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制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉

622   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:03:01
本发明公开了一种制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉，其中，所述方法包括在同一真空化学气相沉积炉内连续沉积ZnSe和ZnS，将装有固体锌料的坩埚加热至500～750℃，使锌升华产生锌蒸汽，然后将沉积室加热至650～800℃，通入硒化氢，开始沉积ZnSe，沉积完成后，停止通入硒化氢，沉积室降温至600～750℃，通入硫化氢气体，开始沉积ZnS，整个沉积过程载流气体的流量保持不变，沉积完成后进行升温退火处理，出炉即得ZnSe/ZnS红外复合材料。本发明有效缩短了ZnSe/ZnS红外复合材料的生产周期，简化了生产工艺，降低了生产成本。
声明：
“制备红外复合材料的方法和真空化学气相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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