权利要求
1.一种散热组件的真空钎焊工艺，其特征在于，包括：
将合金基板和鳍片置于液氮冷却环境下，以甲烷为碳源进行石墨烯沉积处理，得到石墨烯修饰基板和鳍片;
在所述石墨烯修饰基板和鳍片的表面沉积银基钎料，并每隔预设周期通入脉冲气流扰动钎料原子，得到表面分布钎料纳米晶核层的晶核基板和鳍片;
将所述晶核基板和鳍片置于对位夹具中，将所述对位夹具置于真空钎焊炉内，对所述晶核基板和鳍片进行对位处理;
控制真空钎焊炉中启动钎焊，设定所述真空钎焊炉内部的真空度低于10-5Pa，促进石墨烯与钎料的界面键合，形成初始钎焊组件;
对所述初始钎焊组件进行退火处理，在退火过程中对所述初始钎焊组件施加震动，得到优化钎焊组件;
在惰性气氛下，对所述优化钎焊组件的表面沉积类金刚石碳薄膜，得到所述散热组件。
2.根据权利要求1所述的散热组件的真空钎焊工艺，其特征在于，所述银基钎料包括银、铜和锆组成的合金，其中，银的质量百分比为85~95%，铜的质量百分比为3~10%，锆的质量百分比为2~5%。
3.根据权利要求1所述的散热组件的真空钎焊工艺，其特征在于，所述惰性气氛为氩气、氮气或氦气气氛的其中一种或多种的组合。
4.根据权利要求1所述的散热组件的真空钎焊工艺，其特征在于，所述将合金基板和鳍片置于液氮冷却环境下，以甲烷为碳源进行石墨烯沉积处理，得到石墨烯修饰基板和鳍片的步骤，包括：
将所述合金基板和鳍片置于超声清洗设备中，使用乙醇和去离子水的混合溶液进行超声清洗，得到洁净基板和鳍片;
将所述洁净基板和鳍片通过循环液氮冷却控制温度为-190~-200℃，得到处于超低温状态的低温基板和鳍片;
将低温基板和鳍片置于真空环境中，通入甲烷作为碳源气体，通过射频等离子发生器对甲烷气体进行等离子辅助裂解，形成活性碳源;
根据所述活性碳源对所述低温基板和鳍片进行沉积处理，沉积形成初级石墨烯膜;
将覆盖有初级石墨烯膜的低温基板和鳍片置于反应釜中，在惰性氩气氛围下通入微量硅烷气体，在所述初级石墨烯膜表面形成硅基钝化层，得到石墨烯修饰基板和鳍片。
5.根据权利要求1所述的散热组件的真空钎焊工艺，其特征
声明：
“散热组件的真空钎焊工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：深圳市晟达真空钎焊技术有限公司
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2025年10月15日 ~ 17日 
