本发明公开了一种微波退火装置,该装置包含:壳体;套置于该壳体内的微波退火池;设置在该壳体与微波退火池顶部的顶盖,用于封闭微波退火池;其中,该微波退火池为包含一中空部的容器,该容器的底部设置有石英坩埚,用于放置退火样品。本发明提供的微波退火装置制作成本低,保温性能好,测温方便,可以灵活对不同介电常数的物质实现微波退火和烧结;而且,本发明的装置可以实现平行的微波退火,相较马弗炉退火,能节约大量的时间。
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