本发明公开了一种碳化硅陶瓷的钎焊方法,包括如下步骤:将碳化硅陶瓷进行表面处理;采用气相沉积法在碳化硅陶瓷表面先沉积第一金属层,然后在第一金属层表面沉积第二金属层,得到沉积了双金属层的碳化硅陶瓷;其中,第一金属层的材料选自Ni、Ti、Fe或Zr中的一种;第二金属层的材料选自Al;将需要连接的碳化硅陶瓷放置于真空烧结炉中,然后在需要连接的碳化硅陶瓷之间放置纯Al箔,当炉内真空达到10
‑1Pa时开始加热,升温至600~800℃并保温10~60min;保温结束后随炉冷却至室温,得到钎焊连接后的碳化硅陶瓷。本发明提供的碳化硅陶瓷的钎焊方法,能提高铝基钎料对碳化硅材料的润湿性,并能降低钎焊温度,提高钎焊接头的结合强度。
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