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高效、稳定的超薄柔性太赫兹屏蔽材料的制备方法

784   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:46:46
本发明涉及一种高效、稳定的超薄柔性太赫兹屏蔽材料的制备方法。制备步骤：首先在金属基底上通过化学气相沉积法在其表面生长石墨烯；然后在生长有石墨烯的金属基底上涂覆一层转移媒介；接着将金属基底用刻蚀液去除，剩下转移媒介支撑的石墨烯；之后在聚合物基底上沉积一层金属薄膜；然后将转移媒介支撑的石墨烯转移到聚合物基底上沉积的金属薄膜上，并将支撑石墨烯的转移媒介去除；接着交替重复以上金属薄膜的沉积和石墨烯的转移步骤，以得到层层组装的金属/石墨烯复合材料。本发明的金属/石墨烯层层组装太赫兹屏蔽材料厚度小、屏蔽效能高、柔性良好、稳定性高，在微电子器件和柔性电子设备的太赫兹屏蔽领域内具有广阔前景。
声明：
“高效、稳定的超薄柔性太赫兹屏蔽材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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