江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:中冶有色 > 有色产品 >

> 新能源材料设备

> 管式LPCVD设备

管式LPCVD设备

管式LPCVD设备

467
规格/型号:LD-420
品牌:捷佳伟创
应用领域:材料制备
产地:广东 - 深圳
厂家/供应商:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
咨询电话::0755-81449696(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-02
级别:待认证

管式LPCVD设备说明介绍

管式LPCVD设备

设备名称 Equipment Name


管式LPCVD设备 Horizontal LPCVD


设备型号 Equipment Model


LD-420/LD-420L/LD-420MAX


设备用途 Equipment Application


TOPCon电池隧穿氧化层、i-poly、D-poly低压化学气相沉积。

Deposition of tunnel oxide layer, i-Poly and D-poly for TOPCon solar cells.


技术特点 Features


1、低压与热壁工艺特性,成膜均匀性、致密性好。

Low pressure and hot wall process characteristics, with better film uniformity and good compactness.

2、LPCVD工艺特性,基片密排对成膜速率影响小,单管装片量大。

LPCVD process, densely loaded substrates have little effect on the coating rate, with large loading capacity in single tube.

3、更多温区设置,可靠保证片间均匀性。

More temperature zones to ensure the uniformity between wafers reliably.

4、独立调节分段进气,弥补气流耗尽效应。

Independently adjustable segmented air inlet to compensate for the airflow depletion effect.


设备参数 Parameters


·最大兼容硅片尺寸:□230mm·Max.Compatible Wafer Size:□230mm

·单机管数:5管/6管

·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes

·单管装片量(单插双面成膜)Loading Capacity/Tube(single wafer loading, double-sided coating)


机型Model:182□210

LD-420:800片/管(pcs/tube)、800片/管(pcs/tube)

LD-420L:1320片/管(pcs/tube)、1200片/管(pcs/tube)

LD-420MAX:1644片/管(pcs/tube)、1430片/管(pcs/tube)


·单机产能(隧穿氧化层+i-Poly)Throughput(Tunnel oxide+i-Poly)

机型Model:182□210

LD-420(5管/tubes):2900片/小时(pcs/h)、2900片/小时(pcs/h)

LD-420L(6管/tubes):4750片/小时(pcs/h)、4300片/小时(pcs/h)

LD-420MAX(6管/tubes):5900片/小时(pcs/h)、5100片/小时(pcs/h)


·外形尺寸(mm,含地脚,不含泵)Footprint (mm, incl.leveling foot, excl. pumps)

LD-420:9425x2125x4480(6管/tubes)、9425x2125x3820(5管/tubes)

LD-420L:9528x2076x4400(6管/tubes)、9528x2076x3750(5管/tubes)

LD-420MAX:10048x2240x4490(6管/tubes)、10048x2240x3885(5管/tubes)

分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0

全国热门有色金属设备推荐

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
0755-81449696
详细地址:
-

报名参会

河南 - 郑州
2025年07月11日 ~ 13日
河南 - 洛阳
2025年07月16日 ~ 18日
山西 - 太原
2025年07月16日 ~ 18日
河南 - 洛阳
2025年07月17日 ~ 19日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

厂家:天尔分析仪器(山东)有限公司
厂家:河南鑫世昌机械制造有限公司
厂家:上海安竹光电科技有限公司
标签:
厂家:青岛迪凯机械设备有限公司
标签:
厂家:青岛迪凯机械设备有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

水质检测仪
2025-06-24
全自动铜线分离机
2025-06-24
行星式立轴搅拌机
2025-06-24
玻璃原料搅拌机
2025-06-24
电线电路板撕碎机
2025-06-24
立轴行星式搅拌机
2025-06-24
DEX行星式搅拌机
2025-06-24
电线粉碎分离机
2025-06-24
安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记