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双偏振模铌酸锂直条波导相位调制器及其制备方法

1011   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:01:40
本发明公开了一种双偏振模铌酸锂直条波导相位调制器及其制备方法。器件主要由铌酸锂光波导芯片和保偏尾纤组成,其铌酸锂光波导芯片由铌酸锂衬底(1)、表面的条形钛扩散波导区(2)、表面的质子交换区(3)、二氧化硅隔离层(4)及表面的金属电极(5)所组成。调制器的制备方法包括芯片的制备方法和芯片与保偏尾纤的耦合连接方法两部分,给出了芯片的制备方法,主要包括条波导区钛扩散以及在非钛扩散波导区进行退火质子交换等工艺过程。该芯片结构及制备方法能够确保器件同时具有较小的损耗和偏振相关损耗。芯片与尾纤的耦合连接方法保证了器件具有低的偏振串音及其性能指标的温度稳定性。
声明：
“双偏振模铌酸锂直条波导相位调制器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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