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基于钽酸锂热释电材料的太赫兹线列探测器及其制备方法

935   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:50:25
本发明公开了一种基于钽酸锂热释电材料的太赫兹线列探测器及其制备方法，首先从钽酸锂晶圆片上切片减薄获得线列探测器所需晶片尺寸，然后在晶片背面制备条形电极，形成探测器下电极，该电极亦为线列各单元公用电极；然后在晶片正面形成各单元所需上电极图形；然后结合光刻形成单元隔离槽。最后在下电极上制备太赫兹吸收层。至此得到线列探测器敏感元结构。该结构结合MEMS（微机电系统）加工技术，可获得良好的热隔离效果，且加工工艺相对于微桥结构太赫兹探测器较为简单。
声明：
“基于钽酸锂热释电材料的太赫兹线列探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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