品粉体气流导入气固分离装置，再由气固分离装置的固相出口将产品粉体收集至储粉仓，而其气相出口经由设于气体循环回路上的气流驱动装置导回等离子炉的至少一个进气口，构成工作气体的密闭循环。由此，该装置在粉体生成后直接完成目标粒径的在线提取与分级，使粒径偏离预设区间的粗粉和细粉原位返回反应区域重新参与形核与生长，从而免除了额外设置独立的分级筛分工序，简化了生产流程，减少了因多工序物料转移带来的设备投入和运行成本;与此同时，工作气体在密闭回路中循环复用，大幅减少了高纯气体的外排与补充量，有效降低了用气成本，并保持了等离子炉内反应气氛的纯度与稳定性。本发明提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置实现了氮化铝粉体在常压等离子体条件下的连续制备、原位粒度分级与气体循环利用的协同运行，在保证产品粒度分布可控的前提下提升了生产经济性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本发明实施例1提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置的结构示意图;
图2为本发明实施例2提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置的结构示意图;
图3为采用本发明实施例2装置处理前后的粉体粒径分布对比图;
图4为采用本发明实施例2装置处理前后的粉体累积粒径分布对比图。
[0020]附图标记
等离子炉1、粒径分级装置2、气固分离装置3、储粉仓4、回料管路5、气体循环回路6、进料口11、进气口12、第一旋风分离器21、第二旋风分离器22、第一气泵81、第二气泵82、第三气泵61、分子筛空分设备62。
具体实施方式
[0021]下面将结合本发明实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，附图中类似的组件标号代表类似的组件。显然，以下将描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0022]应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和 “包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0023]还应当理解，在本发明实施例说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的，并不意在限制本发明实施例。如在本发明实施例说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其他情况，否则单数形式的“一”“一个”及“该”意在包括复数形式。
[0024]实施例1
参见图1，其示出了本实施例提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置的结构示意图。本实施例提供的连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置，包括等离子炉1、粒径分级装置2、气固分离装置3、储粉仓4、回料管路5、气体循环回路6以及多个气流驱动装置。
[0025]等离子炉1作为反应炉体，为常压等离子体炉，具有进料口11、进气口12和产物出口。等离子炉1的等离子体发生器可以选用电感耦合等离子体发生器、直流电弧等离子体发生器或激光等离子体发生器中的任一种，以适应不同的功率需求和工艺条件。粒径分级装置2用于将含粉气流中的粉体按目标粒径进行分离，本实施方式中粒径分级装置2包括串联连通的第一旋风分离器21和第二旋风分离器22。装置还包括作为气流驱动装置的第一气泵81和第二气泵82。气固分离装置3用于将最终产品粉体从气流中收集下来，可选用旋风分离器或布袋过滤器等。储粉仓4用于储存目标粒径的成品粉体。
[0026]具体实施中，回料管路5上可设置锁气阀或定量给料器，用于防止气流逆向窜动。
[0027]进一步参见图1，等离子炉1的产物出口通过第一气泵81与第一旋风分离器21的入口连通，第一旋风分离器21的气相出口通过第二气泵82与第二旋风分离器22的入口连通。第一旋风分离器21的固相出口和第二旋风分离器22的固相出口经回料管路5汇合后，连接至等离子炉1的进料口11。第二旋风分离器22的气相出口与气固分离装置3的入口连通，气固分离装置3的固相出口与储粉仓4连通。气固分离装置3的气相出口则通过气体循环回路6，经作为气流驱动装置的第三气泵61连接回等离子炉1的进气口，构成工作气体的密闭循环通路。
[0028]本实施例中，装置运行时，高纯氮气(氧元素含量低于500ppm)作为唯一的工作气体，自进气口12进入等离子炉1。由于等离子炉1在常压下工作，无需抽真空设备，启动快，连续作业方便。铝原料由进料口11持续供入，在等离子体高温区气化同时氮气等离子化二者反应生成氮化铝粉体。生成的粉体被氮气气流携带，从产物出口排出。含粉气流在第一气泵81的驱动下首先进入第一旋风分离器21。第一旋风分离器21设计有较大的切割粒径，其内部形成的高速旋转气流使颗粒在离心力与气体曳力的作用下实现分离，颗粒粒径越大，离心力越大，越容易被甩向壁面并被捕集。因此，粒径大于预设目标粒径区间上限的粗粉在此级被分离出来，从其固相出口排出。剩余的含细粉气流自第一旋风分离器21的气相出口排出，经第二气泵82增压后进入第二旋风分离器22。第二旋风分离器22设计有较小的切割粒径，在更强的离心力场下，粒径小于预设目标粒径区间下限的细粉被分离出来，从其固相出口排出。两级旋风分离器串联配合，将偏出目标区间的粗粉和细粉依次去除。两非目标粉体经回料管路5返回等离子炉1的进料口11，重新进入反应高温区，再次经历气化、形核与冷却及凝固的长大过程，从而将原本需要废弃或另行处理的副产物转化为原料。
[0029]需要说明的是，经过两级分离后，第二旋风分离器22的气相出口排出的气流中，剩余粉体的粒径已落入预设目标产品粒径区间，即为目标产品粉体。该气流进入气固分离装置3，粉体被充分捕集并落入储粉仓4，得到成品。由于整个装置在常压下工作，而进气口输入的是高纯氮气，因此气固分离装置3的气相出口排出的气体仍为高纯氮气，这部分氮气由设置在气体循环回路6上的第三气泵61增压，直接送回等离子炉1的进气口重新作为工作气体使用。由此形成氮气的密闭循环，高纯氮气几乎不被外排，大幅减少了新鲜氮气的持续补充，显著降低了用气成本。同时，循环回路与外界的隔离有效维持了炉内反应气氛的高纯度与一致性，有利于保障产品质量的批次稳定性。
[0030]实施例2
参见图2，本实施例提供了另一种连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置。其与实施例1的主要区别在于工作气体组成和气体循环回路的具体配置。
[0031]本实施例中，工作气体采用氮气与氩气的混合气体。等离子炉1相应地设有两个进气口12，其中一个进气口12用于通入氩气，另一进气口12用于通入氮气。装置的气体循环回路6上设置有分子筛空分设备62和作为气流驱动装置的第三气泵61。
[0032]等离子炉1至气固分离装置3之间的设备构成与连接关系和实施例1相同，即等离子炉1的产物出口12依次经第一气泵81、第一旋风分离器21、第二气泵82、第二旋风分离器22连通至气固分离装置3的入口;第一旋风分离器21与第二旋风分离器22的固相出口经回料管路5汇合后连接至进料口11;气固分离装置3的固相出口接储粉仓4。区别在于气体循环回路6的连接方式：气固分离装置3的气相出口连接至分子筛空分设备62的入口。分子筛空分设备62的氩气出口与等离子炉1的对应氩气的进气口12直接连通，分子筛空分设备62的氮气出口通过第三气泵61与等离子炉1的对应氮气的进气口12连通。
[0033]运行时，氮气和氩气分别由两个进气口12进入等离子炉1，形成氮气-氩气混合等离子体工作气氛。氩气相较于氮气更容易电离，其加入可有效降低等离子体的起弧电压和维持电压，使等离子体电弧或放电状态更加稳定，有利于铝原料的平稳气化和氮化反应的均匀进行，对反应过程的工艺可控性具有积极作用。
[0034]本实施例中，粉体生成和两级粒径分级的过程与实施方式一一致，最终产品粉体由气固分离装置3捕集进入储粉仓4。从气固分离装置3的气相出口排出的气体为氮气与氩气的混合气体，该混合气体沿气体循环回路6进入分子筛空分设备62。由于两种气体直接混合、若不加分离地循环回炉，将导致进气比例逐渐失控，无法维持稳定的等离子体气氛和反应条件，而一次性排放则浪费大量高纯气体。分子筛空分设备62利用不同气体分子在分子筛微孔内吸附亲和力及扩散速率的差异，实现氩气与氮气的连续分离。具体实施中可选用变压吸附分子筛空分设备，通过周期性的加压吸附和减压脱附操作，可稳定地输出两股高纯气流。分离出的氩气从氩气出口直接导入对应氩气的进气口12，返回等离子炉1;分离出的氮气则由第三气泵61增压后，经对应氮气的进气口12送回等离子炉1。由此，氮气和氩气各自构成独立的密闭循环路径，两种气体均得到循环复用，既保证了混合等离子体气氛中气体配比的精确与稳定，又同时降低了氮气和氩气两种高纯气体的消耗，进一步提升了整体运行的经济性。
[0035]图3和图4给出了采用本实施例的装置进行在线分级前后的粉体粒径分布变化。
[0036]如图3所示，分级前从等离子炉1的产物出口排出的原始粉体，其粒径分布(蓝线)呈现较宽的分布范围，同时包含粒径粒径显著偏大的粗粉。这类宽分布的原始粉体若不经分级直接使用，难以满足电子陶瓷成型或导热填料填充等应用对粒度范围的严格要求。经第一旋风分离器21和第二旋风分离器22串联分级后，该产品粉体的粒径分布(红线)明显收窄，分布曲线集中在预设产品粒径区间内，表明粉体粒度的一致性和集中度得到大幅提升。
[0037]如图4的累积粒径分布曲线所示，分级前原始粉体的累积曲线(蓝线)在粒径较小时即开始上升，在粒径较大时仍未达到100%，反映出粉体中同时存在较多超细颗粒和超大颗粒。分级后产品粉体的累积曲线(红线)向预设产品粒径区间显著收缩，在区间下限对应的粒径处才开始明显抬升，在区间上限对应的粒径处已基本趋于完全累积，累积曲线整体变陡，直观体现了分级过程对偏出目标区间粉体的有效去除。该累积分布特征确认了本发明能够在线将宽分布的原生粉体分离为目标粒径集中的产品粉体，无需独立的后置筛分工序。上述分级效果在实施例1的氮气工作气体条件下同样能够实现。
[0038]以本实施例2的一个典型运行工况为例，以下对气体循环回收带来的经济性效益进行说明。在连续生产中，装置消耗约10m3氩气和3m3氮气，每分钟可生成约30g氮化铝粉体，按生产周期累计生成氮化铝粉体约2.8kg、产品良品率60%计算，可获得合格成品约1.68kg。若不采用气体循环回收，高纯氩气按市场中间价60元/m3、高纯氮气按市场中间价40元/m3计算，该批次生产消耗的气体费用为10×60+3×40=720元，折算到单位合格成品上的用气成本约为720÷1.68=428.58元/kg。而当前市场主流的氮化铝粉体产品售价约在350～400元/kg区间，可见若不对气体进行回收复用，仅用气成本一项就已超过产品售价，在经济上难以支撑连续规模化生产。采用实施例2的分子筛空分与气体循环方案后，氩气和氮气在各自密闭回路中循环复用，综合回收率可达95%，实际消耗量中仅需补充因泄漏和排料携带损失的少量气体。按此计算，氩气消耗量降至约0.5m3，氮气消耗量降至约0.8m3，相应气体费用为60×0.5+40×0.8=62元，折算到单位合格成品上的用气成本降至约62÷1.68=36.91元/kg。对比不回收方案428.58元/kg的用气成本，采用气体循环回收后，用气成本下降至原来的10%以下，降幅超过90%，使气体消耗从制约经济性的主要因素变为可接受的辅助成本，为装置的连续化、规模化工业生产提供了切实的成本可行性。
[0039]需要说明的是，在上述两种实施方式中，整个装置的气路构成了一个对外部大气封闭的循环系统。等离子炉1、粒径分级装置2、气固分离装置3、回料管路5及气体循环回路6之间均通过密闭管路连接，形成一个闭路循环。尽管等离子炉1在常压条件下运行，但“常压”是指炉内工作压力接近大气压，并不代表系统向外界空气敞开。实际运行中，系统启动前会先以高纯工作气体对整个气路进行吹扫置换，排出内部原有的空气，使系统初始气氛达到所需纯度。运行过程中，系统内部维持略高于外界大气压的微正压状态，从而在物理上阻止外界空气向内渗入。
[0040]同时，由于气体在密闭管路内由气流驱动装置持续驱动循环，外界空气没有进入回路的气体动力学路径。回料管路5上通过设置锁气阀或定量给料器，在将非目标产品粉体送回进料口的同时，也起到气体隔离作用，防止炉内气体沿回料通道外泄或外界气体反向侵入。通过上述密封结构、微正压维持与气体隔离措施的协同配合，本发明提供的装置能够在常压等离子体条件下有效保持炉内工作气氛的高纯度与组分稳定。
[0041]从气体消耗角度来看，本发明装置将反应后经过净化的高纯气体通过循环回路持续送回等离子炉复用，所需补充的仅是对外泄漏和粉体排出时携带的微量气体损失。与之相比，传统的一次通过式工艺，或者从空气中分离获取氮气的方式，每一单位用量的氮气都需经过空气压缩、纯化或深冷分离等过程获得，能源和原料消耗量大。因此，在连续生产过程中，本装置的用气量相较于任何需要持续消耗新鲜高纯气体的方式均实现数量级级别的降低。这种气体循环复用机制，是本发明能够降低运行成本、实现经济化连续生产的关键之一，同时也是获得高纯度品质产品的关键。
[0042]在上述各实施方式中，粒径分级装置2均以两级串联的旋风分离器为例进行说明，但本发明并不以此为限。根据不同产品的粒径控制精度要求，粒径分级装置2可以仅设置一级旋风分离器，去除单一方向的偏出粒径粉体;也可以采用三级或多于三级的串联旋风分离器，实现更窄的粒径区间控制。各旋风分离器的切割粒径可通过调整其筒体直径、入口风速等参数灵活设定。气固分离装置3除旋风分离器和布袋过滤器外，也可采用静电除尘器、烧结金属过滤器等能够将微细粉体从气流中分离捕集的设备。等离子炉1不限于常压类型，也可根据工艺需要设计为微正压运行;其等离子体发生器类型也不限于所列举的几种。此外，回料管路5上除锁气阀或定量给料器外，也可设置文丘里喷射器等气力输送装置，利用少量气体将非目标产品粉体送回进料口。上述各类可选的替换与变更方案，均应落入本发明的保护范围之内。
[0043]在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
[0044]以上所述，为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
说明书附图(4)
声明：
“连续式氮化铝粉体制备及粒径分级装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：北方有色网
来源：湖南省材料谷科技发展有限公司
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2026年08月06日 ~ 08日 
