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大尺寸铌酸锂晶片及其加工方法

604   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:57:26
本发明公开了一种大尺寸铌酸锂晶片的加工方法，包括以下步骤:步骤1：通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长工艺，得到大尺寸铌酸锂晶体；步骤2：将切割后的大尺寸铌酸锂晶片研磨，双面减薄，得到表面具有粗糙结构的大尺寸超薄铌酸锂双面减薄片；然后，置于抛光装置中进行处理，得到大尺寸铌酸锂晶片，本发明通过制备富锂多晶料、熔化、提拉生长、研磨，双面减薄和抛光等工艺制备得到大尺寸铌酸锂晶片；该大尺寸铌酸锂晶片的加工方法具有工艺简单，一次抛光，批量生产，抛光效率高，生产的铌酸锂晶片表面平坦度高。
声明：
“大尺寸铌酸锂晶片及其加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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