金刚石气相沉积炉
产品简介:
该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石厚膜直径达Φ280mm,涂层面积达(330×300)mm2,膜沉积速率为(4-20)μm/h
1.生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等.
2.在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。
设备特点:
1. 采用高压拉瓦尔喷头,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
2. 采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
3. 设备自动化高,关键执行电气件采用进口;操作直观、简便,触摸屏经过开发,可动态显示炉子运行状况并具有自我诊断功能,程序段可直接输入。
4. 配带偏压电源,有效提高沉积速度;