本发明属于
有色金属靶材制备技术领域,具体涉及了一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法。该方法以W粉与TiH2粉末为原料,依次经混合、压坯、预烧、烧结、包套、轧制、热处理步骤,最终得到所述钨钛合金靶材。本发明采用将W粉与TiH2粉末混合后压制成型,压坯经过预烧还原和高温真空烧结,坯料带包套进行轧制的工艺;压坯经过预烧还原可以有效地降低坯料中的杂质含量和氧含量,再经高温真空烧结,可得到高纯度钨钛合金坯料;坯料带包套后可以在大气气氛加热炉内进行加热,避免坯料中Ti元素的加热氧化现象,保证轧制加工的顺利进行;最终得到靶材致密度可达到99.6%以上,厚度尺寸可控,工艺简单且适合大批量工业化生产。
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