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钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法

944   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:06:29
本发明公开了一种钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法，包括输入光纤、输出光纤、基底、三个缓冲层、两层电极；从所述基底(1)往上依次为所述二氧化硅下缓冲层(2)和所述下层金电极(3)，所述下层金电极(3)之上再设置铌酸锂薄膜(5)，所述铌酸锂薄膜(5)的+X向表面中间、沿晶体的Z方向设置钛扩散铌酸锂条波导(6)；所述二氧化硅上缓冲层(7)设置于铌酸锂薄膜(5)的上表面；所述上层金电极(8)设置于所述二氧化硅上缓冲层(7)的上表面；所述输入光纤、输出光纤分别与耦合封装在钛扩散铌酸锂条波导(6)上。本发明机械性能稳定、耐高温、抗腐蚀，具有较大的折射率和介电常数，制造方法降低了生产难度，提高了成品率。
声明：
“钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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