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高纯大尺寸SIC晶体衬底材料的制备方法

754   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:54
本发明适用于半导体技术领域，提供了一种高纯大尺寸SIC晶体衬底材料的制备方法，包括以下步骤：S1、按一定化学计量比称量硅粉和碳粉，将它们混合均匀后加入到石墨坩埚中；S2、在S1中的石墨坩埚中添加含有氯元素的先驱体并搅拌均匀；S3、将S2中的石墨坩埚放入真空烧结炉中后关炉，待真空抽至≤10‑4Pa以后，再充入稀有气体至所需压强；S4、按一定升温速率进行升温至所需温度进行高温合成，待一段时间后降温后，停炉取出样品。本发明通过添加含氯元素的先驱体，实现厚膜外延材料，单层外延层厚度达80微米，突破厚膜生长的重复性、稳定性、一致性等产业化瓶颈共性技术，并且消除硅滴以及硅组分失配等外延缺陷。
声明：
“高纯大尺寸SIC晶体衬底材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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