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氧化硅涂覆的聚合物膜以及用于生产其的低压PECVD方法与流程

578   编辑：中冶有色网   来源：旭硝子欧洲玻璃公司  
2023-10-18 11:33:36

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“氧化硅涂覆的聚合物膜以及用于生产其的低压PECVD方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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氧化硅 聚合物基材 薄聚合物膜
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