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利用金刚线切割废硅粉生产2N级低硼硅技术及工艺集成

1145   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
一种利用金刚线切割废硅粉生产2N级低硼硅技术及工艺集成,包括以下步骤,气流分级:将金刚线切割产生的废硅粉烘干后作为原料,利用气流分级机将粒径为0.1~10um的硅粉收集,所收集的硅粉即为低硼硅粉;制坯并真空烘干:将低硼硅粉与纯水混合,得到泥料,将泥料制坯后放入烘箱中真空烘干,得到干燥坯料;真空烧结:将得到的干燥坯料在烧结炉内进行高温烧结,得到2N级低硼硅。采用的工艺彻底告别以往的酸液清洗工艺,物理法分离能有效的保证硅粉的纯度及后期提纯产出率,采用烧结法对硅粉进行固化,工艺路线紧凑,杜绝了二次污染。
声明:
“利用金刚线切割废硅粉生产2N级低硼硅技术及工艺集成” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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