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宽域型氧传感器片芯及其制造方法

1013   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:46:44
本发明公开了一种宽域型氧传感器片芯及其制造方法。其片芯依次为它由多孔陶瓷保护层（1），泵电池上电极（2），泵电池介质层（3），泵电池参考电极（4），参考电池介质层（5），参考电池电极层（6），参考气室层（7），梯度连接层（8），上基板层（9），加热电路层（10）和下基板层（11）依次相叠构成；梯度连接层（8）采用梯度复合材料过渡技术，有效地解决了异质材料间的结合问题；泵电池介质层上有一扩散孔及上下相对应的环形电极；参考电池介质层上有一扩散小腔，扩散小腔内采用多孔陶瓷填料支撑技术，确保了腔体的形成和信号的灵敏度；各层采用流延成型和丝网印刷相结合方式，依次定位、叠压和切割，制成氧传感器片芯胚体，烧结制成致密的氧传感器片芯。
声明：
“宽域型氧传感器片芯及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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