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溅射靶材用钼铌合金板的制备方法

1052   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:58:01
本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法,该方法为:一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中混合得到混合料;二、对混合料进行振动压制,得到钼铌合金粉末压坯;三、将钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结,制得钼铌合金板坯;四、对钼铌合金板坯进行机械切割,得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。本发明的方法工艺流程简单,易于实现工业化生产,成品率高,制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。采用本发明的方法制备的钼铌合金板的密度不低于9.85g/cm3,满足溅射靶材的要求。
声明：
“溅射靶材用钼铌合金板的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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