全密封非固体电解质全钽电容器的阴极制备工艺方法,包括集流体的处理、阴极的成型烧结、钽阴极的
电化学氧化。至少包括以下工艺步骤:①使用钽片或钽网或钽毡作为集流体,并对集流体进行处理。将钽片或钽网放入装有硫酸、硝酸或氢氟酸等无机酸的溶液中进行表面处理,加热煮沸,再用清水漂洗,再进行烘干,制得处理的集流体;②将处理后的集流体放入成型机模具中,装入高比容的钽粉,用成型机压制成型,再放入真空烧结炉中进行真空烧结,在1200℃-1600℃的温度下进行烧结,烧结20-60分钟后,等炉温降低后将阴极取出。③将成型烧结后的钽阴极放于磷酸水溶液进行电化学氧化,施加一定的直流电流和电压,使钽阴极的表面生成一层五氧化二钽的氧化膜。
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