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频率温度系数降低的声波谐振器和滤波器

866   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:08:11
公开了声波谐振器器件和滤波器。一种声波谐振器，包括具有表面的基板和铌酸锂板。所述铌酸锂板的背面附接到所述基板上，但是所述铌酸锂板形成一隔膜的部分未附接到所述基板上，所述隔膜跨越所述基板中的空腔。叉指换能器(IDT)在铌酸锂板的正面上形成，使得其中IDT的交错的指状物设置在隔膜上。IDT和铌酸锂板被配置成使得施加到IDT的射频信号激发隔膜内的剪切主声学模。铌酸锂极板的欧拉角为[0°，β，0°]，其中β大于等于40°且小于等于70°。
声明：
“频率温度系数降低的声波谐振器和滤波器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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