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基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法，铁电材料表面减薄加工时施加反向电场，反向热场和化学场多场耦合作用，所述方法包括以下步骤：(1)表面加工铁电材料，砂轮以ns的转速，f的进给速度对铁电材料进行加工，铁电材料的转速是nw；(2)加工时施加反向电场，反向热场和化学场，电场，热场和化学场交互作用。本发明提供一种提高加工效率的基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法。
声明：
“基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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