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用于芯片质子交换的机械臂控制夹具及其使用方法

839   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:35:23
本发明公开了一种用于芯片质子交换的机械臂控制夹具，固定于质子交换炉的顶端及内部，包括：固定模块、电机控制装置、传动装置、机械转动悬臂、机械位移臂、夹具卡持模块、芯片夹具。另外，本发明还公开了一种根据机械臂控制夹具进行质子交换的方法。本发明可以机械控制铌酸锂基片的移动，有效地减小质子交换过程中的人工操作及开关质子交换炉给交换过程带来的温度波动，从而减小对操作人员的身体伤害并提高质子交换制作铌酸锂光波导的稳定性。
声明：
“用于芯片质子交换的机械臂控制夹具及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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