一、产品特点
滑轨式快速升降温炉是专为生长薄膜石墨烯研制的,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。
二、主要技术参数
双温区滑轨炉BTF-1200C-II-SL Φ100mm
技术参数:
额定功率:5KW
额定电压:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
最高温度:1200℃(1 hour)
持续工作温度≤1100℃
推荐升温速率≤20℃/min
炉管尺寸:高纯石英管Φ50/60/80/100*1650mm(石英管管径可选)
加热区长度:200+200mm
恒温区长度:100+100mm
移动方式:炉体可在底部导轨在手动自由移动。
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
供气系统3路质子触摸屏控制( GMF-3Z)
主要特点: 该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制,此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
技术参数:
工作电压:185~245V,50 Hz
最大输出功率:18W
流量计标准量程:5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选)
工作温度:4~45℃
工作压差:0.1~0.5Mpa
最大压力:3Mpa
准确度:±1.5%F.S
压力表测量范围:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid)
针阀:316不锈钢
混气罐:Φ80*120mm
截止阀:Φ6mm
尺寸:600*600*650mm
低真空机组VAU-02
设备特点:VAU-02是一套低真空机组,内部安装DRV-10机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。
1、技术参数:(DRV-10)
空气相对湿度≤85%
工作电电压:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽气速率:10m3/h
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:600×600×650m
2、进口真空计参数:
型号:PCG550
特点:其测量范围为3.8x10-5至1125Torr.当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而需要系数转换。具有较高的精确度和重复性,响应时间较短(≤30ms)。而且传感器上涂有防腐涂层,所以此款真空计具有较强的抗腐蚀性。