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铌酸锂晶体化学机械抛光液

1038   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:56:15
本发明提供一种铌酸晶体化学机械抛光液,属于精密/超精密加工技术领域。铌酸锂化学机械抛光液的pH为9.5‑10,包含溶质和溶剂两部分。其中,溶剂为去离子水。按溶质总质量分数100%计,其各组分和质量百分比含量如下:10~20wt%硅溶胶,1~2wt%氢氧化钾,0.02~0.05wt%表面活性剂,其余为pH调节剂,各物质在去离子水中通过超声混合均匀。本发明提供的化学机械抛光液腐蚀作用适中,在保证抛光液化学作用前提下,能够获得超光滑、无损伤的铌酸锂表面;氧化石墨烯可以促使工件表层氧化并形成软化层,加快工件表面的抛光效率,缩短抛光时间。
声明:
“铌酸锂晶体化学机械抛光液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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