本发明公开一种微声流驱动的直线型纳米马达,所述的马达包括:导轨、动子、换能器、驱动基板以及液体媒介槽;在液体媒介槽中充有液体介质,动子悬浮于该液体介质;换能器的振动引起驱动基板共振,引起液体媒介槽中的液体介质在导轨附近产生较强的局部流动,动子被吸引至导轨附近,做直线运动。本发明的纳米马达的动力来源于基板的振动引起的声学流,不需要提供任何化学燃料,就可以实现微纳机械在液体环境中的主动运动,是一种绿色无污染的作动方式。在声场的作用下,有效地抑制了动子在三维空间内的布朗运动,动子可以进行平稳和可控的直线运动;并且可以通过改变超声控制的参数,具有驱动效率高和工作寿命长的特点。
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