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在柔性衬底上制备硅纳米线阵列的方法

990   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:32:59
本发明涉及新能源中薄膜太阳电池的技术领域，尤其涉及一种在不锈钢柔性衬底上制备硅纳米线阵列的方法。1)在不锈钢柔性衬底上采用磁控溅射方法沉积一层掺锡氧化铟(ITO)薄膜；2)将步骤1)得到的不锈钢柔性衬底转移至反应腔室，利用氢气等离子体刻蚀方法对ITO薄膜进行刻蚀处理而得到铟金属的纳米颗粒；3)在步骤2)得到的不锈钢柔性衬底上采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术生长硅纳米线(包括i型、p型和n型硅纳米线)。本发明提出的这种在柔性衬底上制备硅纳米线阵列的方法，采用等离子体辅助化学气相沉积系统，处理过程简便易行，低温低能耗，并且硅纳米线的生长和硅薄膜的沉积互相兼容，非常方便进一步制作硅薄膜器件。
声明：
“在柔性衬底上制备硅纳米线阵列的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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