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层结构复合材料及其制备方法

634   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 16:41:04
本发明提供了一种层结构复合材料及其制备方法,由于采用表面化学的方式进行了界面处理,提升了材料性能的同时避免了杂质引起的功能缺陷,具体的制备方法为:将抛光后的GaN衬底进行清洗处理;用酸清除氮化镓表面的原生氧化物;在原子层沉积仪中,以惰性气体为载气体,衬底温度为250‑350℃,用三甲基铝处理衬底其中一个表面;在原子层沉积仪中以惰性气体为载气体,利用铝源和氧源,衬底温度为250‑350℃,沉积氧化铝介质层;在氧化铝介质层镀上金属膜。
声明:
“层结构复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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