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铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺

839   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:56
本发明公开了一种铌酸锂和SU‑8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺。本发明包括第一芯片和第二芯片，第一芯片的一侧和第二芯片一侧拼接形成光纤陀螺；第一芯片包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜，所述铌酸锂单晶薄膜上集成布置光传输系统；第二芯片包括从下到上依次层叠布置的光刻胶涂层和第二硅衬底；在光刻胶涂层上集成布置谐振腔光路。光纤陀螺中的光束在光传输系统和谐振腔光路中传导，通过探测器来检测转动信息。本发明提高了光学陀螺系统的集成度，提高光纤陀螺的可靠性和环境适应性；采用球透镜和平面分光镜组合的方式，实现将波导中的光耦合进入谐振腔的功能，实现光在腔内谐振的功能，有效降低了腔内损耗。
声明：
“铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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