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利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法

904   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:10
本发明提供了一种利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法。包括：S1：以铌酸锂为衬底，利用溶胶凝胶法和旋涂技术在铌酸锂衬底上制备二氧化钛溶胶薄膜；S2：通过激光直写技术使二氧化钛溶胶薄膜固化结晶，用丙酮去除非晶化部分，得到图形化的多晶薄膜；S3：最后通过高温扩散工艺制备铌酸锂光波导。本发明利用激光直写技术与溶胶凝胶法的结合，使图形化薄膜的制备更加灵活、方便；同时激光直写晶化装置配有长波长观测光路，可以在激光晶化过程中做到实时观测及调整；而且这种将多种技术结合的方法，在铌酸锂光波导功能器件集成领域具有巨大的潜力。
声明：
“利用激光直写晶化二氧化钛溶胶薄膜制备铌酸锂光波导的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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