合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 冶金技术

> 火法冶金技术

> 磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜

磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜

720   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:13
本发明公开了磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜，涉及无机化合物功能薄膜制备技术领域及磁控溅射技术领域。其特征在于是通过一种特殊设计的复合靶材，利用普通磁控溅射及后退火处理得到成分分布均匀的、符合化学计量比的多元素化合物TiCoSb薄膜。其主要工艺参数为：溅射功率20W，工作气压0.7Pa，溅射时间60-120min，快速退火时间1-5min，常规退火时间30-120min。本发明实现了TiCoSb材料的薄膜化，为对其热电和光电性能的进一步研究及对其在薄膜热电、光电器件领域的应用有相当积极的作用。
声明：
“磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
火法冶金
上一个：磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法
下一个：液/固两相体系中颗粒粗化行为的控制方法及装置

与 “磁控溅射法制备TiCoSb半导体薄膜” 相关技术

▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

相关火法冶金设备推荐

夹套保温袋式过滤器
三一泵车滤芯
数显鼓风干燥箱
德国先达滤芯
管道式磁性过滤器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

报名参会
更多+

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024年11月29日 ~ 12月01日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日

报告下载

1 锂资源综合利用关键技术
下载:177
2 绿色高效提炼稀有金属的研究
下载:144
3 我国主要有色金属湿法冶金技术现
下载:136
4 铜冶炼过程砷的控制和无害化处置
下载:128
5 铜冶金与钢铁基于双碳的学科融合
下载:112
6 矿相重构锂云母矿以同步提取锂铷
下载:109
7 双碳战略背景下的我国铜工业
下载:106
8 赤泥脱硫脱硝、回收铁铝及固化重
下载:105
9 硫代硫酸盐绿色提金及铜冶金固废
下载:102
10 铜熔炼及电解行业的新产品及新技
下载:101
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1钼污染处理研究进展
2从红土镍矿中回收有价金属及酸再生循环的方法
3生产磷酸铁的方法
4硫酸锰溶液除杂方法
5从镍铁合金中高效分离镍和铁的方法
6氧化镍矿熔融还原硫化生产低冰镍的方法
7用铜精矿直接制取硫酸铜和阴极铜的方法
8氧化铜矿浸出方法
9有色金属冶炼矿石清洗用的污泥收集装置
10电积镍生产线萃余液除油工艺
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记