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有机气体传感器及其制备方法

923   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:07:02
本发明公开了一种有机气体传感器及其结构,包括基板、第一电极、介质层、敏感薄膜层、第二电极和第三电极,器件中的介质层使用有机功能材料,根据器件结构中各薄膜层和电极位置的不同,器件可以分为顶部接触式和底部接触式两种。本发明采用新型结构提高了气体传感器的集成度、响应速度和响应精度,并且优化了一般气体传感器的制作工艺,降低了工艺要求,提高其性能,大幅降低气体传感器的制备成本及提高设备的可靠性。
声明：
“有机气体传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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