权利要求
1.一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉，其特征在于，包括：保温烘干炉(1)和高温烧结炉(2)，所述保温烘干炉(1)套设在高温烧结炉(2)外侧，所述高温烧结炉(2)与保温烘干炉(1)之间设置有旋转烘干架(3)，所述保温烘干炉(1)通过管道连接有真空泵(4)，所述旋转烘干架(3)一侧转动连接有第一炉门(5)，所述第一炉门(5)传动连接有第一导轨驱动机构(6)，所述高温烧结炉(2)内设置有旋转烧结架(7)，所述高温烧结炉(2)一侧固定连接有第二炉门(9)，所述第二炉门(9)传动连接有第二导轨驱动机构(10)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉，其特征在于，所述第一炉门(5)和第二炉门(9)分别位于保温烘干炉(1)两侧，所述第一炉门(5)和第二炉门(9)与保温烘干炉(1)之间通过耐高温橡胶密封。
3.根据权利要求1所述的一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉其特征在于，所述旋转烘干架(3)包括旋转框架(301)，所述旋转框架(301)与第一炉门(5)转动连接，所述旋转框架(301)上转动连接有四组烘干石英舟(302)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉，其特征在于，所述第一导轨驱动机构(6)包括第一丝杆导轨(601)，所述第一丝杆导轨(601)上通过螺纹传动连接有第一丝杆螺母(602)，所述第一丝杆螺母(602)固定连接有第一固定支架(603)，所述第一固定支架(603)与第一炉门(5)固定连接，所述第一丝杆导轨(601)一端通过同步带传动连接有第一伺服电机(604)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉，其特征在于，所述第一丝杆导轨(601)设置有四根，且四根第一丝杆导轨(601)均相互平行，四根所述第一丝杆导轨(601)分别位于第一炉门(5)的上方和下方，所述第一固定支架(603)设置有两组，其中一组第一固定支架(603)与第一炉门(5)的上方的两个第一丝杆螺母(602)固定连接，另一组第一固定支架(603)与第一炉门(5)的下方的两个第一丝杆螺母(602)固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉其特征在
声明：
“半导体用石英废液瓶的节能型双炉体真空烧结炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：江苏旭邦光电科技有限公司
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2025年09月25日 ~ 27日 
